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专利名称：检验设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种检验设备。更具体地说，本发明涉及一种用于判断形成于板上的测量目标的好坏的检验设备。
背景技术：
一般而言，在电子器件中至少使用一个印刷电路板(PCB)，并且例如电路图案、连接焊盘部、电连接到连接焊盘部的驱动芯片等各种电路元件安装在PCB上。通常使用板检验设备来检查形成或构造于印刷电路板上的各种电路元件是否良好。在常规的板检验设备中，检验PCB需要耗费大量时间并占用大的作业空间。因此，需要一种能够缩短检验PCB所需的时间并且确保检验PCB所需的空间的检验设备。

发明内容
本发明的示例性实施例提供一种能够缩短检验板所需的时间并且保证检验板所需的空间的检验设备。以下描述中提到了本发明的附加特征，并且部分附加特征可从描述中直接得出， 或可以通过实践本发明来获悉。本发明的示例性实施例公开一种检验设备。所述检验设备包括工作架部、光学组件和光学组件移动部。所述工作架部将板移动到测量位置并且支撑所述板。所述光学组件包括投射部，其布置在所述板的上方，以将光栅图案光投射到所述板上；图像采集部，其布置在所述投射部的侧部处，以接收被所述板向上反射的光栅图案光并且采集反射图像； 以及第一光路改变部，其改变被所述板向上反射的光栅图案光的光路并且将光栅图案光引导到所述图像采集部，从而使光栅图案光向下入射到所述图像采集部中。所述光学组件移动部布置在所述光学组件的上方，并且与所述光学组件相连以使所述光学组件移动。例如，所述工作架部可以包括目标移动装置，所述目标移动装置用于将所述板移动到所述测量位置。所述目标移动装置可以使所述板沿第一方向移动，所述光学组件移动部可以使所述光学组件沿与所述第一方向大致垂直的第二方向移动。所述图像采集部可以布置在所述投射部的与所述第二方向对应的第一侧部处。所述检验设备还可以包括线缆引导部，所述线缆引导部布置在所述投射部的第二侧部处，所述第二侧部与所述投射部的布置有所述图像采集部的第一侧部相反。所述光学组件移动部可以布置在所述线缆引导部上方并且与所述线缆引导部相连。在示例性实施例中，所述第一光路改变部可以包括第一反射镜，所述第一反射镜将被所述板向上反射的光栅图案光水平地反射向所述投射部的布置有所述图像采集部的侧部。所述第一光路改变部还可以包括第二反射镜，所述第二反射镜将被所述第一反射镜水平反射的光栅图案光向下反射向所述图像采集部。
所述投射部可以布置成与所述板大致垂直，并且所述光学组件还可以包括第二光路改变部，所述第二光路改变部改变光路从而使得来自所述投射部的光栅图案光倾斜地入射到所述板上。所述光学组件可以包括ail个投射部，m为自然数，当从俯视图中观察时，所述ail个投射部可以以规则的间隔分隔开地布置在与所述板大致平行的圆周上。所述第二光路改变部可以包括布置在投射部中每一个投射部下方的第三反射镜和布置在所述第三反射镜下方的第四反射镜。所述第三反射镜将向下入射到所述第三反射镜上的光栅图案光沿与所述投射部大致垂直的方向反射向布置在所述投射部下方并且面向所述投射部的所述第四反射镜，所述第四反射镜将来自所述第三反射镜的光栅图案光反射向所述板。所述 an个投射部中的每个投射部均可以包括用于产生光的光源和用于将来自所述光源的光转换成光栅图案光的光栅部件，与所述an个投射部中的每个投射部对应的所述光栅部件被一个光栅移动装置移动。所述光学组件还可以包括照明部，所述照明部与所述投射部、所述图像采集部和所述第一光路改变部相连成一体，所述照明部布置在所述光学组件的主体的下方以向所述板提供光。本发明的另一示例性实施例公开一种检验设备。所述检验设备包括目标移动部， 其将板移动到测量位置；投射部，其将光栅图案光投射到所述板上；图像采集部，其布置在所述投射部的侧部处，以通过接收被所述板反射的光栅图案光来采集反射图像；以及光路改变部，其改变被所述板反射的光栅图案光的光路并且将光栅图案光引导到所述图像采集部。在示例性实施例中，所述检验设备还可以包括并排布置的至少两个工作架。每个工作架均从相邻的设备接纳板，并且独立地支撑所接纳的板，并且独立地对每个板进行检验。在示例性实施例中，检验设备还可以包括光学组件移动部，所述光学组件移动部布置在所述投射部和所述图像采集部的上方，以使所述投射部和所述图像采集部移动。在示例性实施例中，所述光路改变部可以包括第一反射镜，其将被所述板向上反射的光栅图案光水平地反射向所述投射部的布置有所述图像采集部的侧部；以及第二反射镜，其将被所述第一反射镜水平反射的光栅图案光向下反射向所述图像采集部。本发明的另一示例性实施例公开一种检验设备。所述检验设备包括投射部，其将光栅图案光投射到板上；图像采集部，其接收被所述板反射的光栅图案光并且采集反射图像；光路改变部，其包括至少一个反射镜和用于固定所述至少一个反射镜的反射镜固定部， 所述至少一个反射镜改变光路从而使得来自所述投射部的光栅图案光倾斜地入射到所述板上；以及照明部，其与所述光路改变部的反射镜固定部相连，并且布置在所述反射镜固定部的下方，以向所述板提供光。在示例性实施例中，所述检验设备可以包括ail个投射部，m为自然数，所述ail个投射部中的每个投射部均可以布置成与所述板大致垂直，当从俯视图中观察时，所述ail个投射部可以以规则的间隔分隔开地布置在与所述板大致平行的圆周上。所述光路改变部可以包括布置在投射部中每一个投射部下方的第三反射镜和布置在所述第三反射镜下方的第四反射镜。所述第三反射镜将向下入射到所述第三反射镜上的光栅图案光沿与所述投射部大致垂直的方向反射向布置在所述投射部下方并且面向所述投射部的所述第四反射镜，所述第四反射镜将来自所述第三反射镜的光栅图案光反射向所述板。在示例性实施例中，所述检验设备还可以包括工作架部，其从相邻的设备接纳板并且将所述板移动到测量位置，所述工作架部包括并排布置以支撑所述板的至少两个工作架；以及光学组件移动部，其布置在所述投射部和所述图像采集部的上方并且与所述投射部和所述图像采集部相连，以使所述投射部和所述图像采集部移动。根据本发明，所述板检验设备包括多个工作架，并且各个工作架独立地进行板检验，因此大幅缩短检验板所需的时间。此外，用于移动包括投射部的光学组件的光学组件移动部布置在光学组件的上方，用于接收从投射部产生的光栅图案光的图像采集部布置在投射部的侧部，以保证因安装工作架而变小的空间。应该理解，上文的概述和下文的详述是为了进行举例说明，并且是想参照权利要求书对本发明作进一步的解释。


附图示出了本发明的实施例，用于更充分地理解本发明且被纳入说明书中以构成说明书的一部分，并且与下文中的描述一起说明本发明的原理。图1是示出根据本发明的示例性实施例的板检验设备的正视图。图2是示出图1中所示的板检验设备的工作架部分的俯视图。图3是图1中所示的板检验设备的光学组件的光路的示意图。图4是示出图1中所示的板检验设备的光学组件的示例性实施例的正视图。图5是示出图4中所示的板检验设备的光学组件的俯视图。
具体实施例方式下面参考附图更全面地描述本发明，其中附图中示出了本发明的示例性实施例。 然而，本发明可以用很多不同的方式来实现，而不能认为限于本文中所提到的示例性实施例。当然，提供示例性实施例是为了使公开充分并全面，并且向本领域的技术人员充分地传达本发明的范围。为清晰起见，附图中可能放大某些层和区域的尺寸和相对尺寸。应该理解，当文中提到部件或层“在另一部件或层上”、“与另一部件或层连接”或 “与另一部件或层相连”时，该部件或层可以直接在另一部件或层上、与另一部件或层直接连接或与另一部件或层直接相连，或者在该部件或层与另一部件或层之间可以存在介入的部件或层。相比之下，当文中提到部件“直接位于另一部件或层上”、“与另一部件或层直接连接”或“与另一部件或层直接相连”时，不存在介入的部件或层。在全文中，相同的附图标记表示相同的部件。本文所使用的短语“和/或”包括一个或多个相关列举项的任意组合和全部组合。应该理解，尽管文中可以使用短语第一、第二和第三等来描述多个部件、组件、区域、层和/或部分，但这些部件、组件、区域、层和/或部分不受这些短语限制。这些短语仅仅用来将一个部件、组件、区域、层或部分与另一个区域、层或部分区分开。从而，在不背离本发明的教导的情况下，可以将下文所述的第一部件、第一组件、第一区域、第一层或第一部分称为第二部件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。在本文中，为了便于描述，可以使用诸如“之下”、“下方”、“较低”、“上方”和“较高”等空间相对短语来描述附图中所示的一个部件或特征与另一个(些)部件或特征的关系。 应该理解，除了图中示出的方位外，空间相对短语还意图涵盖装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果装置在图中翻转，则描述为在其它部件或特征“下方”或“之下”的部件的方位将变为在其它部件或特征“上方”。从而，示例性短语“下方”可以涵盖上方和下方两个方位。该装置可以以其它方式定方位(旋转90度或在其它方位)，并且对本文所使用的空间相对描述词做相应理解。本文所使用的术语仅仅为了描述具体的示例性实施例，而不是为了限制本发明。 除非文中明确指出，否则本文所使用的单数形式“一”、“一个”和“该”意图涵盖复数形式。 还应该理解，短语“包括”和/或“包含”在用于本说明书时表示存在所提及的特征、整体、 步骤、操作、部件和/或组件，但不排除存在额外的一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、 部件、组件和/或它们的组合。在本文中参考剖视图来描述本发明的示例性实施例，其中剖视图是本发明理想示例性实施例(和中间结构)的示意图。如此，可以预料到会因例如制造工艺和/或公差而与所图示的形状存在差异。从而，本发明的示例性实施例不应该看作限于本文所示区域的具体形状，而应该包括由例如制造导致的形状偏差。例如，示出为矩形的注入区域在边缘处通常具有整圆的或弯曲的特征和/或注入浓度梯度而不是从注入区域至非注入区域呈现二元变化。同样，由离子注入形成的埋入区域可能造成一些离子注入发生在埋入区域与进行离子注入时所穿透的表面之间的区域中。从而，图中所示的区域本质上是示意性的，所示区域的形状并非意图示出装置的区域的实际形状，并且并非意图限制本发明的范围。除非另外限定，否则本文所使用的所有短语(包括技术短语和科学短语)的含义与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同。还应该理解到，常用词典中所定义的短语应该解释为具有与其在相关技术背景中的含义一致的含义，并且除非本文明确定义，否则不应该用理想化的或过于刻板的意义来进行解释。下面将参考附图详细说明本发明的示例性实施例。图1是示出根据本发明的示例性实施例的板检验设备的正视图。图2是示出图1 中所示的板检验设备的工作架部分的俯视图。图3是图1中所示的板检验设备的光学组件的光路的示意图。参考图1至图3，根据本发明的示例性实施例的板检验设备100包括工作台110、 工作架部120、光学组件130和光学组件移动部140。工作台110是为执行检验板的步骤而准备的台。工作架部120安装在工作台110上，以支撑与检验目标(对象)对应的板10。工作架部120包括并排布置的至少两个工作架。例如，如图1所示，工作架部120 包括第一工作架122和第二工作架124。第一工作架122和第二工作架IM可以独立地接纳板10，可以在第一工作架122 和第二工作架IM处独立地检验各个板10。第一工作架122和第二工作架IM可以从与第一侧相邻的设备200接纳与检验目标对应的板10。此外，第一工作架122和第二工作架IM可以将板10传送到与第二侧相邻的设备300处，第二侧与第一侧相反。在图2中，传送板的方向被称为第一方向D1，粗箭头表示板10的传送流向。
在示例性实施例中，与第一侧相邻的设备200可以包括用于在板10上形成焊料的丝网印刷机，与第二侧相邻的设备300可以包括将电子部件安装到板10上的安装器。例如， 在板检验设备100接纳经丝网印刷机而形成有焊料的板10之后，板检验设备100检验形成与板10上的焊料的好坏。如果检验结果良好，则板检验设备100将板10传送到安装器，然后安装器将电子部件安装到板10上。由于板检验设备100包括多个工作架并且对于各个工作架独立地对板10进行检验，因此可以大幅缩短检验多个板10所需的时间。例如，当在第一工作架122处接纳并且检验供检验的一个板10时，在第二工作架IM处提前接纳另一板10。于是，当完成对上述一个板10的检验并且将该板10传送至与第二侧相邻的设备300时，可以对在第二工作架 124中接纳的供检验的另一板10进行检验。因此，可以缩短传送板10的时间。第一工作架122和第二工作架IM可以彼此形成一体，可选地，第一工作架122和第二工作架1 可以彼此独立地形成。可以根据板10的尺寸使板10在第一工作架122和第二工作架124中沿与第一方向Dl大致垂直的第二方向D2对准。工作架部120包括目标移动装置1 和旋转带128。目标移动装置1 可以将传送到第一工作架122和第二工作架IM处的板10沿第一方向Dl移动到测量位置。在完成对板10的检验之后，目标移动装置1 将板10沿第一方向Dl传送到与第二侧相邻的设备300。在示例性实施例中，目标移动装置1 可以包括驱动电动机126a和旋转轴U6b。 驱动电动机126a驱动旋转轴126b旋转。旋转带128随着旋转轴126b的旋转而旋转，可以在旋转带1 和旋转轴126b之间形成用于将旋转轴126b的旋转力传递到旋转带1 上的辊(未示出)。为了检验板10，光学组件130产生光并且接收被板10反射的光以采集(拍摄)图像。光学组件130包括投射部132、图像采集部134和第一光路改变部136。投射部132布置在板的上方，以将光栅图案光投射到板10上。投射部132将用于获取如高度信息、可视度信息等三维信息的光栅图案光投射到板10上，以便测量形成在板 10上的测量目标20的三维形状。例如，投射部132包括光源132a，其用于产生光；光栅部件132b，其用于将来自光源13 的光转换成光栅图案光；光栅移动装置132c，其间隔地移动(pitch-move)光栅部件132b ；以及投射透镜132d，其将经光栅部件132b转换的光栅图案光投射到测量目标 20上。可以使用例如压电(PZT)致动器等光栅移动装置132c使光栅部件132b每次移动 2 π/n并且总共移动n-1次，以产生光栅图案光的相变。“η”为2以上的自然数。可以基于测量目标20沿周向以大致恒定角度彼此间隔开地布置多个具有上述结构的投射部132，以便提高检验精度。图像采集部134通过接收被板10向上反射的光栅图案光来采集反射图像。例如， 图像采集部134可以采用CCD相机和CMOS相机中一者，并且可以在图像采集部134中安装成像透镜(未示出)，以将反射图像形成在相机上。图像采集部134布置在投射部132的侧部处。为了确保由于并排布置工作架而变小的空间，光学组件移动部140(下文说明)安装在光学组件130的上方，而不是像常规结构那样安装在光学组件130的侧部。此外，为了使光学组件130的稳定性和精度不会因安装在光学组件130上方的光学组件移动部140而劣化，在投射部132的侧部处设置图像采集部134，而不是像常规结构那样在与板10大致垂直的上方位置安装图像采集部134。如果图像采集部134像常规结构那样安装在与板10大致垂直的上方位置，则增加了光学组件 130和光学组件移动部140之间的距离，从而使光学组件130的稳定性和精度劣化。在示例性实施例中，图像采集部134可以布置在投射部132的与第二方向D2对应的第一侧部处。在图3中，图像采集部134布置在投射部132的右侧。可选地，图像采集部 134可以布置在投射部132的左侧。第一光路改变部136改变被板10向上反射的光栅图案光的光路，并且将光栅图案光引导至图像采集部134，从而使光栅图案光向下入射到图像采集部134。在示例性实施例中，第一光路改变部136包括第一反射镜136a和第二反射镜 136b。第一反射镜136a将被板10向上反射的光栅图案光水平地反射向投射部132的布置有图像采集部134的侧部。换句话说，第一反射镜136a将被板10向上反射的光栅图案光反射向右方，并且使被反射的光栅图案光到达第二反射镜136b。第二反射镜136b将被第一反射镜136a水平反射的光栅图案光向下反射向图像采集部134。换句话说，第二反射镜136b向下反射被第一反射镜136a反射向右方的光栅图案光，并且使被反射的光栅图案光到达布置在投射部132的侧部处的图像采集部134。光学组件移动部140布置在光学组件130的上方，并且与光学组件130相连以移动光学组件130。在示例性实施例中，光学组件移动部140包括第一移动引导件142和第二移动引导件144，第一移动引导件142沿第一方向Dl移动光学组件130，第二移动引导件144沿第二方向D2移动光学组件130。第二移动引导件144可以被引导件支撑体146支撑，引导件支撑体146安装在工作台10的与第二方向D2对应的两侧。光学组件移动部140不是在工作台10上方安装在光学组件130的侧部，而是布置在光学组件130的上方并且与光学组件130相连，因此确保了会因并排布置工作架而变小的空间。如图3所示，光学组件130的投射部132可以倾斜地布置，以便于将光栅图案光投射到板10上。然而，可选地，可以通过改变光栅图案光的投射光路来将光栅图案光设置为倾斜的。图4示出图1中所示的板检验设备的光学组件的示例性实施例的正视图。图5是示出图4中所示的板检验设备的光学组件的俯视图。参考图4和图5，投射部132可以布置成与板10大致垂直。因此，可以减小投射部 132占据的空间，以便更有效地利用作业空间。光学组件130还可以包括第二光路改变部137，第二光路改变部137改变光路从而使从投射部132产生的光栅图案光倾斜地入射到板10上。在示例性实施例中，第二光路改变部137可以包括第三反射镜137a和第四反射镜 137b。第三反射镜137a将向下入射到第三反射镜137a上的光栅图案光沿与投射部132大致垂直的方向反射向第四反射镜137b。第四反射镜137b将来自第三反射镜137a的光栅图案光反射向板10。例如，光学组件130可以包括an个投射部132 (m为自然数)，当从俯视图中观察时，ail个投射部132以规则的间隔分隔开地设置在与板10大致平行的圆周上。在图4中， 光学组件130包括4个投射部132。在该情况下，第三反射镜137a布置在各投射部132的下方，第四反射镜137b布置在第三反射镜137a的下方。第三反射镜137a将向下入射到第三反射镜137a的光栅图案光沿与投射部132大致垂直的方向反射向布置在投射部132下方并且面向投射部132的第四反射镜137b，第四反射镜137b将来自第三反射镜137a的光栅图案光反射向板10。因此，投射部132可以与板10大致垂直，并且可以减小投射部132占据的空间，以便确保会因并排布置工作架而变小的空间。可以利用一个光栅移动装置(未示出)移动与ail个投射部132中的每个投射部 132对应的光栅部件(未示出)。换句话说，在投射部132布置成与板10大致垂直的情况下，与图3不同，投射部130并排布置，因此，可以使用一个光栅移动装置移动与至少两个投射部132对应的光栅部件。投射部132、图像采集部134、第一光路改变部136和第二光路改变部137可以与主体138形成为一体。此外，可以在主体138的下方布置灯安装部138a，并且灯安装部138a 可以与主体138形成为一体。灯安装部138例如可以呈圆形或四边环形。在图4和图5中， 尽管附图标记136a、136b、137a和137b严格来说分别是指用于将第一反射镜、第二反射镜、 第三反射镜和第四反射镜固定到主体138上的反射镜固定部，但是为方便起见，将上述附图标记用于表示第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和第四反射镜。光学组件130还可以包括照明部139。照明部139可以提供光以用于板10的初始对准、设置检验区域等，并且可以提供彩色光以用于获取测量目标20的二维图像。在示例性实施例中，照明部139包括驱动板139a，其布置在灯安装部138a的上表面上；以及光源139b，其布置在驱动板139a的下表面上。驱动板139a对应于印刷电路板(PCB)，并且驱动光源139b。光源139b向板10提供光。例如，照明部139可以包括产生白光的荧光灯，或者包括分别产生红光、绿光和蓝光的红光发光二极管(LED)、绿光LED和蓝光LED中的至少一个。照明部139提供光以用于初始对准、设置检验区域等，或提供彩色光以用于获取二维图像，在这方面与投射光栅图案光以用于获取形成在板10上的测量目标20的三维尺寸信息的投射部132不相同。与常规结构不同，由于板检验设备100的上述结构特征，照明部139可以与光学组件130形成为一体。第三反射镜137a和第四反射镜137b可以通过反射镜固定部固定到主体138。照明部139可以布置在反射镜固定部的下方并且与反射镜固定部相连，以向板10提供光。板检验设备100还可以包括线缆引导部150，该线缆引导部150引导用于板检验设备100的各种线缆。在示例性实施例中，线缆引导部150可以布置在投射部132的第二侧部处，该第二侧部与布置有图像采集部134的第一侧部相反。在图4中，线缆引导部150布置在投射部 132的左侧。可选地，如果将图像采集部134布置在投射部132的左侧，则可以将线缆引导部150布置在投射部132的右侧。
线缆引导部150可以包括线缆链(cable chain) 152，并且在光学组件130和线缆引导部150被光学组件移动部140移动时，相应地，线缆链152帮助被线缆引导部150引导的线缆平滑地移动而不扭绞。如上文所述，板检验设备包括多个工作架，并且各个工作架独立地进行板检验，因此大幅缩短检验板所需的时间。此外，用于移动包括投射部的光学组件的光学组件移动部布置在光学组件的上方，用于接收从投射部产生的光栅图案光的图像采集部布置在投射部的侧部，以确保因安装工作架而变小的空间。显然，对于本领域的技术人员而言，可以在不脱离本发明主旨和范围的情况下对本发明进行各种修改和变型。从而，其意图在于使本发明涵盖落入所附权利要求书及其等同内容的范围内的本发明的修改和变型。本申请要求2010年11月12日提交的韩国专利申请No. 2010-112764的优先权， 该韩国申请的全部内容通过引用并入本文。
权利要求
1.一种检验设备，包括工作架部，其用于将板移动到测量位置并且支撑所述板； 光学组件，其包括投射部，其布置在所述板的上方，以将光栅图案光投射到所述板上； 图像采集部，其布置在所述投射部的侧部处，以接收被所述板向上反射的光栅图案光并且采集反射图像；以及第一光路改变部，其改变被所述板向上反射的光栅图案光的光路并且将光栅图案光引导到所述图像采集部，从而使光栅图案光向下入射到所述图像采集部中；以及光学组件移动部，其布置在所述光学组件的上方，并且与所述光学组件相连以使所述光学组件移动。
2.根据权利要求1所述的检验设备，其中，所述工作架部包括目标移动装置，所述目标移动装置用于将所述板移动到所述测量位置，所述目标移动装置使所述板沿第一方向移动，所述光学组件移动部使所述光学组件沿与所述第一方向大致垂直的第二方向移动，并且所述图像采集部布置在所述投射部的与所述第二方向对应的第一侧部处。
3.根据权利要求2所述的检验设备，还包括线缆引导部，所述线缆引导部布置在所述投射部的第二侧部处，所述第二侧部与所述投射部的布置有所述图像采集部的第一侧部相反。
4.根据权利要求3所述的检验设备，其中，所述光学组件移动部布置在所述线缆引导部上方并且与所述线缆引导部相连。
5.根据权利要求1所述的检验设备，其中，所述第一光路改变部包括第一反射镜，所述第一反射镜将被所述板向上反射的光栅图案光水平地反射向所述投射部的布置有所述图像采集部的侧部。
6.根据权利要求5所述的检验设备，其中，所述第一光路改变部还包括第二反射镜，所述第二反射镜将被所述第一反射镜水平反射的光栅图案光向下反射向所述图像采集部。
7.根据权利要求1所述的检验设备，其中，所述投射部布置成与所述板大致垂直，并且所述光学组件还包括第二光路改变部，所述第二光路改变部改变光路，从而使得来自所述投射部的光栅图案光倾斜地入射到所述板上。
8.根据权利要求7所述的检验设备，其中，所述光学组件包括an个投射部，m为自然数，当从俯视图中观察时，所述an个投射部以规则的间隔分隔开地布置在与所述板大致平行的圆周上，所述第二光路改变部包括布置在投射部中每一个投射部下方的第三反射镜和布置在所述第三反射镜下方的第四反射镜，并且所述第三反射镜将向下入射到所述第三反射镜上的光栅图案光沿与所述投射部大致垂直的方向反射向布置在所述投射部下方并且面向所述投射部的所述第四反射镜，所述第四反射镜将来自所述第三反射镜的光栅图案光反射向所述板。
9.根据权利要求8所述的检验设备，其中，所述an个投射部中的每个投射部均包括用于产生光的光源和用于将来自所述光源的光转换成光栅图案光的光栅部件，与所述ail个投射部中的每个投射部对应的所述光栅部件被一个光栅移动装置移动。
10.根据权利要求1所述的检验设备，其中，所述光学组件还包括照明部，所述照明部与所述投射部、所述图像采集部和所述第一光路改变部相连成一体，所述照明部布置在所述光学组件的主体的下方以向所述板提供光。
11.一种检验设备，包括目标移动部，其将板移动到测量位置； 投射部，其将光栅图案光投射到所述板上；图像采集部，其布置在所述投射部的侧部处，以通过接收被所述板反射的光栅图案光来采集反射图像；以及光路改变部，其改变被所述板反射的光栅图案光的光路并且将光栅图案光引导到所述图像采集部。
12.根据权利要求11所述的检验设备，还包括并排布置的至少两个工作架，其中，每个工作架均从相邻的设备接纳板，并且独立地支撑所接纳的板，并且独立地对每个板进行检验。
13.根据权利要求11所述的检验设备，还包括光学组件移动部，所述光学组件移动部布置在所述投射部和所述图像采集部的上方，以使所述投射部和所述图像采集部移动。
14.根据权利要求11所述的检验设备，其中，所述光路改变部包括第一反射镜，其将被所述板向上反射的光栅图案光水平地反射向所述投射部的布置有所述图像采集部的侧部；以及第二反射镜，其将被所述第一反射镜水平反射的光栅图案光向下反射向所述图像采集部。
15.一种检验设备，包括投射部，其将光栅图案光投射到板上；图像采集部，其接收被所述板反射的光栅图案光并且采集反射图像； 光路改变部，其包括至少一个反射镜和用于固定所述至少一个反射镜的反射镜固定部，所述至少一个反射镜改变光路从而使得来自所述投射部的光栅图案光倾斜地入射到所述板上；以及照明部，其与所述光路改变部的反射镜固定部相连，并且布置在所述反射镜固定部的下方，以向所述板提供光。
16.根据权利要求15所述的检验设备，其中，所述检验设备包括an个投射部，m为自然数，所述an个投射部中的每个投射部均布置成与所述板大致垂直，当从俯视图中观察时， 所述an个投射部以规则的间隔分隔开地布置在与所述板大致平行的圆周上，所述光路改变部包括布置在投射部中每一个投射部下方的第三反射镜和布置在所述第三反射镜下方的第四反射镜，并且所述第三反射镜将向下入射到所述第三反射镜上的光栅图案光沿与所述投射部大致垂直的方向反射向布置在所述投射部下方并且面向所述投射部的所述第四反射镜，所述第四反射镜将来自所述第三反射镜的光栅图案光反射向所述板。
17.根据权利要求15所述的检验设备，还包括工作架部，其从相邻的设备接纳板并且将所述板移动到测量位置，所述工作架部包括并排布置以支撑所述板的至少两个工作架；以及光学组件移动部，其布置在所述投射部和所述图像采集部的上方并且与所述投射部和所述图像采集部相连，以使所述投射部和所述图像采集部移动。
全文摘要
本发明公开一种检验设备，包括工作架部、光学组件和光学组件移动部。工作架部接纳板以使板移动。工作架部包括并排布置的多个工作架。光学组件包括投射部，其布置在板的上方；图像采集部，其布置在投射部的侧部处，以接收被板向上反射的光栅图案光并且采集反射图像；以及光路改变部，其改变被板向上反射的光栅图案光的光路并且将光栅图案光引导到图像采集部，从而使得光栅图案光向下入射到图像采集部。光学组件移动部布置在光学组件的上方并且与光学组件相连，以使光学组件移动。因此，可以缩短检验板所需的时间并且保证检验板所需的空间。
文档编号G01N21/89GK102565078SQ201110360588
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月14日 优先权日2010年11月12日
发明者全文荣, 尹相圭, 洪钟圭, 许浈, 金弘珉 申请人:株式会社高永科技