专利名称：显像管内材料高温放气性能测试装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及显像管检测设备，尤其涉及一种显像管内材料高温放气性能测试装置。
背景技术：
彩色显像管内的真空状态属于“准静态”，管内真空的质和量不仅取决于封离真空度、吸气剂的吸气能力，还与管内气源包括管内材料的放气和管壳漏气等密切相关。在大生产中，考虑到生产效率和成本，封离真空度不可能很高，吸气剂的吸气容量也有一定限度，管壳漏气属于异常情况，为长期保持管内良好的真空质量，必须重点控制管内材料的放气性能。因此，在材料使用前，必须对其放气性能进行测试，以确保其放气性能符合质量要求，并为提高其质量标准提供依据。对材料放气性能的测试，主要着眼于高温放气，这是因为1、管内材料和零件必须事先经过预处理，预处理后材料的放气速率较低，而放气速率是随温度呈指数增加的，不加高温难于精确测定；2、高温下可在短时间内放出材料中的气体总量，因此，便于得出含气浓度的数据，并可提供选材、工艺、预处理规范的比较。有时，为了了解材料或零件在排气烘烤过程中的放气情况，必须模拟排气时的烘烤升温曲线，测试有关的放气数据；3、某些零件或材料在管内的工作环境本来就是高温。
现有技术的一种显像管内材料高温放气性能测试装置的主要结构如图1所示，它包括管式高温炉11、试样室12、微调阀13、超高真空电离规14、15、旁通阀16、17。试样室12置于管式高温炉11内，其外端通过管道18连接真空抽气机组，在管道18上设有限流小孔181，二个旁通阀16、17分别通过连接管与限流小孔181两侧的管道18相连。二台超高真空电离规14、15分别与限流小孔181两侧的管道18相连，微调阀13与限流小孔181靠近试样室12一侧的管道18相连并外接质谱分析装置。
使用上述测试装置测试显像管内材料的高温放气性能，存在着误差较大、重复性较差、一次只能测试一个试样的问题。
发明内容
本实用新型的任务是提供一种改进的显像管内材料高温放气性能测试装置，它解决了现有测试装置在测试时误差大、重复性差、一次只能测试一个试样的问题，确保彩色显像管内材料的高温放气性能质量符合要求。
本实用新型的技术方案如下一种显像管内材料高温放气性能测试装置，它包括主测试装置和质谱分析装置，二个装置之间通过安装有微调阀的管路相连，所述的主测试装置包括管式加热炉、真空抽气机组和试样处理与测试机构，真空抽气机组和试样处理与测试机构通过管路相连通，在该连通管路上设有限流孔，在限流孔两侧的连通管路上各连接一台超高真空电离规，在限流孔两侧还并联两根安装有旁通阀的管道；所述的质谱分析装置包括真空抽气机组、质谱分析室和质谱计；所述的高精度温控仪装有冷端自动温度补偿和强抗干扰装置。
所述的测试数据微机处理装置包括二台带RS232串行口的数显超高真空计和一台装有管内材料放气性能数据处理软件的微机，二台数显超高真空计与二台超高真空电离规线路相连并与微机线路相连。
所述的试样处理与测试机构包括进样法兰、试样贮存室、试样输送管和石英管，试样贮存室分别与进样法兰和试样输送管连通，试样输送管与石英管连通，石英管置于管式加热炉内。
所述的试样贮存室由一根水平设置的主管道和四根与主管道水平相交设置的支管道组成，主管道一端与连接主测试装置和质谱分析装置的装有微调阀的管路相连通，主管道另一端与进样法兰连通，主管道侧面与连接真空抽气机组和试样处理与测试机构的连通管路连通，位于主管道中部的支管道与试样输送管连通。
所述的管式加热炉相对于垂直方向呈45°倾斜设置，所述的设置在管式加热炉内的石英管及与该石英管相连的试样输送管也相应地相对于垂直方向呈45°倾斜设置。
所述的主测试装置中的真空抽气机组包括顺序相连的旋片泵、挡油阱和低返油扩散泵，低返油扩散泵的进气口与连接真空抽气机组和试样处理与测试机构的管路相连通。
所述的质谱分析装置的真空抽气机组包括顺序相连的旋片泵、挡油阱和涡轮分子泵，涡轮分子泵的进气口通过安装有超高真空角阀的管路与质谱分析室相连通；质谱分析装置的真空抽气机组还包括一溅射离子泵，该溅射离子泵通过安装有超高真空角阀的管路与质谱分析室相连通。
所述的连接主测试装置和质谱分析装置的装有微调阀的管路上包覆有加热带。
本实用新型的显像管内材料高温放气性能测试装置能对彩色显像管内的材料的高温放气性能进行准确测试，其测量误差�。饬恐馗葱院茫饬肯钅慷啵饬恐悄芑礁撸乙慌懿馐远喔鍪匝圆返闹柿靠刂�、工艺技术的改进和材料进厂检验都具有指导意义。
图1为现有技术的一种显像管内材料高温放气性能测试装置的主要结构示意图。
图2为本实用新型的一种显像管内材料高温放气性能测试装置的结构示意图。
具体实施方式
请参见图2，本实用新型的显像管内材料高温放气性能测试装置包括主测试装置2和质谱分析装置3，主测试装置2和质谱分析装置3之间通过管路4相连通。在管路4上安装有微调阀41，并包裹有加热带(未图示)。
请继续参见图2，本测试装置的主测试装置2包括管式加热炉21、高精度温控仪22、真空抽气机组23、测试数据微机处理装置24和试样处理与测试机构25，真空抽气机组23和试样处理与测试机构25通过管路26相连通。管式加热炉21相对于垂直方向呈45°倾斜设置。高精度温控仪22与管式加热炉21线路相连，高精度温控仪22装有冷端自动温度补偿和强抗干扰装置，具有冷端自动温度补偿和强抗干扰能力，机内可贮存一条8段温控曲线，升温速率、保温温度及保温时间均可事先设定，升温速率的控制偏差小于2℃/min，保温温度的控制偏差小于±1℃，可对管式加热炉进行温控。真空抽气机组23包括顺序相连的旋片泵231、挡油阱232和低返油扩散泵233，在挡油阱232和低返油扩散泵233的连接管路上连接有电阻真空规234，低返油扩散泵233的进气口与管路26相连通。
测试数据微机处理装置24包括两台带RS232串行口的数显超高真空计241、242和一台设有材料放气性能数据处理软件的微机243，两台数显超高真空计241、242各与超高真空电离规262、263线路相连并分别与微机线路相连。测试数据微机处理装置24可对测试数据进行自动采集、贮存和处理。试样处理与测试机构25包括进样法兰251、试样贮存室252、试样输送管路253和石英管254，试样贮存室252由一根水平设置的主管道和四根与主管道水平相交设置的支管道组成，其主管道一端与管路4相连通，主管道另一端与进样法兰251连通，主管道侧面与连接真空抽气机组和试样处理与测试机构的连通管路26连通，位于主管道中部的支管道与试样输送管路253连通，试样输送管路253与石英管254连通，石英管254置于管式加热炉21内。石英管254及试样输送管路253相应于管式加热炉21与垂直方向45°倾斜设置。在连通管路26上设有限流孔261，在限流孔261两侧的连通管路上连接二台超高真空电离规262、263，在限流孔261两侧的连通管路上还连接二个旁通阀264、265。
请参见图2，本测试装置中的质谱分析装置3包括真空抽气机组31、质谱分析室32、四极质谱计33和超高真空电离规34。真空抽气机组31、四极质谱计33和超高真空电离规34分别与质谱分析室32连通。四极质谱计33采用美国英费康(INFICON)公司的第三代智能化仪器，可测出管内材料瞬间放气成分的百分含量。真空抽气机组31包括顺序相连的旋片泵311、挡油阱312和涡轮分子泵313，涡轮分子泵313的进气口通过安装有超高真空角阀35的管路与质谱分析室32相连通。真空抽气机组31还包括一溅射离子泵314，该溅射离子泵314通过安装有超高真空角阀36的管路与质谱分析室32相连通。
本实用新型的显像管内材料高温放气性能测试装置在使用时，可根据试样的性质和测试要求，选用不同的升温方式，如匀速升温、一次瞬间升温或阶梯升温，并且可在同一批次内测试多组试样。
本测试装置因配置了高性能的温控仪，可进行多项材料放气性能的测试1、在高真空环境下，按设定的升温速率升温，测试材料在每一瞬间即不同温度下的放气速率、放气成分及某一时间间隔即温度区间的放气量；2、在高真空环境下，测试材料在某一恒定温度下每一瞬间的放气速率、放气成分及某一时间间隔内的放气量；3、在高真空环境下，按设定的烘烤程序处理后，测试材料当降至某一温度时的放气速率和放气成分。
权利要求1.一种显像管内材料高温放气性能测试装置，它包括主测试装置和质谱分析装置，二个装置之间通过安装有微调阀的管路相连，所述的主测试装置包括管式加热炉、真空抽气机组和试样处理与测试机构，真空抽气机组和试样处理与测试机构通过管路相连通，在该连通管路上设有限流孔，在限流孔两侧的连通管路上各连接一台超高真空电离规，在限流孔两侧还并联两根安装有旁通阀的管道；所述的质谱分析装置包括真空抽气机组、质谱分析室和质谱计；其特征在于，所述的主测试装置还包括高精度温控仪和测试数据微机处理装置，高精度温控仪与管式加热炉线路相连以对管式加热炉进行温控，测试数据微机处理装置与二台超高真空电离规相连以对测试数据进行自动采集、贮存和处理；所述的质谱分析装置中的质谱计为四极质谱计。
2.如权利要求1所述的显像管内材料高温放气性能测试装置，其特征在于，所述的高精度温控仪装有冷端自动温度补偿和强抗干扰装置。
3.如权利要求1所述的显像管内材料高温放气性能测试装置，其特征在于，所述的测试数据微机处理装置包括二台带RS232串行口的数显超高真空计和一台装有管内材料放气性能数据处理软件的微机，二台数显超高真空计与二台超高真空电离规线路相连并与微机线路相连。
4.如权利要求1所述的显像管内材料高温放气性能测试装置，其特征在于，所述的试样处理与测试机构包括进样法兰、试样贮存室、试样输送管和石英管，试样贮存室分别与进样法兰和试样输送管连通，试样输送管与石英管连通，石英管置于管式加热炉内。
5.如权利要求4所述的显像管内材料高温放气性能测试装置，其特征在于，所述的试样贮存室由一根水平设置的主管道和四根与主管道水平相交设置的支管道组成，主管道一端与连接主测试装置和质谱分析装置的装有微调阀的管路相连通，主管道另一端与进样法兰连通，主管道侧面与连接真空抽气机组和试样处理与测试机构的连通管路连通，位于主管道中部的支管道与试样输送管连通。
6.如权利要求1所述的显像管内材料高温放气性能测试装置，其特征在于，所述的管式加热炉相对于垂直方向呈45°倾斜设置，所述的设置在管式加热炉内的石英管及与该石英管相连的试样输送管也相应地相对于垂直方向呈45°倾斜设置。
7.如权利要求1所述的显像管内材料高温放气性能测试装置，其特征在于，所述的主测试装置中的真空抽气机组包括顺序相连的旋片泵、挡油阱和低返油扩散泵，低返油扩散泵的进气口与连接真空抽气机组和试样处理与测试机构的管路相连通。
8.如权利要求1所述的显像管内材料高温放气性能测试装置，其特征在于，所述的质谱分析装置的真空抽气机组包括顺序相连的旋片泵、挡油阱和涡轮分子泵，涡轮分子泵的进气口通过安装有超高真空角阀的管路与质谱分析室相连通；质谱分析装置的真空抽气机组还包括一溅射离子泵，该溅射离子泵通过安装有超高真空角阀的管路与质谱分析室相连通。
9.如权利要求1所述的显像管内材料高温放气性能测试装置，其特征在于，所述的连接主测试装置和质谱分析装置的装有微调阀的管路上包覆有加热带。
专利摘要本实用新型提供了一种显像管内材料高温放气性能测试装置，它包括主测试装置和质谱分析装置，二个装置之间管路相连。主测试装置包括管式加热炉、真空抽气机组、试样处理与测试机构、高精度温控仪和测试数据微机处理装置，高精度温控仪与管式加热炉线路相连以对管式加热炉进行温控，测试数据微机处理装置可对测试数据进行自动采集、贮存和处理。质谱分析装置包括真空抽气机组、质谱分析室和四极质谱计。本实用新型的测试装置用于显像管内材料的放气性能测试，其测试精度高、项目多、智能化水平高，且一批能测试多个试样，对产品的质量控制、工艺技术的改进和材料进厂检验都具有指导意义。
文档编号G01N1/24GK2757131SQ20042011440
公开日2006年2月8日 申请日期2004年12月17日 优先权日2004年12月17日
发明者钱永生, 孙公方 申请人:上海永新彩色显像管股份有限公司
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