专利名称：一种姿态感应传感器芯片的测试台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种芯片的测试设备，尤其是指ー种姿态感应传感器芯片的测试台。
背景技术：
近年来随着电子类消费品的飞速发展，为了满足年轻人的各种追新求奇的心理，各种各样的带有姿态感应传感器芯片的产品大量投入市�。唤龃碳ち税氲继迳杓浦圃觳档慕剑倍孕酒姆庾安馐约际跻蔡岢隽烁叩囊�。半导体测试包括CP (Circuit Probe)测试和FT (Final Test)测试两个阶段,传统的测试方法，CP和FT两个阶段分别是两种测试设备，测试效率低，资源浪费大，特别是FT 阶段，芯片是分别放在各自的测试座上，做各个方向的运动测试，使得测试设备机构多且复杂，体积大，操作复杂，可靠性较差，测试的效率低。这样使得人力，财カ的投入大大增加，提高了测试成本，降低了封测企业的效益。
实用新型内容本实用实用新型的目的是提供ー种结构简单、通用性好、投入成本低、测试效率高的姿态感应传感器芯片的测试台。为了达到上述要求，所的技术方案是ー种姿态感应传感器芯片的测试台，包括有主台面，其特征是在主台面上安装有供放置晶圆并可作周向旋转的载晶台，在载晶台上放置有真空吸盘，在载晶台对面安装有光源和CCD相机，载晶台相对于光源和CCD相机有可左右移动的X直线轴和上下移动的Y直线轴以及可前后运动的Z直线轴，在Z直线轴上安装测试用的可以周向转动的探针卡。所述的Z直线轴被安装在X直线轴和Y直线轴上。所述载晶台和针卡均与地面垂直设置，且都能做独立转动。所述主台面下面连接有2个异面交叉的可以独立转动的A轴和B轴。所述A轴和B轴的异面交叉为异面垂直交叉。根据上述方案设计的测试台，按照姿态要求进行姿态改变后进行电參数测试，它同时可对CP阶段和FT阶段的测试，应用此测试台可以大大节省测试的时间，降低测试成本，简化测试程序,提高测试过程的稳定性和测试效率。当在主台面下面连接有A轴和B轴时，除了对ニ维的姿态感应传感器芯片测试外，还可进行三维的姿态感应传感器芯片的测试，应用于如对陀螺仪芯片的测试等。
图I是多个芯片以阵列排列在一起组成晶圆的主视图；图2是姿态感应传感器芯片的测试台立体示意图。图中1、芯片；2、晶圆；3、主台面；4、X直线轴；5、Y直线轴；6、Z直线轴；7、针卡；8、载晶台；9、真空吸盘；10、光源；11、CXD相机；12、CXD相机移动轴；13、A转动轴；14、B转动轴。
具体实施方式
以下结合附图和通过实施例对本实用新型作详细的描述。该测试台是按照姿态要求进行姿态改变后进行电參数测试，被测试姿态传感器的芯是由多个芯片I组合组成晶圆2的状态如图I所示，此测试台可以同时应用于CP阶段和FT阶段的测试。该姿态感应传感器芯片的测试台如图2所示，它包括有主台面3，其上面有可左右、上下移动的X直线轴4，Y直线轴5，在X直线轴4、Y直线轴5上安装有可前后运动的Z直线轴6，Z直线轴6上安装测试用的可以独立转动的探针卡7，还有供放置晶圆2垂直于地面放置的载晶台8，在载晶台8的上放置有可作周向旋转的真空吸盘9。在载晶台8对面·放置有可以移动的光源10和CXD相机11，光源10和CXD相机11装在CXD相机移动轴12上,在整个主台面3下面设有2个异面垂直交叉的可以独立转动的A轴13和B轴14。对于只需测试ニ维的姿态感应传感器芯片，测试台可不设置A转动轴13和B转动轴14。
权利要求1.一种姿态感应传感器芯片的测试台，包括有主台面，其特征是在主台面上安装有供放置晶圆并可作周向旋转的载晶台，在载晶台上放置有真空吸盘，在载晶台对面安装有光源和CCD相机，载晶台相对于光源和CCD相机有可左右移动的X直线轴和上下移动的Y直线轴以及可前后运动的Z直线轴，在Z直线轴上安装测试用的可以周向转动的探针卡。
2.根据权利要求I所述的一种姿态感应传感器芯片的测试台，其特征是所述的Z直线轴被安装在X直线轴和Y直线轴上。
3.根据权利要求I所述的一种姿态感应传感器芯片的测试台，其特征在于所述载晶台和针卡均与地面垂直设置，且都能做独立转动。
4.根据权利要求I所述的一种姿态感应传感器芯片的测试台，其特征是在所述主台面下面连接有2个异面交叉的可以独立转动的A轴和B轴。
5.根据权利要求4所述的一种姿态感应传感器芯片的测试台，其特征在于所述A轴和B轴的异面交叉为异面垂直交叉。
专利摘要本实用新型是一种姿态感应传感器芯片的测试台。旨在提供一种结构简单、通用性好、投入成本低、测试效率高的姿态感应传感器芯片的测试台。它包括有主台面，在主台面上安装有供放置晶圆并可作周向旋转的载晶台，在载晶台上放置有真空吸盘，在载晶台对面安装有光源和CCD相机，载晶台相对于光源和CCD相机有可左右移动的X直线轴和上下移动的Y直线轴以及可前后运动的Z直线轴，在Z直线轴上安装测试用的可以周向转动的探针卡。应用此姿态感应传感器芯片的测试台可以大大节省测试的时间，降低测试成本，简化测试程序，提高测试过程的稳定性和测试效率。
文档编号G01R31/28GK202471910SQ20122002624
公开日2012年10月3日 申请日期2012年1月19日 优先权日2012年1月19日
发明者徐鹏辉, 朱玉萍 申请人:嘉兴景焱智能装备技术有限公司
专业数控铣床产品供应商
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