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ËùÊö·ÖÀëµ¥Ôª¶þ°üÀ¨Áùͨ·§Ò» 16¼°É«Æ×Öù¶þ 17£¬ËùÊöÉ«Æ×Ô¤Öù15¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò» 16 ¼°ËùÊöÉ«Æ×Öù¶þ 17ÒÀ´ÎÁ¬½Ó£»
ËùÊö·ÖÀëµ¥ÔªÈý°üÀ¨Áùͨ·§¶þ 18¼°É«Æ×ÖùÈý19£¬ËùÊöÉ«Æ×Ô¤Öù15ÓëËùÊöÁùͨ·§¶þ 18 Á¬½Ó£¬ËùÊöÁùͨ·§Ò» 16ÓëËùÊöÁùͨ·§¶þ 18Á¬½Ó£¬ËùÊöÁùͨ·§¶þ 18ÓëËùÊöÉ«Æ×ÖùÈý19ÒÀ´ÎÁ¬½Ó£»
ͨ¹ý¿ØÖÆËùÊöʮͨ·§14¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò» 16¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þ 18ת¶¯Ê¹Æä·Ö±ðÔÚ½øÑùʱ¡¢ ·ÖÀëʱ´¦ÓÚ²»Í¬µÄµ¼Í¨×´Ì¬£¬´Ó¶øÊ¹ÑùÆøÍ¨¹ýËùÊöÉ«Æ×ÖùÖù¶þ 17¼°ËùÊöÉ«Æ×ÖùÈý19±»·Ö
1 OÆäÖУ¬ËùÊö·ÖÀëµ¥ÔªÒ»Ö÷ÒªÍê³ÉÑùÆø(±ê×¼Æø)µÄ¶¨Á¿½øÑùºÍ¼ì²â×é·ÖÔ¤·ÖÀ빦ÄÜ£¬ËùÊö·ÖÀëµ¥ÔªÒ»µÄ¹¤×÷Á÷³ÌÈçÏÂ
(1)µ±Ê®Í¨·§14´¦ÓÚ½øÑù×¼±¸×´Ì¬(ͼ1ÖÐΪʵÏßÁ¬Í¨£¬ÐéÏß²»Í¨)ʱ 1)º¤ÆøÍ¨¹ý½øÆø¹Ü20 ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú Ill ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú & ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú ei ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú I1 ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú J1 ¡ªÉ«Æ×Ô¤Öù15¡£2)µ±¶¨Á¿¹Ü12´¦ÓÚÑùÆ·½øÑù×¼±¸×´Ì¬Ê±
ÑùÆ·Æø(»ò±ê×¼ÆøÌå)ͨ¹ý11 ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú C1 ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú Cl1 ¡ª¶¨Á¿¹Ü 12 ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú һʮͨ·§14µÄ½Ó¿Ú Id1 ¡ªÑùÆø³ö¹Ü13Åſա£Íê³É½øÑùÆøÌ嶨Á¿¹¤×÷¡£(2)ʮͨ·§14´¦ÓÚ½øÑù״̬(ͼ1ÖÐΪÐéÏßÁ¬Í¨£¬ÊµÏß²»Í¨)ʱ
º¤ÆøÍ¨¹ýº¤Æø½ø¹Ü10 ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú hi ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú I1 ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú & ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú ei ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú Cl1 ¡ª¶¨Á¿¹Ü12 ¡ªÊ®Í¨·§14µÄ½Ó¿Ú һʮͨ·§14µÄ½Ó¿Ú J1 ¡ªÉ«Æ×Ô¤Öù15¡£Íê³É¶¨Á¿½øÑù¹¤×÷¡£ÆäÖУ¬ËùÊöÈȵ¼¼ì²âÆ÷¼ì²âµÄ¹¤×÷Á÷³ÌÈçÏÂ
(1)Áùͨ·§¶þ 18ºÍÁùͨ·§Ò» 16ʵÏßͨ£¬ÐéÏß²»Í¨×´Ì¬£¬Ô¤·ÖÀëÖùÉ«Æ×Ô¤Öù15 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú C2 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú ID2 ¡ªÁùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú C3 ¡ªÁùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú b3¡ªÈȵ¼¼ì²âÆ÷TCD¡£(2)Áùͨ·§¶þ 18ºÍÁùͨ·§Ò» 16ÐéÏßͨ£¬ÊµÏß²»Í¨×´Ì¬£¬Ô¤·ÖÀëÖù15 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú f2 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú £¥ ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú Ò»Áùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú Id2 ¡ª Áùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú C3 ¡ªÁùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú b3 ¡ªÈȵ¼¼ì²âÆ÷TCD¡£3. PDD¼ì²âÆ÷¼ì²â
(1)Áùͨ·§¶þ 18ºÍÁùͨ·§Ò» 16ʵÏßͨ£¬ÐéÏß²»Í¨×´Ì¬¡£1)Ô¤·ÖÀëÖù15 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú f2 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú ¦Å¦É2 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16 µÄ½Ó¿Ú £¥ ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú d2 ¡ªÉ«Æ×ÖùÖù¶þ 17 ¡ªÂö³å·Åµçº¤Àë×Ó¼ì²âÆ÷PDD £»
2)Ô¤·ÖÀëÖù15 ¡ªÁùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú f3 ¡ªÁùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú Ò»Áùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú £¥ ¡ªÁùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú d3 ¡ªÉ«Æ×ÖùÖùÈý19 ¡ªÂö³å·Åµçº¤Àë×Ó¼ì²âÆ÷PDD¡£(2)Áùͨ·§¶þ 18ºÍÁùͨ·§Ò» 16ÐéÏßͨ£¬ÊµÏß²»Í¨×´Ì¬¡£1)Ô¤·ÖÀëÖù15 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú C2 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú d2 ¡ªÉ«Æ×ÖùÖù¶þ 17 ¡ªÂö³å·Åµçº¤Àë×Ó¼ì²âÆ÷PDD¡£2)Ô¤·ÖÀëÖù15 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú f2 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16µÄ½Ó¿Ú ¦Å¦É2 ¡ªÁùͨ·§Ò» 16 µÄ½Ó¿Ú 1 ¡ªÁùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú C3 ¡ªÁùͨ·§¶þ 18µÄ½Ó¿Ú d3 ¡ªÉ«Æ×ÖùÖùÈý19 ¡ªÂö³å·Åµçº¤Àë×Ó¼ì²âÆ÷PDD¡£ÔÚ±¾·¢Ã÷ÖУ¬ËùÊöÉ«Æ×Ô¤Öù15µÄ×é·ÖÓëËùÊöÉ«Æ×Öù¶þ 17µÄ×é·Ö¿ÉÒÔÒ»Ö£¬Ò²¿ÉÒÔÑ¡Ôñ²»Ò»Ñù£¬±¾ÊµÊ©ÀýÓÅÑ¡ËùÊöÉ«Æ×Ô¤Öù15µÄ×é·ÖºÍËùÊöÉ«Æ×Öù¶þµÄ×é·ÖÒ»Ö£¬Æä×é·Ö¾ùΪG-Pro£¬¶øËùÊöÉ«Æ×ÖùÈý19µÄ×é·ÖΪ13X¡£ËùÊöÉ«Æ×Ô¤Öù15ÓÃÓÚ³õ²½·ÖÀëÁù·ú»¯ÁòµçÆøÉ豸¹ÊÕÏÆøÌåµÄËùÓÐ×é·Ö£¬ËùÊöÉ«Æ×ÖùÈý19ÓÃÓÚ·ÖÀë02¡¢N2, CO¡¢CO2, NO2£¬¶øËùÊöÉ«Æ×Öù¶þ 17 ½øÒ»²½·ÖÀë CF4, C2F6, C3F8, H2S, SO2, SOF2, SO2F2, S2F10O, SF6 µÈ×é·Ö¡£ÎªÁ˱ãÓÚת¶¯ËùÊöʮͨ·§14¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò» 16¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þ 18£¬±¾ÊµÊ©ÀýÓÅÑ¡Æä·Ö±ðÁ¬½ÓÇý¶¯×°Öã¬ËùÊöÇý¶¯×°ÖðüÀ¨ÓëËùÊöʮͨ·§14¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò» 16¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þ 18·Ö±ðÁ¬½ÓµÄת¶¯×°Öü°Æø¸×£¬Èý¸öËùÊöת¶¯×°Ö÷ֱðÓëËùÊöʮͨ·§14¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò» 16¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þ 18Á¬½Ó£¬Í¨¹ýËùÊöÆø¸×ÍÆ¶¯ËùÊöת¶¯×°ÖÃת¶¯£¬ÒԸıäËùÊöʮͨ·§14¡¢ ËùÊöÁùͨ·§Ò» 16¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þ 18µÄµ¼Í¨·½Ïò£¬¼´Ê¹Í¼1ÖÐÐéÏß¡¢ÊµÏߵıêʾλÖñ任µ¼Í¨£¬ÔÚ½øÑùÆøÊ±£¬ÊµÏßµ¼Í¨±êʾµÄλÖõ¼Í¨£¬¶ø·ÖÀëÑùÆøÊ±£¬Æø¸×ÍÆ¶¯Ê¹ËùÊöʮͨ·§14¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò» 16¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þ 19ת¶¯£¬±äΪÐéÏß±êʾµÄλÖõ¼Í¨£¬½øÐÐÑùÆø·ÖÀë¡£ÓÅÑ¡µÄÊÇ£¬±¾·¢Ã÷ÓÃÓÚ¼ì²âÁù·ú»¯ÁòµçÆøÉ豸¹ÊÕÏÆøÌåµÄ¼ì²â×°ÖðüÀ¨ÓÐβ´µ¹Ü 20¡¢²Î±È½øÆø¹Ü21¼°¾»»¯×°ÖÃ22£¬ËùÊöβ´µ¹Ü20ÓëÂö³å·Åµçº¤Àë×Ó¼ì²âÆ÷PDDÁ¬½Ó£¬ËùÊö²Î±È½øÆø¹Ü21ÓëËùÊöÈȵ¼¼ì²âÆ÷TCDÁ¬½Ó£¬ËùÊö¾»»¯×°ÖÃ22ÉèÓÚËùÊöÁùͨ·§Ò» 16ÓëËùÊöÉ«Æ×Öù¶þ 17Ö®¼ä¡£Èçͼ2 Ëùʾ£¬ÆäʾÒâÁ˱¾·¢Ã÷¶Ô 02¡¢N2, CF4, SF6, C3F8, SO2F2, SOF2, S02¡¢S2OF10 µÈÎïÖʵļì²âÆ×ͼ£¬Æä·åÖµÒÀ´ÎΪO2¡¢N2¡¢CF4¡¢SF6¡¢C3F8¡¢SRF2¡¢SOF2¡¢S02 J2OFltlµÄ·åÖµ£»Èçͼ3Ëùʾ£¬ÆäʾÒâÁ˱¾·¢Ã÷¶Ô02¡¢N2¡¢CF4¡¢C2F6 ,C3F8^SO2F2µÈÎïÖʵļì²âÆ×ͼ£¬Æä·åÖµÒÀ´ÎΪ02¡¢N2¡¢ CF4, C2F6¡¢C3F8, SO2F2µÄ·åÖµ£»ÔÚͼ2¼°Í¼3ÖУ¬Æäºá×ø±ê±êʾʱ¼ä£¬µ¥Î»Îª·ÖÖÓ£¬Æä×Ý×ø±ê±êʾ·åÖµ£¬µ¥Î»Îª¦Ì V¡£ÒÔÉϽöΪ±¾·¢Ã÷µÄ¾ßÌåʵʩÀý£¬²¢²»ÒÔ´ËÏÞ¶¨±¾·¢Ã÷µÄ±£»¤·¶Î§£»ÔÚ²»Î¥·´±¾·¢Ã÷¹¹Ë¼µÄ»ù´¡ÉÏËù×÷µÄÈκÎÌæ»»Óë¸Ä½ø£¬¾ùÊô±¾·¢Ã÷µÄ±£»¤·¶Î§¡£
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4.ÈçȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÓÃÓÚ¼ì²âÁù·ú»¯ÁòµçÆøÉ豸¹ÊÕÏÆøÌåµÄ¼ì²â×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöÉ«Æ×ÖùÈýµÄ×é·ÖΪ13X¡£
5.ÈçȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÓÃÓÚ¼ì²âÁù·ú»¯ÁòµçÆøÉ豸¹ÊÕÏÆøÌåµÄ¼ì²â×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊö·ÖÀë×°Öû¹°üÀ¨ÖÁÉÙÒ»¸öÇý¶¯×°Öã¬ËùÊöÇý¶¯×°ÖÃÓëËùÊöʮͨ·§¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò»¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þÁ¬½Ó£¬Çý¶¯ËùÊöʮͨ·§¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò»¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þת¶¯ÒԸıäÆäµ¼Í¨·½Ïò¡£
6.ÈçȨÀûÒªÇó5ËùÊöµÄÓÃÓÚ¼ì²âÁù·ú»¯ÁòµçÆøÉ豸¹ÊÕÏÆøÌåµÄ¼ì²â×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊö·ÖÀë×°ÖðüÀ¨ÓÐÈý¸öÇý¶¯×°Öã¬ËùÊöÇý¶¯×°ÖðüÀ¨ÓëËùÊöʮͨ·§¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò»¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þ·Ö±ðÁ¬½ÓµÄת¶¯×°Öü°Æø¸×£¬Èý¸öËùÊöת¶¯×°Ö÷ֱðÓëËùÊöʮͨ·§¡¢ËùÊöÁùͨ·§Ò»¼°ËùÊöÁùͨ·§¶þÁ¬½Ó¡£
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8.ÈçȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÓÃÓÚ¼ì²âÁù·ú»¯ÁòµçÆøÉ豸¹ÊÕÏÆøÌåµÄ¼ì²â×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöÂö³å·Åµçº¤Àë×Ó¼ì²âÆ÷Á¬½ÓÓвαȽøÆø¹Ü¡£
9.ÈçȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÓÃÓÚ¼ì²âÁù·ú»¯ÁòµçÆøÉ豸¹ÊÕÏÆøÌåµÄ¼ì²â×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöÁùͨ·§Ò»ÓëËùÊöÉ«Æ×Öù¶þÖ®¼äÁ¬½ÓÓо»»¯×°Öá£
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