专利名称：一种电子加速器能量的在线测量方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子加速器领域，特别涉及一种电子加速器能量的在线测量方法及其装置背景技术
电子直线加速器首先用电子枪产生电子束流，然后用静电场或微波场加速电子， 使其获得各种应用所需要的能量。电子加速器的输出的电子能量是加速器的重要参数之一，也是各种应用场合所关注的关键参数，因此需要能够在线实时测量，特别是在加速器调试运行阶段。目前的电子能量测量大多采用电子射程的方法，这种方法的准确度虽然较高， 但是每次测量需要停机放置电子能量测量辐照盒，不能在线更换，因此就不能在线实时测量，费时费力。发明内容
本发明克服了现有技术中的不足，提供了一种能够在线实时测量，操作简单、测量准确的电子加速器能量的在线测量方法及其装置。
为了解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的一种电子加速器能量的在线测量方法，包括以下步骤(I)将偏转磁铁通入反向电流， 进行电流和能量关系的校准，(2)偏转磁铁加载电流，电子束流通过偏转磁铁，在磁场的作用下发生偏转，进入真空扫描盒中的多丝靶上，根据偏转磁铁加载的电流的大小确定多丝靶上测得的电子束能量。
进一步，电子加速器能量的在线测量装置，包括偏转磁铁、真空扫描盒、多丝靶、电子能量测量辐照盒，多丝靶放置在真空扫描盒内，并与真空扫描盒绝缘。
进一步，所述的步骤(I)将偏转磁铁通入反向电流，电子束轰击到一点，在该点处设置一个小钛窗，使电子束能够穿透，然后在该位置的真空盒外设置电子能量测量辐照盒， 采用铝箔与探测片交替叠层的方法，根据电子的射程确定电子束的能量，从而建立各个偏转磁铁励磁电流值与电子束能量的对应关系。
与现有技术相比，本发明的有益效果是本发明通过偏转磁铁、真空扫描盒、多丝靶部件的配合，可以在机器运行过程中，对电子束能量进行实时测量，只要通过测量前的一次校准，就可以实现连续的能量测量，同时本发明还能够实现能量测量校准。
图1电子加速器能量的在线测量装置 I偏转磁铁、2真空扫描盒、3多丝靶具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式
对本发明作进一步详细描述如图1所示的在线测量装置，它包括偏转磁铁1、真空扫描盒2、多丝靶3、电子能量测量 辐照盒。真空扫描盒2保持电子束传输所需要的真空环境，除了具有进行束流扫描工作的 功能外，还有进行束流能量测量的功能。多丝靶3用于束流能量测量，电子能量测量辐照盒 用于偏转磁铁I驱动电流与束流能量对应关系的校准。电子束流在真空管道内传输到偏转 磁铁1，在磁场的作用下发生偏转，并进入真空扫描盒2。如图1所示，ab之间是正常的束 流扫描范围，在此范围内安装钛膜，电子束穿过钛膜后对下面物品进行辐照。c点是当需要 测量能量时，电子束固定的轰击点，此处需放置多丝靶3，多丝靶3置于真空扫描盒2内，并 与真空扫描盒2绝缘。根据偏转磁铁I的加载电流可以确定电子束的能量。
虽然我们可以计算设计好电流和能量的对应关系，但是实际场分布、测量及安装 等因素带来的误差，可能使这个关系改变，因此在我们测量前，需要对电流和能量的关系进 行校准，这样使测量的电子束能量更加准确可靠。校准的方法是，将偏转磁铁I通入反向电 流，电子束就会轰击到d点，其中d点和c点对称，在d处设置一个小钛窗，使电子束能够穿 透，然后在d点处的真空扫描盒2外放置电子能量测量辐照盒，采用铝箔与探测片交替的方 法，根据电子的射程可以确定电子束的能量，从而建立各个电流值与电子束能量的对应关 系O
电子束在进行扫描辐照时，偏转磁铁I的输入电流波形一般是三角波，在进行能 量测量和校准时，偏转磁铁I电流为直流，电流值为高压三角波的峰值。偏转磁铁I下部的 两侧可根据束流光学的需要进行倒角切割，以便电子束成像质量更好。
权利要求
1.一种电子加速器能量的在线测量方法，其特征在于，(I)将偏转磁铁通入反向电流， 进行偏转磁铁励磁电流和电子束能量关系的校准，(2)偏转磁铁加载励磁电流，电子束流通过偏转磁铁，在磁场的作用下发生偏转，打到真空扫描盒中的多丝靶上，根据偏转磁铁加载的电流的大小确定多丝靶上测得的电子束能量。
2.根据权利要求1所述的一种电子加速器能量的在线测量方法，其特征在于，所述的步骤(I)将偏转磁铁通入反向电流，电子束轰击到一点，在该点处设置一个小钛窗，使电子束能够穿透，然后在该位置的真空盒外设置电子能量测量辐照盒，采用铝箔与探测片交替叠层的方法，根据电子的射程确定电子束的能量，从而建立偏转磁铁励磁各个电流值与电子束能量的对应关系。
3.根据权利要求1所述的一种电子加速器能量的在线测量装置，其特征在于，包括偏转磁铁、真空扫描盒、多丝靶、电子能量测量辐照盒，多丝靶放置在真空扫描盒内，并与真空扫描盒绝缘。
全文摘要
本发明公开了一种电子加速器能量的在线测量方法，它包括以下步骤(1)将偏转磁铁通入反向电流，进行电流和能量关系的校准，(2)偏转磁铁加载电流，电子束流通过偏转磁铁，在磁场的作用下发生偏转，进入真空扫描盒中的多丝靶上，由多丝靶根据加载的电流的大小确定电子束的能量。在线测量装置包括偏转磁铁、真空扫描盒、多丝靶、电子能量测量辐照盒，多丝靶放置在真空扫描盒内，并与真空扫描盒绝缘。该发明提供了一种能够在线实时测量，操作简单、测量准确的电子加速器能量的在线测量方法及其装置。
文档编号G01T1/29GK103064103SQ201210550588
公开日2013年4月24日 申请日期2012年12月18日 优先权日2012年12月18日
发明者李金海 申请人:中国原子能科学研究院
专业数控铣床产品供应商
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