专利名称：无源逆磁悬浮微动传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种微动传感器，尤其涉及一种无源逆磁悬浮微动传感器。
背景技术：
随着工业的发展，传感器也不断创新。目前，微动传感器作为常规传感器 被广泛应用到各个领域，根据需要各种高敏感的微动传感器被研制，如名称为
《双敏感元件微动传感器》，公开号为CN2212222的专利；名称为《微动位移传 感器》，公开号为CN2611870Y的专利，都是为提高其敏感性而研制的，但从其 内容中可以看出，不管什么样的传感器都没有摆脱机械结构，所以最终就不可 避免会由于摩擦而产生误差。
随着逆磁材料的发现和发展，使物体不消耗能量而悬浮于空中成为可能， 这样在一个真空的环境中，悬浮的物体受到外力，其运动状态就不会受到摩擦 力的干扰。 发明内容
本实用新型针对现有技术的存在的问题，而研制一种新颖、高敏感、实用 前景好的无源逆磁悬浮微动传感器。
一种无源逆磁悬浮微动传感器，其特征在于包括壳体、永磁体、悬浮体、 上逆磁体和下逆磁体；所述永磁体位于壳体的顶部，在所述壳体内自上而下依 次固定上逆磁体、悬浮体和下逆磁体；所述上逆磁体、下逆磁体同壳体形成一 个密封空间；所述悬浮体为永磁体位于上述的密封空间内，由于永磁体、上逆 磁体和下逆磁体的作用悬浮体悬浮于所述密封空间内；所述上逆磁体下表面和 下逆磁体的上表面固定有小线圈，所述参与形成密封空间的壳体壁上也固定有 线圈。所述永磁体、距上逆磁体可上下调动，相应的悬浮体的悬浮位置也可上 下调动。所述密封空间为真空，并且参与形成密封空间的壳体为透明材料制成。
由于采用了上述技术方案，本实用新型提供的无源逆磁悬浮微动传感器， 通过一种新颖的结构实现了，传感过程不受摩擦力影响，使传感信号更加准确、 灵敏。由于其设计思路新颖，为传感领域开辟了一条新途径，另外其结构简单，便于生产，适于在运动传感器领域广泛推广。
图1为本实用新型的结构示意图2为本实用新型中逆磁体上排部小线圈的示意图3为本实用新型的线圈结构示意图4为本实用新型的电路结构框图。
图中1、壳体，2、永磁体，3、悬浮体，4、上逆磁体，5、下逆磁体， 6、小线圈，7、线圈。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型所提供的无源逆磁悬浮微动传感器，由壳体l、永 磁体2、悬浮体3、上逆磁体4和下逆磁体5构成，其中悬浮体3为永磁体；所 述永磁体2位于壳体1的顶部，在壳体l内自上而下依次固定上逆磁体4、悬浮 体3和下逆磁体5;上逆磁体4、下逆磁体5同壳体形成一个密封空间，悬浮体 3位于密封空间内，由于永磁体2、上逆磁体4以及下逆磁体5的作用使悬浮体 3悬浮于所述密封空间内；在上逆磁体4下表面和下逆磁体5的上表面固定有小 线圈6 (如图2)，参与形成密封空间的壳体壁上也固定有线圈7，其中小线圈6 和线圈7可集成在线路板上；如图3所示各线圈的输出端a、 b通过集成电路板 连接到检测电路上，经过信号处理后发送到主控单元中进行逻辑运算(如图4 所示)。使用时将传感器安置在使用体上，悬浮体3在密封空间稳定悬�。笔� 用体产生动作，则壳体1也随之产生动作，而悬浮体3保持原来位置不变，因 为悬浮体3为永磁体，所以当壳体l动时，悬浮体3会切割安置在上逆磁体4、 下逆磁体5及壳体壁上的线圈，使小线圈6和线圈7产生电信号。跟据不同位 置的线圈产生的信号大小不同，可以将其作为三维信息检测传感器被使用；如 图1所示永磁体2、距上逆磁体4可上下调动，相应的悬浮体3的悬浮位置也可 上下调动；为保证传感器的高敏感性可将密封空间设为真空，并且为方便观察 参与形成密封空间的壳体为透明材料制成。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式
，但本实用新型的保护范 围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内， 根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本 实用新型的保护范围之内。
权利要求1、一种无源逆磁悬浮微动传感器，其特征在于包括壳体(1)、永磁体(2)、悬浮体(3)、上逆磁体(4)和下逆磁体(5)；所述永磁体(2)位于壳体(1)的顶部，在所述壳体(1)内自上而下依次固定上逆磁体(4)、悬浮体(3)和下逆磁体(5)；所述上逆磁体(4)、下逆磁体(5)同壳体形成一个密封空间；所述悬浮体(3)为永磁体位于上述的密封空间内，由于永磁体(2)、上逆磁体(4)和下逆磁体(5)的作用悬浮体(3)悬浮于所述密封空间内；所述上逆磁体(4)下表面和下逆磁体(5)的上表面固定有小线圈(6)，所述参与形成密封空间的壳体壁上也固定有线圈(7)。
2、 根据权利要求1所述的无源逆磁悬浮微动传感器，其特征在于所述永磁 体(2)、距上逆磁体(4)可上下调动，相应的悬浮体(3)的悬浮位置也可上 下调动。
3、 根据权利要求1所述的无源逆磁悬浮微动传感器，其特征在于所述密封 空间为真空，并且参与形成密封空间的壳体为透明材料制成。
专利摘要本实用新型公开了一种无源逆磁悬浮微动传感器，其特征在于包括壳体、永磁体、悬浮体、上逆磁体和下逆磁体；所述永磁体位于壳体的顶部，在所述壳体内自上而下依次固定上逆磁体、悬浮体和下逆磁体；所述上逆磁体、下逆磁体同壳体形成一个密封空间；所述悬浮体为永磁体位于上述的密封空间内，由于永磁体、上逆磁体和下逆磁体的作用悬浮体悬浮于空间内；所述上逆磁体下表面和下逆磁体的上表面固定有小线圈，所述参与形成密封空间的壳体壁上也固定有线圈。该无源逆磁悬浮微动传感器，具有传感信号更加准确、灵敏，适于在运动传感器领域广泛推广。
文档编号G01D5/12GK201229177SQ20082001341
公开日2009年4月29日 申请日期2008年6月11日 优先权日2008年6月11日
发明者吕泳秋, 李庆伟, 王耀华 申请人:吕泳秋;李庆伟;王耀华
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