专利名称：一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置的制作方法
技术领域：
本实用新型主要涉及氦质谱检漏领域，具体是一种用于氦质谱检漏的抽空加压装
置。
技术背景在一些特殊工件需要检测泄漏率与在一定时间内泄漏气体总量时，目前常规的检测方法无法满足精度要求或功能要求，例如水检与保压法等检测方法的精度满足不了要求。目前市场上检测泄漏率精度最高的就是氦质谱检漏仪，但是通�：ぶ势准炻┮怯植痪弑讣觳庑孤┢遄芰康墓δ�。所以目前还没有设备与装置能够同时满足一些特殊工件的泄漏检测要求。实用新型内容本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供提供一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置，实现了一些特殊工件需要检测泄漏率与在一定时间内检测泄漏气体总量的检测要求。本实用新型是通过以下技术方案实现的一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置，包括有真空气泵，真空气泵与真空减压阀的出气口相连，真空减压阀的进气口与抽空阀的出气口相连，抽空阀的进气口再与充气阀的出气口和微调阀的进气口相连，微调阀的出气口与保压阀的一端相连，保压阀的另一端与绝压变送器和通过密封盒的接口与工件相连，工件在密封盒内部，密封盒的另一端接口与检漏阀的进气口相连，检漏阀的出气口与吸枪口套相连，吸枪的吸枪口与吸枪口套相连，吸枪的出气口与氦质谱检漏仪相连。所述真空气泵与真空减压阀实现对真空度的可控制调节性；通过绝压变送器可以直接显示装置内部压力；通过微调阀可以有效控制抽空与加压速度；检漏阀为两位三通阀，通常情况下检漏阀的出气口与大气连通；氦质谱检漏仪增加了检测泄漏氦气总量的功倉泛。本实用新型的工作原理为通过真空气泵、真空减压阀、与抽空阀、微调阀以及保压阀等对工件抽真空，达到一定真空度后关闭抽空阀，然后在打开充气阀对工件充入氦气，当充入的氦气达到设定值后关闭保压阀与充气阀，这时充入工件内部的氦气通过漏孔的泄漏与材质本身的渗漏出的氦气储存在密封盒内部，在一定时间后打开检漏阀，通过吸枪将密封盒内部气体吸入到氦质谱检漏仪中，从而检测出工件的泄漏率与泄漏气体总量。本实用新型的优点是本实用新型结构简单，所用材料为常规材料，成本低，解决了一些特殊工件需要检测泄漏率与在一定时间内检测泄漏气体总量的检测要求。
图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
[0017]一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置，包括有真空气泵1，真空气泵I与真空减压阀2的出气口相连，真空减压阀2的进气口与抽空阀3的出气口相连，抽空阀3的进气口再与充气阀4的出气口和微调阀5的进气口相连，微调阀5的出气口与保压阀6的一端相连，保压阀6的另一端与绝压变送器7和通过密封盒8的接口与工件9相连，工件9在密封盒8内部，密封盒8的另一端接口与检漏阀10的进气口相连，检漏阀10的出气口与吸枪口套 11相连，吸枪12的吸枪口与吸枪口套11相连，吸枪12的出气口与氦质谱检漏仪13相连。
权利要求1.一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置，其特征在于包括有真空气泵，真空气泵与真空减压阀的出气口相连，真空减压阀的进气口与抽空阀的出气口相连，抽空阀的进气口再与充气阀的出气口和微调阀的进气口相连，微调阀的出气口与保压阀的一端相连，保压阀的另一端与绝压变送器和通过密封盒的接口与工件相连，工件在密封盒内部，密封盒的另一端接口与检漏阀的进气口相连，检漏阀的出气口与吸枪口套相连，吸枪的吸枪口与吸枪口套相连，吸枪的出气口与氦质谱检漏仪相连。
2.根据权利要求I所述的一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置，其特征在于所述的检漏阀为两位三通阀，检漏阀的出气口与大气连通。
专利摘要本实用新型公开了一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置，包括有真空气泵，真空气泵与真空减压阀的出气口相连，真空减压阀的进气口与抽空阀的出气口相连，抽空阀的进气口再与充气阀的出气口和微调阀的进气口相连，微调阀的出气口与保压阀的一端相连，保压阀的另一端与绝压变送器和通过密封盒的接口与工件相连，工件在密封盒内部，密封盒的另一端接口与检漏阀的进气口相连，检漏阀的出气口与吸枪口套相连，吸枪的吸枪口与吸枪口套相连，吸枪的出气口与氦质谱检漏仪相连。本实用新型结构简单，所用材料为常规材料，成本低，解决了一些特殊工件需要检测泄漏率与在一定时间内检测泄漏气体总量的检测要求。
文档编号G01M3/20GK202793702SQ201220379679
公开日2013年3月13日 申请日期2012年7月31日 优先权日2012年7月31日
发明者张志 , 刘陈陈 申请人:安徽皖仪科技股份有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
