专利名称：位置检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及能防止因外部振动引起位置误检测和破损等的位置检测装置。
背景技术：
传统的位置检测装置，已知有一种对直线运动的被检测物体进行检测的位置检测装置(比如，参照专利文献1日本专利特表平7-500421号公报)，该位置检测装置包括产生磁场的磁场发生体；将该磁场发生体与想要位置检测的物体(被检测物体)连接、可与该磁场发生体一起朝位置检测方向移动的保持构件；留有规定的空隙地夹着该保持构件而相对配置的第1磁性体及第2磁性体；对这些第1磁性体及第2磁性体进行支承的支承构件；以及插入设置在第1磁性体或第2磁性体一方的空隙内、根据穿过插入侧的磁性体的磁通对保持构件即被检测物体的位置进行检测的磁性传感器等。
上述磁场发生体，被磁化成产生第1磁性体和第2磁性体分别形成顺时针方向及逆时针方向的磁路的磁�。鲜龃怕返奈恢盟娲懦》⑸宓奈恢�(即，被检测物体位置)移动。通过该磁路的移动，穿过磁性传感器的磁通的密度和方向发生变化，磁性传感器输出与该磁通的密度和方向相对应的信号。该输出信号是表示想要进行位置检测的物体的位置的信号，即相对于位置具有直线性关系的信号。因此，根据磁性传感器的输出信号就可检测物体的移动位置。
另外，磁场发生体固定在保持构件上，配置在第1磁性体与第2磁性体之间的空隙中央。
保持固定有磁场发生体的保持构件，通过设置在该保持构件上的滑动部分以及设置在对第1磁性体及第2磁性体进行支承的支承构件上的滑动部分，边滑动边进行移动。该场合，滑动的部位是第1磁性体及第2磁性体的双方。
传统的位置检测装置具有以上结构，尤其是磁场发生体配置在第1磁性体和第2磁性体之间的空隙中央，故该磁场发生体分别与第1磁性体及第2磁性体之间的磁力大致相等。由此，磁场发生体被置于相对于外力不稳定的位置。因此，比如从外部施加有振动时，磁场发生体容易摇摆，比如对位置检测方向施加了振动的场合，磁场发生体产生摇摆，最严重时保持构件不能维持与位置被检测物体的连接，导致位置的错误检测。
另外，磁场发生体比如朝第1磁性体或第2磁性体的方向摇摆的场合，最严重时有可能会使磁场发生体与第1磁性体或第2磁性体发生冲突，或对磁场发生体进行保持固定的保持构件与对第1磁性体及第2磁性体进行支承的支承构件发生冲突而使磁场发生体破损。
作为防止该磁场发生体摇摆的对策，具有对于施加外力的场合、事先对磁场发生体朝位置检测方向施加大的负载的方法；或者，为了使磁场发生体或保持构件在原来的位置检测方向以外不进行大的移动、尽量减小磁场发生体与第1磁性体及第2磁性体之间或保持构件与第1磁性体及第2磁性体之间等的间隙的方法等，但这些方法，存在需要添加负载施力装置或提高零件的尺寸精度，导致生产的成本上升、生产性变差等问题。
本发明为了解决上述问题，其目的在于提供如下一种位置检测装置，即使从外部施加振动时，也可防止磁场发生体朝与位置检测方向平行的方向以及与磁场发生体的产生磁力成分的方向平行的方向(第1或第2磁性体方向)摇摆，由此可输出高精度的信号，防止位置的误检，同时能防止与其他构件的冲突而使磁场发生体破损，并能抑制构件的尺寸精度，适合于生产性优良的批量生产，成本价廉。
本
发明内容
本发明的位置检测装置，包括留有空隙地相对配置、由支承构件支承的第1磁性体及第2磁性体；在所述空隙中、与所述第1磁性体或第2磁性体接近配置、与这些第1磁性体及第2磁性体形成磁路的磁场发生体；将所述磁场发生体保持固定、可与所述第1磁性体及第2磁性体相对移动的保持构件；以及插入设置在第1磁性体或第2磁性体上的空隙内、根据由所述滑动而变化的所述磁路引起的通过磁通、输出表示所述第1磁性体及第2磁性体与所述保持构件的相对性位置关系的信号的磁性传感器。
本发明的位置检测装置，包括留有空隙地相对配置、由支承构件支承的棒状或板状的第1磁性体及第2磁性体；将与这些第1磁性体及第2磁性体形成磁路的磁场发生体进行保持固定、并可与所述第1磁性体及第2磁性体相对移动的保持构件；以及插入设置在所述第1磁性体或第2磁性体上的空隙内、根据由所述相对移动而变化的通过磁通、输出表示所述第1磁性体及第2磁性体与所述保持构件的相对性位置关系的信号的磁性传感器，因而，磁场发生体与接近它的第1磁性体或第2磁性体之间的磁力引起的吸引力增大，磁场发生体不易从第1磁性体或第2磁性体分离，另一方面，支承构件的滑动部分与保持构件的滑动部分的摩擦力增大，即使从外部施加了振动，也可防止磁场发生体朝与位置检测方向平行的方向以及与磁场发生体的产生磁力成分的方向平行的方向摇摆。其结果，可从磁性传感器输出高精度的信号，防止位置的误检，同时能防止与第1磁性体或第2磁性体等的冲突而使磁场发生体破损。
附图的简单说明
图1(a)表示本发明的实施例1的位置检测装置的横向剖视图，图1(b)是图1(a)的A-A线的纵向剖视图。
图2(a)、(b)、(c)是用于说明本发明的实施例1的位置检测装置的动作的纵向剖视图。
图3(a)表示本发明的实施例1中、适应外部磁场的位置检测装置的横向剖视图，图3(b)是图3(a)的A-A线的纵向剖视图。
图4是表示应用了本发明的实施例1的位置检测装置的EGR阀的纵向剖视图。
图5(a)表示本发明的实施例2的位置检测装置的横向剖视图，图5(b)是图5(a)的A-A线的纵向剖视图。
图6是表示本实施例3的位置检测装置的纵向剖视图。
具体实施例方式
以下，对本发明的一实施例进行说明。
实施例1图1(a)表示本发明的实施例1的位置检测装置的横向剖视图，图1(b)是图1(a)的A-A线的纵向剖视图。
图1中，位置检测装置，其棒状或板状的第1磁性体1及第2磁性体2隔开规定的空隙3相对配置，在该空隙3的高度方向的中央位置配置有非磁性材料的保持构件4，在该保持构件4的单面上与第2磁性体2接近配置地固定有产生磁场的板状的磁场发生体5。
上述磁场发生体5磁化成能产生与第1磁性体1及第2磁性体2形成顺时针方向及逆时针方向的磁路的磁场。
在第1磁性体1上设置空隙6，该空隙6内插入磁性传感器7，对经由第1磁性体1、通过该磁性传感器7的磁通进行检测。
另外，如图1(a)所示，第1磁性体1及第2磁性体2由非磁性材料的支承构件8支承，保持构件4的横截面大致为H形。
图1(a)所示的支承构件8的滑动部分9和保持构件4的滑动部分10朝图1(b)的双向箭头P-P所示的位置检测方向滑动，其结构是第1磁性体1及第2磁性体2与固定磁场发生体5的保持构件4之间的相对性位置关系由直线运动而发生变化。该场合，将第1磁性体1及第2磁性体2、或保持构件4的一方进行位置固定，使另一方位置可动而可移动。不管哪个位置固定或哪个位置可动，两者的相对位置关系相同，可作为位置检测装置而成立。该相对性位置关系的变化成为被检测对象。
比如，使第1磁性体1及第2磁性体2位置固定，固定有磁场发生体5的保持构件4通过上述滑动而可移动，将位置被检测物体与该保持构件4连接，将保持构件4的位置跟随被检测物体的位置变化而进行移动。通过该保持构件4的位置移动，通过上述磁性传感器7的磁通的密度及方向发生变化，从磁性传感器7输出与该变化对应的电气信号S1。该输出信号相对于位置变化具有线性关系，从该输出信号可对被检测物体的位置进行检测。
对于如上所述将磁场发生体5配置在接近第2磁性体2的场合和将磁场发生体5配置在第1磁性体1与第2磁性体2之间的空隙3的高度方向中央的场合(传统)下的磁性传感器7的输出是否有变化，由于磁场发生体5与第1磁性体1及第2磁性体2的产生磁场发生体5的磁场成分的方向的相对位置没有发生变化，因而通过磁性传感器7的磁通量没有变化，故磁性传感器的输出不会变化。
第1磁性体1及第2磁性体2都使用将电磁钢板层叠的结构，可防止表面的涡电流的发生。第1磁性体1和第2磁性体2之间的空隙3的大小比如为G1＝2.8mm的场合，一旦空隙3中进入磁场发生体5(T1＝1.2mm(下述))，则图1的磁场发生体5与第1磁性体1及第2磁性体2的间隔分别为G2＝1.0mm，G3＝0.6mm，设计成磁通容易通过。
另外，第1磁性体1及第2磁性体2的各自厚度T2即、与磁场发生体5的发生磁场方向平行的方向的尺寸T2，设计成磁场发生体5所产生的磁通在第1磁性体1及第2磁性体2的内部不饱和。
另外，上述磁场发生体5比如使用钐·鈷系的方形磁铁，作为其尺寸的一例，比如厚度T1、即与磁场发生体5的发生磁场方向平行的方向的尺寸T1为1.2mm，在检测距离为15mm的场合，长度方向的长度L、即与位置检测方向(P-P)平行方向的尺寸L留有余量地取为20.3mm。
上述说明中引用的磁场发生体5的厚度T1及长度L、第1磁性体1与第2磁性体2之间的空隙3的大小G1、磁场发生体5与第1磁性体1及第2磁性体2的间隔G2、G3等的数值仅是一例，但并不局限于此。
第1磁性体1、第2磁性体2及磁场发生体5的进深尺寸W1、W2即、与磁场发生体5发生磁场方向的垂直方向且与位置检测方向的垂直方向尺寸W1和W2最好不同，但磁场发生体5的进深尺寸W2也可比第1磁性体1及第2磁性体2的进深尺寸W1大(W2＞W1)，相反，也可是第1磁性体1及第2磁性体2的进深尺寸W1比磁场发生体5的进深尺寸W2大(W1＞W2)。图1(a)是W2＞W1。
磁场发生体5如图1(a)所示保持在保持构件4上。作为其固定方法，有利用粘结材料将磁场发生体5固定在保持构件4上、或利用插入成形将磁场发生体5埋入保持构件4内进行固定，或利用具有弹力的保持构件4的弹力将磁场发生体5进行固定、或将磁场发生体5嵌入保持构件4内后使该保持构件变形固定以使磁场发生体5不会脱落(图1(a)K部)，上述哪一种都可以。
磁性传感器7的内部含有温度检测元件，使用带有能编程温度修正功能的ASIC(Application Specific Integrated Circuit特定用途的半导体)的霍尔元件，在霍尔IC中调节了零点和输出斜率，故即使是高温环境，输出也不会变动。
磁场发生体5在保持构件4上的固定，如上所述，与第2磁性体2接近配置地固定。
将磁场发生体5与第2磁性体2接近配置，这点是本发明的特征，通过该接近配置，磁场发生体5与接近它的第2磁性体2之间的磁力引起的吸引力增大，磁场发生体5不易从第2磁性体2分离，另一方面，所述支承构件8的滑动部分9与保持构件4的滑动部分10的滑动的摩擦力增大。该摩擦力的增大，可防止外部振动引起的磁场发生体5的摇摆。
另外，通过磁场发生体5的接近配置引起的吸引力的增大，支承构件8的滑动部分9与保持构件4的滑动部分10的滑动如图1(a)所示，只要在磁场发生体5接近的第2磁性体2侧滑动即可，在第1磁性体1侧不需要滑动。
这样，支承构件8的滑动部分9与保持构件4的滑动部分10的滑动只要在一方侧进行即可，这样，图1(a)所示的保持构件4的高度H1或保持构件4与支承构件8的间隙H2的尺寸精度不需要很高，保持构件4和支承构件8等的尺寸精度不必太高，使这些构件的制造变得容易，故可改善生产性。
另外，保持构件4，利用其滑动部分10与支承构件8的滑动部分9进行滑动，另一方面，出于对磁场发生体5保持的考虑，最好使用滑动性好的高强度材料(树脂材料等)。作为该材料，比如最好使用含氟的PPS(聚苯撑亚硫酸盐)材料。
而且，通过对支承构件8的滑动部分9也使用与上述保持构件4相同的树脂材料，可提高支承构件8的滑动部分9与保持构件4的滑动部分10的滑动性。
以上说明的图1的结构是将磁场发生体5与第2磁性体2接近配置，但也可是将磁场发生体5与第1磁性体1接近配置的结构。
该结构的场合，第1磁性体1与磁场发生体5之间的吸引力增大，具有与上述接近第2磁性体2配置的结构相同的效果。
因此，支承构件8的滑动部分9与保持构件4的滑动部分10的滑动，仅在第1成形体1侧滑动。
图1中将磁性传感器7设置在第1磁性体1的空隙6内，但也可在第2磁性体2中设置相同的空隙(未图示)，将磁性传感器7插入其中。
下面根据图2对上述位置检测装置的动作进行说明。
图2(a)、(b)、(c)是本实施例1的位置检测装置的纵向剖视图，是改变图1(b)的第1磁性体1及第2磁性体2与保持构件4(包括磁场发生体5)的相对位置关系描绘的图。
另外，从磁场发生体5与磁性传感器7的位置关系来看，图2(a)是磁场发生体5处于偏向磁性传感器7的左侧位置的场合，图2(b)是磁场发生体5位于磁性传感器7的中央位置的场合，图2(c)是磁场发生体5处于偏向磁性传感器7的右侧位置的场合。
如前面已经说明的那样，对位置进行检测的物体(被检测物体)也可与相对位置关系发生变化的保持构件4侧或第1磁性体1及第2磁性体2侧的任何一方进行连接。该场合，连接被检测物体的一侧可动(移动)，不与被检测物体连接的一侧位置固定。一般来说，将被检测物体与保持构件4侧连接，将第1磁性体1及第2磁性体2位置固定。
如上所述，磁场发生体5如图所示，产生与第1磁性体1及第2磁性体2形成顺时针方向及逆时针方向的磁路的磁场。
上述磁路跟随被检测物体的位置变化而移动，由此通过磁性传感器7的磁通的密度及方向发生变化。图2(a)表示逆时针方向的磁通11通过的状态，图2(b)表示顺时针方向和逆时针方向的磁路之间、磁通没有通过的状态，图2(c)表示顺时针方向的磁通12通过的状态。
上述图2(a)、(b)、(c)表示的是典型的状态，实际上根据被检测物体的位置变化，当然存在图2(a)和(b)之间的状态及图2(b)和(c)之间的状态。在如此之间的状态下，磁通密度不同。
综上所述，根据通过该磁性传感器7的磁通的密度及方向，从磁性传感器7输出与被检测物体的位置移动相对应的信号S1，从而进行位置检测。
该输出信号如上所述是对于位置变化呈直线变化的信号。
以上说明的位置检测中，因磁场发生体5如前所述与第2磁性体2接近配置，故磁场发生体5与接近它的第2磁性体2之间的磁力引起的吸引力增大，磁场发生体5不易从第2磁性体2分离，另一方面，上述(图1(a))支承构件8的滑动部分9与保持构件4的滑动部分10的滑动的摩擦力增大，可防止外部振动引起的磁场发生体5的摇摆。
以上所说明的那样，位置检测装置是以从磁场的状态变化中对被检测物体的位置进行检测作为原理的。因此，应考虑到不能忽视外部磁场影响的场合。
这样，当外部磁场大、其影响不能忽视的场合，需要采取相应的措施。
图3(a)是适应外部磁场的位置检测装置的横向剖视图，图3(b)是图3(a)的A-A线的纵向剖视图，与图1相同的构件标上了相同的符号。
如图所示，通过利用磁性体的框体13围住位置检测装置整体，可遮断从外部磁场至内部的磁场回路，防止来自外部磁场的影响。
下面对位置检测装置的用途进行说明。
上述说明的位置检测装置，比如可适用于搭载在汽车上的EGR-阀的阀位置检测和空气作动器的臂部位置检测等。
图4是其中的EGR-阀的纵剖视图，为了便于理解，与图1相同的构件使用相同的符号。
该EGR-阀是将一部分排气向发动机的吸气侧返回时、对排气的返回量用阀进行控制。
图4中，阀壳本体21的下部侧设有吸入口22，在该吸入口22的内侧设有阀23。阀棒24与该阀23连接，该阀棒24如图示箭头那样进行上下移动，从而使阀23也上下移动，朝上方向是阀23打开状态，下降最大的位置处与阀座27抵接，阀23成为关闭状态。因此，向上移动越大，阀23的开度也越大，从吸入口22流向排出口25的排气26的量增加。流向排出口25的排气26被导向发动机(未图示)的吸气口。
与该阀23连接的阀棒24与隔膜28连接，在该阀棒24的中间位置设有轴承构件29，对阀棒24的上下移动进行滑动支承，同时防止排气26的泄漏。
构成位置检测装置的保持构件4与上述阀棒24与隔膜28的连接点抵接。
图4所示的位置检测装置是图1所示的结构，使保持构件4侧位置可动，第1磁性体1及第2磁性体2位置固定，固定在保持构件4上的磁场发生体5与第2磁性体2接近配置，磁性传感器7设置在第1磁性体1上。
从该磁性传感器7输出位置检测的信号S1。
图4的位置检测对象是决定排气26返回量的阀23的开闭位置，保持构件4与阀棒24的上下移动连动地进行上下移动，对应于该上下移动，从磁性传感器7输出表示阀23的位置的信号S1。换言之，磁性传感器7的输出信号S1表示排气的返回量。
以上说明的EGR-阀中，如上所述，通过将磁场发生体5与第2磁性体2接近地配置，磁场发生体5与接近它的第2磁性体2之间的磁力引起的吸引力增大，磁场发生体5不易从第2磁性体2分离，另一方面，所述支承构件8的滑动部分9与保持构件4的滑动部分10的滑动的摩擦力增大，可防止外部振动引起的磁场发生体5的摇摆。
综上所述，本实施例1中，在由支承构件8支承的第1磁性体1及第2磁性体2之间的空隙3内设置保持构件4，该保持构件4将磁场发生体5进行保持固定，以使磁场发生体5与这些磁性体的一方接近配置，故磁场发生体5与接近它的第1磁性体1或第2磁性体2之间的磁力引起的吸引力增大，磁场发生体5不易从第1磁性体或第2磁性体2分离，另一方面，支承构件8的滑动部分9与保持构件4的滑动部分10的滑动时的摩擦力增大。即使从外部施加振动时，也可防止磁场发生体5朝与位置检测方向平行的方向以及与磁场发生体5的产生磁力成分的方向平行的方向摇摆，由此，从磁性传感器7输出高精度的信号，可防止位置的误检，而且不会与第1磁性体1或第2磁性体2等构件冲突，可防止磁场发生体5的破损。
另外，通过磁场发生体5的接近配置引起的吸引力的增大，支承构件8的滑动部分与保持构件4的滑动部分的滑动，只要在磁场发生体5接近的第1磁性体1或第2磁性体2的一方侧进行即可，这样，保持构件4的高度H1(图1)或保持构件4与支承构件8的间隙H2的尺寸精度不需要很高，无需提高保持构件4和支承构件8等的尺寸精度，这些构件的制造变得容易，能得到适合于生产性优良的批量生产的成本价廉的位置检测装置。
另外，通过将保持构件4的滑动部分10与支承构件8的滑动部分9做成树脂之间的滑动，可提高其滑动性。
实施例2图5(a)表示本发明的实施例2的位置检测装置的横向剖视图，图5(b)是图5(a)的A-A线的纵向剖视图。将磁场发生体5与第2磁性体2接近配置，这点与实施例1相同，而且，与图1相同的构件使用相同的符号，省略其说明。
在实施例1所说明的那样，即使被检测物体与第1磁性体1及第2磁性体2侧或固定有磁场发生体5的保持构件4侧的任何一方抵接，也可对该被检测物体进行位置检测。
相比之下，本实施例2的位置检测装置，以将被检测物体与保持构件4侧抵接为前提，保持构件4可动，第1磁性体1及第2磁性体2位置固定。
上述结构中，如图5(b)所示，在对第1磁性体1及第2磁性体2进行支承的支承构件41与保持构件4之间比如设置弹簧42等弹性体，通过该弹簧42等弹性体，对保持构件4朝存在被检测物体的方向施力。通过该施力，可始终将固定有磁场发生体5的保持构件4朝被检测物体推压，不再需要将保持构件4与被检测物体结合，就可对被检测物体进行位置检测。另外，上述弹性体并不局限于弹簧42，只要是与该弹簧42相同功能的构件即可。
如上所述，本实施例2中，在对第1磁性体1及第2磁性体2进行支承的支承构件41与保持构件4之间比如设置弹簧42等的弹性体，通过该弹簧42等的弹性体，对保持构件4朝存在被检测物体的方向施力，可始终将固定有磁场发生体5的保持构件4朝被检测物体推压，故不再需要将保持构件4与被检测物体结合，就可对被检测物体进行位置检测。
实施例3图6是表示本实施例3的位置检测装置的纵向剖视图。可将磁场发生体5与第1磁性体1接近配置，这点与实施例1相同，与图1相同的构件使用相同的符号，并省略重复说明。
实施例1、2中，将磁场发生体5固定在保持构件4上并与第1磁性体1或第2磁性体2接近配置，该保持构件4本身配置在第1磁性体1和第2磁性体2之间的空隙3的高度方向的中央。因此，对于保持构件4与磁场发生体5的位置关系，如图1(b)或图5(b)所示，成为了磁场发生体5处于偏离保持构件4中央位置的靠近下部侧的位置关系。
相比之下，本实施例3的位置检测装置，如图6所示，通过将磁场发生体5插入成形而固定在保持构件51的厚度方向的中央位置，将该固定后的保持构件51与第2磁性体2接近配置。
即使是上述结构，磁场发生体5与第2磁性体2接近配置，磁场发生体5与第2磁性体2之间的吸引力增大，也能得到与实施例1相同的效果。
如上所述，本实施例3中，将磁场发生体5插入固定在保持构件51的厚度方向的中央位置，将该固定后的保持构件51与第1磁性体1或第2磁性体2接近配置，故与实施例1相同，磁场发生体5与第1磁性体1或第2磁性体2之间的吸引力增大，由此能得到与实施例1相同的效果。
权利要求
1.一种位置检测装置，其特征在于，包括留有空隙地相对配置、由支承构件支承的第1磁性体及第2磁性体；在所述空隙中、与所述第1磁性体或第2磁性体接近配置、与这些第1磁性体及第2磁性体形成磁路的磁场发生体；将所述磁场发生体保持固定、可与所述第1磁性体及第2磁性体相对移动的保持构件；以及插入设置在第1磁性体或第2磁性体上的空隙内、根据由所述滑动而变化的所述磁路的通过磁通、而输出表示所述第1磁性体及第2磁性体与所述保持构件的相对位置关系的信号的磁性传感器。
2.如权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，保持构件可相对于位置固定的第1磁性体及第2磁性体作相对移动。
3.如权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，第1磁性体及第2磁性体可相对于位置固定的保持构件作相对移动。
4.如权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，支承构件与保持构件在磁场发生体接近的一侧，在所述支承构件及保持构件所具有的树脂相互之间滑动。
5.如权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，保持构件为非磁性材料，将磁场发生体用粘结剂固定在该保持构件上。
6.如权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，保持构件为非磁性体，将磁场发生体以插入成形的方式埋入该保持构件内进行固定。
7.如权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，保持构件为非磁性体且具有弹性，利用该保持构件的弹力将磁场发生体进行固定。
8.如权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，保持构件为非磁性体，将磁场发生体埋入该保持构件内后，使该保持构件变形以对该磁场发生体进行固定。
9.如权利要求1至3中任一项所述的位置检测装置，其特征在于，具有将相对移动的第1磁性体及第2磁性体或保持构件向被检测物体一侧施力的弹性体。
全文摘要
本发明的位置检测装置，包括留有空隙(3)地将第1磁性体(1)及第2磁性体(2)相对配置，在该空隙(3)中配置保持构件(4)，将磁场发生体(5)固定在该保持构件(4)上，将该磁场发生体(5)与第1磁性体或第2磁性体接近配置，使该磁场发生体与第1磁性体或第2磁性体之间的磁力引起的吸引力增大。而且，支承构件(8)的滑动部分(9)与保持构件(4)的滑动部分(10)的滑动，仅在磁场发生体(5)所接近的磁性体侧进行，抑制保持构件(4)的高度(H1)等的尺寸精度。本发明能提供一种即使从外部施加振动时，也可防止磁场发生体(5)的摇摆或破损，而且能抑制保持构件(4)的尺寸精度，适合于批量生产的成本价廉的位置检测装置。
文档编号G01D5/14GK1590951SQ20041007694
公开日2005年3月9日 申请日期2004年9月3日 优先权日2003年9月3日
发明者加藤裕彦, 三好帅男 申请人:三菱电机株式会社
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
