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专利名称：一种检测等离子体的电子发射的方法
技术领域：
本发明涉及一种检测等离子体的电子发射的方法，其检测仪器主要用于对 激光与材料作用产生的等离子体的电子检测、分析处理。
背景技术：
自从脉冲激光器诞生以来，脉冲激光与固体的作用一直被许多学者所研究。 激光烧蚀溅射技术在薄膜沉积、材料微区分析、表面刻蚀和改性等方面具有广 泛地应用前景。强脉冲激光辐照固体材料将引起材料烧蚀，从靶面溅射出大量
的电子、原子、分子、原子分子簇及它们的正负离子。Sodorra和Niemax认为 激光既可作为烧蚀作用，又可作为激发作用。在激光等离子体形成的初始时刻， 激光等离子体的特征随着时间的变化会发生戏剧性的变化。激光烧蚀诱导发光 的机理非常复杂，烧蚀过程在激光脉冲内，激光对溅射碎片的再解离激发。等离 子体的原子辐射来自激光烧蚀溅射出的物质团簇或颗粒在等离子体中被电子汽 化并激发。虽然人们对激光烧蚀过程有一定的认识，但因辐射产生的过程非常 复杂，迄今为止人们对所观察到的许多现象还不能进行圆满地解释。利用靶外 收集板电荷收集法，发明了一种检测等离子体的电子发射的方法，用于研究电 子辐射产生的机理。

发明内容
本发明的目的是一种检测等离子体的电子发射的方法，填补国内外空白。 检测一种检测等离子体的电子发射的方法，其检测仪器主要包括激光器(1)、 透镜(2)、烧蚀室(3)、靶(4)、电阻(5)、单色仪(6)、光信号触发器(7)、气压表(8)。紫外激光器(1)通过一个透镜(2)，经过石英窗进入烧蚀室，聚焦 到耙(4)，靶被绝缘置于烧蚀室内。烧蚀室可充入气体，压强可从气压表(8) 显出。在离烧蚀靶作用区9皿，偏离激光作用轴线25°处，使用一个面积约靶 作为收集板。烧蚀靶和收集板有一电阻(5)接地，激光辐照靶时，在烧蚀靶上 产生电荷和在收集板上接收到电荷，将在电阻上产生一个电压信号，电信号通 过同轴电缆线输送到装有高速瞬态记录系统的计算机中，计算机能够储存多次 平均所记录的信号。本发明用于研究电子辐射产生状况，处理效果好，有广阔 的应用与市场前景。


图1是实现发明的检测等离子体的电子发射仪的装置示意图。
上述图中，l是激光器，2是透镜，3是烧蚀室，4是耙，5是电阻，6是单 色仪，7是光信号触发器，8是气压表。
权利要求
1.一种检测等离子体的电子发射的方法，其检测仪器主要包括激光器(1)、透镜(2)、烧蚀室(3)、靶(4)、电阻(5)、单色仪(6)、光信号触发器(7)、气压表(8)；紫外激光器(1)通过一个透镜(2)，经过石英窗进入烧蚀室，聚焦到靶(4)，靶被绝缘置于烧蚀室内；烧蚀室可充入气体，压强可从气压表(8)显出；在离烧蚀靶作用区9mm，偏离激光作用轴线25°处，使用一个面积约靶作为收集板；烧蚀靶和收集板有一电阻(5)接地，激光辐照靶时，在烧蚀靶上产生电荷和在收集板上接收到电荷，将在电阻上产生一个电压信号，电信号通过同轴电缆线输送到装有高速瞬态记录系统的计算机中，计算机能够储存多次平均所记录的信号。
2. 根据权利要求1所述的一种检测等离子体的电子发射的方法，其特征 是测量激光与材料作用时产生的电子发射状况。
3.根据权利要求l所述的一种检测等离子体的电子发射的方法，使光信号 与电信号同步。
全文摘要
本发明是一种检测等离子体的电子发射的方法，其测量仪器主要包括激光器、透镜、烧蚀室、靶、电阻、单色仪、光信号触发器、气压表。紫外激光器通过一个透镜，经过石英窗进入烧蚀室，聚焦到靶，靶被绝缘置于烧蚀室内。烧蚀室可充入气体，压强可从气压表显出。偏离激光作用轴线处，使用一个面积约靶作为收集板。烧蚀靶和收集板有一电阻接地，激光辐照靶时，在烧蚀靶上产生电荷和在收集板上接收到电荷，将在电阻上产生一个电压信号，电信号通过同轴电缆线输送到装有高速瞬态记录系统的计算机中，计算机能够储存多次平均所记录的信号。本发明用于研究电子辐射产生状况，处理效果好。
文档编号G01T1/29GK101650441SQ20081022004
公开日2010年2月17日 申请日期2008年12月15日 优先权日2008年12月15日
发明者黄庆举 申请人:茂名学院