探测单元及具有该探测单元的探测装置的制作方法-山东亚星游戏官网机床有限公司

专利名称：探测单元及具有该探测单元的探测装置的制作方法
技术领域：
本发明的示例性实施方式涉及一种探测单元及具有该探测单元的探测装置。更具体地，本发明的示例性实施方式涉及一种与诸如液晶显示板(LCD)、等离子显示板(PDP)、有机电致发光显示板等的显示板的终端相接触的探测单元，以及一种使用该探测单元测试显示板的电气可靠度的探测装置。
背景技术：
最近，显示器行业得以发展以符合增大显示板尺寸的趋势。包括显示板的显示设备的制造成本随着显示板尺寸的增加而成比例地逐渐增加。
在制造显示设备时必须进行彻底的缺陷检查，因为显示设备在制造完成之后很难进行任何改动。也就是说，当在显示板内发现多于允许值的非正常像素时，除了更换显示板以外别无其他可选途径。因而，如果于制造工序完成之后在显示设备内发现了缺陷，则将导致更换显示板的附加成本，从而降低显示设备的可靠度并导致生产商降价等。因此，在制造显示板的过程中彻底地检查显示板是重要的。此处，探测装置检查显示板。
在装配显示板之前，探测装置检查显示板是否正常运行。探测装置的探测单元与显示板的终端相接触以检查显示板。
图1示出常规探测单元的剖视图。
参照图1，常规探测单元10包括探针15和探测块20。
探针15与显示板50的终端55相接触。从而，探针15以均匀的间距设置，该间距与终端55的间距相对应。探针15固定到探测块20。
探测块20通过保持器60与支撑板40相结合，以便将探针15放置在显示板50的终端55上。固定到探测块20的探针15电连接到诸如柔性线路板(TCP)的集成电路65。集成电路65给探针15提供电信号。探针15将电信号传输给终端55以确定显示板50是否正常。
探针15以均匀的间距设置在探测块20上。在探针15固定到探测块20之后，很难将探针15从探测块20分开。而且，很可能不能重新设置探针15，从而当发现不正常的探针15时很难更换或修复该不正常的探针15。而且，探针15设置在探测块20中的陶瓷支撑块25上。陶瓷支撑块25可能频繁地损坏并产生许多问题。例如，当陶瓷支撑块25损坏时，探针15可能不能准确地设置，从而无法保证探针15和终端55之间的接触。因而，必须用新的陶瓷支撑块来替换损坏的陶瓷支撑块25。然而，由于探针15牢固地固定到陶瓷支撑块25，所以可能不能只将陶瓷支撑块25更换为一个新件。而且，由于陶瓷支撑块25牢固地固定到探测块20，要将陶瓷支撑块25从探测块20上分开可能非常困难。
如上所述，探针15设置在探测块20中且彼此间隔均匀的间距。此处，不容易缩窄探针15之间的间距，因为通过目前的技术只能将探针15之间的间距缩窄到大约30微米。相反地，近来开发的具有高负载和高集成度的显示板可包括彼此间隔间距约为25微米的终端55。因此，近来开发的显示板不可能用常规探测单元10测试。此外，终端55的间距可能被不期望地缩窄，从而必须采取可选的措施以防止间距被缩窄。

发明内容
本发明的示例性实施方式提供了一种探测单元，该探测单元包括易于制造和修理的精密设置的探针。
本发明的示例性实施方式还提供一种探测装置，该探测装置具有上述探测单元以便有效地测试具有精密设置的终端的目标物。
根据本发明的一个方面，探测单元包括沿第一方向设置的第一探针，沿第一方向设置在所述第一探针上方并位于所述第一探针之间的第二探针，用于支撑每个第一探针的两端的第一支撑构件，设置在第一支撑构件上以支撑每个第二探针的两端的第二支撑构件，用于支撑第一探针和第二探针的框架，安装到框架上而固定第一支撑构件和第二支撑构件、从而使第一支撑构件和第二支撑构件沿与第一方向大致垂直的第二方向设置的第一固定构件，以及安装到框架上而固定第一支撑构件和第二支撑构件、从而使第一支撑构件和第二支撑构件沿与第一方向和第二方向大致垂直的第三方向设置的第二固定构件。
在本发明的示例性实施方式中，第一支撑构件可包括用于支撑每个第一探针的一端的第一支撑件和用于支撑每个第一探针的另一端的第二支撑件。另外，第二支撑构件可包括用于支撑每个第二探针的一端的第三支撑件和用于支撑每个第二探针的另一端的第四支撑件。此外，用于容置第一探针的第一槽可形成在第一支撑件和第二支撑件的表面部分处。用于容置第二探针的第二槽可形成在第三支撑件和第四支撑件的表面部分处。第一探针与第一支撑件和第二支撑件可拆卸地结合。第二探针与第三支撑件和第四支撑件可拆卸地结合。
第一支撑件可设置在保持块上。第三支撑件可设置在支撑块上。支撑块可通过第三固定构件固定到框架。第三支撑件可通过第四固定构件与第一支撑件对准，第四固定构件与第三支撑件的两个侧面相接触。
第二支撑件可容置在容置凹槽内。第四支撑件可位于第二支撑件上。第二支撑件和第四支撑件可紧固到框架上。第四支撑件可通过第二固定构件与第二支撑件对准，第二固定构件与第四支撑件的两个侧面相接触。
根据本发明的另一个方面，探测单元包括沿第一方向设置的探针；用于支撑每个探针的两端的支撑构件；用于支撑该支撑构件的框架；安装到框架上而固定支撑构件、从而使支撑构件沿与第一方向大致垂直的第二方向设置的第一固定构件；以及安装到框架而固定支撑构件、从而使支撑构件沿与第一方向和第二方向大致垂直的第三方向设置第二固定构件。
根据本发明的再一个方面，探测装置包括用于容置目标物的壳体；设置在壳体内以保持目标物的台架；邻近台架上的目标物地设置的探测单元，该探测单元包括i)沿第一方向设置的第一探针，ii)沿第一方向设置在第一探针上方并位于第一探针之间的第二探针，iii)用于支撑每个第一探针的两端的第一支撑构件，iv)设置在第一支撑构件上方以支撑每个第二探针的两端的第二支撑构件，v)用于支撑第一支撑构件和第二支撑构件的框架，vi)用于将第一支撑构件和第二支撑构件固定到框架上、从而使第一支撑构件和第二支撑构件沿着与第一方向相对的第二方向设置的第一固定构件，以及)用于将第一支撑构件和第二支撑构件固定到框架上、从而使第一支撑构件和第二支撑构件沿着与第一方向和第二方向相对的第三方向设置的第二固定构件；以及用于给第一探针和第二探针提供电信号以便检查目标物是否正常的测试单元。
根据本发明，该探测单元和探测装置可精确地检查具有精密设置的终端的目标物。此外，该探测单元可迅速容易地制造和修理。

联系附图并参照下面的详细描述，本发明的上述以及其他特征和优点将变得非常明显，其中图1示出传统探测单元的剖视图；图2示出根据本发明的一个示例性实施方式的探测单元的立体图；图3是图2中的“A”部分的放大立体图；图4是图2中的“B”部分的放大立体图；图5示出图2所示的探测单元的分解立体图；图6示出图2所示的探测单元的第一探针的立体图；图7示出图2所示的探测单元的第二探针的立体图；图8示出图2所示的探测单元的框架的立体图；图9示出图2所示的第一支撑构件的第一支撑件和第二支撑件的立体图；图10示出图2所示的第二支撑构件的第三支撑件和第四支撑件的立体图；图11至图17示出一种制造图2所示的探测单元的方法的立体图和剖视图；
图18示出根据本发明的一个示例性实施方式的探测单元的立体图；图19是图18中的“C”部分的放大立体图；图20是图18中的“D”部分的放大立体图；图21示出图18所示的探测单元的分解立体图；图22示出图18所示的探测单元的框架的立体图；图23示出图18所示的第一支撑构件的第一支撑件和第二支撑件的立体图；图24示出图18所示的第二支撑构件的第三支撑件和第四支撑件的立体图；图25至图31示出一种制造图18所示的探测单元的方法的立体图和剖视图；图32示出根据本发明的一个示例性实施方式的探测装置的侧视图；以及图33示出图32所示的探测装置的探测单元的立体图。
具体实施例方式
下文将参照示出了本发明的示例性实施方式的附图更加全面地描述本发明。然而，本发明还可以许多其他方式实施，且不应理解为仅限于此处所述的示例性实施方式。相反地，提供这些实施方式是为了使本披露更充分和完整，并使完整地告知本领域技术人员本发明的保护范围。在图中，层和区域的尺寸和相对尺寸可能被夸大以便表达清楚。
应当理解的是，当指出一个元件或层“位于”另一元件或层上或“连接到”另一元件或层时，其能够直接位于另一元件或层上或直接连接到另一元件或层，或者可存在有中间元件或中间层。相反，当指出一个元件“直接位于”另一元件或层上或“直接连接到”另一元件或层时，则不存在中间元件或中间层。在全文中，类似的标号指代类似的元件。如此处所使用的，术语“和/或”包括所列的相关条目中的一个或多个中的任意一项及所有组合。
应当理解的是，虽然本文可使用第一、第二、第三等术语描述各种元件、部件、区域、层和/或部分，但是这些元件、部件、区域、层和/或部分不限于这些术语。这些术语仅用于区分一个元件、部件、区域、层或部分与其它的区域、层或部分。因此，下述第一元件、部件、区域、层和/或部分可以被称作第二元件、部件、区域、层和/或部分而不偏离本发明的教导。
在此可使用诸如“较低的”、“顶面的”等空间关系词以便于描述图中所示的元件或特征与其它元件或特征之间的关系。应当理解的是，这些空间关系词意在包括除图中所示方向之外的在使用或运行中的设备的不同方向。例如，如果图中的设备运行，则描述为位于其他元件或特征“下方”或“下面”的元件将位于该其他元件或特征的“上方”。因此，示例性术语“下方”能够包括上方和下方的朝向。该设备可能朝向别的方向(旋转90度或朝向其他方向)，则此处使用的空间关系描述作相应的解释。
此处使用的术语仅用于描述特定实施方式，其不构成对本发明的限制。如此处所使用的，单数形式“一”、“一个”及“该”意图也包括复数形式，除非上下文清楚地表明相反的意思。进一步应当理解的是，本说明书中使用的术语“包括”和/或“包含”表明所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在状态，但是不排除存在或添加一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其群组。
此处参照示出本发明的理想实施方式(及中间结构)的剖视示意图描述本发明的示例性实施方式。这样一来，可预期由于例如制造技术和/或公差而产生的图示形状的变化。因此，本发明的示例性实施方式不应当解释为仅限于此处所示的特定区域形状，而是包括由于例如制造导致的形状偏离。图中所示的区域是示例性的，它们的形状不用于示出设备区域的实际形状，并且不构成对本发明的保护范围的限制。
除非进行了相反的定义，此处使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有本发明所属领域的普通技术人员通常理解的意义。进一步应当理解的是，诸如那些具有常用字典中的意义的术语应当解释为具有与其在相关技术文中的意思相一致的意思，除非此处给出了明确的定义，否则不应当做理想化或形式化的解释。
图2示出根据本发明的一个示例性实施方式的探测单元的立体图，图3是图2中的“A”部分的放大立体图，图4是图2中的“B”部分的放大立体图。图5示出图2所示的探测单元的分解立体图。
参照图2至图5，探测单元100包括第一探针110，第二探针120，第一支撑构件130，第二支撑构件150，框架170，第一固定构件181，第二固定构件183，第三固定构件185，第四固定构件187，以及支撑块190。第一支撑构件130包括第一支撑件131和第二支撑件141。第二支撑构件150包括第三支撑件151和第四支撑件161。
第一支撑件131和第二支撑件141设置在框架170上。第一探针槽口135和第一对准槽口137沿第一方向形成在第一支撑件131的表面上。在一个示例性实施方式中，第一探针槽口135可彼此间隔第一间距G11。第二探针槽口145和第二对准槽口147可沿第一方向形成在第二支撑件141的表面上。在一个示例性实施方式中，第二探针槽口145可彼此间隔第一间距G11。
第一探针110插入第一支撑件131和第二支撑件141内。在一个示例性实施方式中，每个第一探针110的一端可插入每个第一探针槽口135内。另外，每个第一探针110的另一端可插入每个第二探针槽口145内。因此，第一探针110可设置为彼此间隔第一间距G11。第一间距G11可根据目标物上的终端的间距来确定。例如，第一间距G11可落在大约10微米到100微米的范围内。
支撑块190设置在第一支撑件131的两侧。支撑块190通过第三固定构件185固定到框架170。第三支撑件151设置在支撑块190上。此外，第四支撑件161设置在第二支撑件141上。
第三探针槽口155和第三对准槽口157沿第一方向形成在第三支撑件151的表面部上。在一个示例性实施方式中，第三探针槽口155可彼此间隔第二间距G12。第四探针槽口165和第四对准槽口167可沿第一方向形成在第四支撑件161的表面上。在一个示例性实施方式中，第四探针槽口165可彼此间隔第二间距G12。
第三支撑件151与第一支撑件131对准。在一个示例性实施方式中，第三支撑件151可通过第三对准槽口157和第一对准槽口137与第一支撑件131对准。第四支撑件161与第二支撑件141对准。在一个示例性实施方式中，第四支撑件161可通过第四对准槽口167和第二对准槽口147与第二支撑件141对准。
第二探针120插入分别与第一支撑件131和第二支撑件141对准的第三支撑件151和第四支撑件161内。在一个示例性实施方式中，每个第二探针120的一端可插入每个第三探针槽口155内。另外，每个第二探针120的另一端可插入每个第四探针槽口165内。因此，第二探针120可彼此间隔第二间距G12。第二间距G12可根据目标物上的终端的间距来确定。例如，第二间距G12可落在大约10微米到100微米的范围内。第二探针120之间的第二间距G12可与第一探针110之间的第一间距G11大致相同。或者，第二探针120之间的第二间距G12可与第一探针110之间的第一间距G11略有不同。
第二探针120设置在第一探针110之间。第一探针110与第二探针120之间间隔第三间距G13。第三间距G13可根据第一间距G11和第二间距G12确定。例如，当第一间距G11约为50微米且第二间距G12也约为50微米时，第三间距G13约为25微米。
第二支撑件141和第四支撑件161通过第一固定构件181和第二固定构件183固定到框架170。同时，第二支撑件141和第四支撑件161可与第一探针110和第二探针120相结合。
在下文中，将参照附图详细解说探测单元100的上述元件。
图6示出图2所示的探测单元的第一探针的立体图。
参照图2和6，第一探针110包括本体部111，接触部114和连接部117。
本体部111可以是宽为W11、长为L11的薄板形状，其中L11远大于W11。在一个示例性实施方式中，多个孔116可形成为贯穿本体部111以便减少本体部111的重量。另外，本体部111可相对于竖直平面沿顺时针方向倾斜第一角α1。第一角α1可根据后述框架170的形状确定。本体部111具有第一端111a和与第一端111a相对的第二端111b。第一端111a和第二端111b可设置为与竖直平面大致平行。接触部114从本体部111第一端111a的顶面延伸。此外，连接部117从本体部111第二端111b的顶面延伸。
接触部114与诸如液晶显示(LCD)设备的目标物的终端直接接触。接触部114相对于本体部111第一端111a的顶面倾斜第二角α2。接触部114可具有尖端。
连接部117与诸如柔性线路板(TCP)的集成电路相接触。连接部117从本体部111第二端111b的顶面竖直地延伸，然后水平地延伸。因此，连接部117可以为Γ形。此外，连接部117可具有向上弯曲的尖端。
如上所述，本体部111、接触部114及连接部117可一体化地形成，以便形成第一探针110。在一个示例性实施方式中，第一探针110可具有大致相同的形状。或者，第一探针110可具有略微不同的形状。
本体部111、接触部114及连接部117可包括导电材料。因此，电信号可通过本体部111从连接部117传输到接触部114，反之亦然。第一探针110沿水平方向设置在框架170上。进一步地，第一探针110彼此间隔第一间距G11。
图7示出图2所示的探测单元的第二探针的立体图。
参照图2和7，第二探针120包括本体部121，接触部124和连接部127。
本体部121可以是长为L21、宽为W21的薄板形状，其中L21远大于W21。在一个示例性实施方式中，第二探针120本体部121的宽度W21可与第一探针110本体部111的宽度W11大致相同。或者，第二探针120本体部121的宽度W21可与第一探针110本体部111的宽度W11略有不同。另一方面，第二探针120本体部121的长度L21短于第一探针110本体部111的长度L11。在一个示例性实施方式中，多个孔126可形成为贯穿本体部121以便减少本体部121的重量。另外，本体部121可相对于竖直平面沿顺时针方向倾斜第三角α3。第三角α3可根据后述框架170的形状确定。本体部121具有第一端121a和与第一端121a相对的第二端121b。第一端121a和第二端121b可设置为与竖直平面大致平行。
第三支撑件151所插入的第一固定凹槽122形成在本体部121的第一端121a。此外，第四支撑件161所插入的第二固定凹槽123形成在本体部121的第二端121b。接触部124从本体部121第一端121a的顶面延伸。另外，连接部127从本体部121第二端121b的顶面延伸。
接触部124与诸如LCD设备的目标物的终端直接接触。接触部124沿着从本体部121延伸的方向从本体部121的第一端121a延伸。接触部124可具有向上弯曲的尖端。
连接部127与诸如柔性线路板(TCP)的集成电路相接触。连接部127从本体部121第二端121b的顶面沿竖向延伸，然后水平延伸。此外，连接部127可具有向上弯曲的尖端。
如上所述，本体部121、接触部124及连接部127一体化地形成，从而形成第二探针120。在一个示例性实施方式中，第二探针120可具有大体相同的形状。或者，第二探针120可具有略微不同的形状。
本体部121、接触部124及连接部127包括导电材料。因此，电信号可通过本体部121从连接部127传输到接触部124，反之亦然。
现在参照图3和4，第一探针110沿第一方向设置在框架170上。第二探针120沿第一方向设置在第一探针110之间。因此，第一探针110和第二探针120之间的第三间距G13大约是第一探针110之间的第一间距G11或第二探针之间的第二间距G12的一半。例如，当第一间距G11约为20微米且第二间距G12约为20微米时，第三间距G13约为10微米。因此，通过在第一探针110之间设置第二探针120，可使得第一探针110和第二探针120之间的第三间距G13远小于第一探针110之间的第一间距G11或第二探针120之间的第二间距G12。可根据目标物的终端之间的间距调整第一间距G11、第二间距G12和第三间距G13。
图8示出图2所示的探测单元的框架的立体图。
参照图2和8，框架170可呈矩形平行六面体形，其具有第一宽度W31、第一长度L31和第一高度H31。容置凹槽176形成在框架170顶面170a的前部。容置凹槽176朝向第一方向和第二方向开口。
容置凹槽176具有第二宽度W32、第二长度L32和第一深度D31。第二宽度W32窄于第一宽度W31。第二长度L32短于第一长度L31。此外，第一深度D31可深于第一高度H31。在一个示例性实施方式中，容置凹槽176的第二宽度W32可与第二支撑件141的宽度大致相等。或者，容置凹槽176的第二宽度W32可与第二支撑件141的宽度略有不同。
侧壁171沿竖向设置在容置凹槽176的两侧。侧壁171可从框架170的顶面170a部分地突起。
朝上的阶梯部沿第二方向形成在容置凹槽176的底面上。在一个示例性实施方式中，容置凹槽176的底面可包括第一基面176a、第二基面176b和第三基面176c。第三基面176c可放置在第二基面176b上方，而第二基面176b位于第一基面176a上方。此外，第一基面176a、第二基面176b及第三基面176c可彼此之间大致平行。为了将第二支撑件141设置到第一基面176a上，第一基面176a的长度可远大于第二支撑件141的长度。
保持块173形成在第二基面176b和第三基面176c上。保持块173具有第三宽度W33，该第三宽度远窄于容置凹槽176的第二宽度W32。此外，保持块173的第三宽度W33可与第一支撑件131的宽度大致相等。或者，保持块173的第三宽度W33可与第一支撑件131的宽度略有不同。
保持块173与侧壁171隔开。在一个示例性实施方式中，保持块173的侧面与侧壁171之间的间距可以彼此大体上完全相等。因此，设置支撑块190的空间可形成在保持块173和侧壁171之间。
保持块173的顶面173a设置在框架170的顶面170a所在的水平平面上。或者，保持块173的顶面173a可设置在与框架170的顶面170a所在水平平面不同的水平平面上。
阶梯部173b沿第一方向形成在保持块173顶面173a的前部。阶梯部173b的形状可对应于第一支撑件131的下部结构的形状。第一支撑件131设置在保持块173上。第一支撑件131可与阶梯部173b紧密接触。
保持块173具有倾斜的背面173c。在一个示例性实施方式中，第一背面173c的倾角α4可与第一探针110的第一角α1大致相等。第一背面173c的倾角α4可与第一探针110的第一角α1略有不同。
终端凹槽178形成在框架170的顶面170a处。终端凹槽178与容置凹槽176相联通。诸如TCP的集成电路设置在终端凹槽178内。另外，可在框架170处形成附加凹槽或阶梯部。
第一固定孔181a、第二固定孔183a、第三固定孔185a及第四固定孔187a形成为贯穿框架170的侧壁171。第一固定孔181a、第二固定孔183a、第三固定孔185a及第四固定孔187a与容置凹槽176相联通。此外，第一固定孔181a、第二固定孔183a、第三固定孔185a及第四固定孔187a沿第二方向顺次设置。
第一固定孔181a形成为从框架170的侧壁171延伸到容置凹槽176的第一内壁176d。在一个示例性实施方式中，第一固定孔181a可相对于第一方向倾斜。也就是说，第一固定孔181a可沿斜向设置在由第一方向和第二方向确定的平面上。另外，第一固定孔181a可相对于一个沿第二方向延伸的轴线对称地设置。
第一固定构件181对应地插入第一固定孔181a内。每个第一固定构件181的一端露出容置凹槽176的第一基面176a。第一固定构件181与第二支撑件141的背面相接触，从而沿第二方向推压第二支撑件141。
第二固定孔183a邻近第一固定孔181a地设置。第二固定孔183a形成为贯穿框架170的侧壁171。在一个示例性实施方式中，第二固定孔183a可相对于第三方向倾斜。也就是说，第二固定孔183a可沿斜向设置在由第一方向和第三方向确定的平面上。另外，第二固定孔183a可相对于沿第二方向延伸的轴线对称地设置。再者，第二固定孔183a可设置为朝向第一基面176a。
第二固定构件183对应地插入第二固定孔183a内。每个第二固定构件183的一端露出容置凹槽176的第一基面176a和第二基面176b。第二固定构件183与第四支撑件161的两个侧面相接触，从而沿第一方向和第三方向推压第四支撑件161。
第三固定孔185a邻近第二固定孔183a地设置。第三固定孔185a形成为贯穿框架170的侧壁171。在一个示例性实施方式中，第三固定孔185a可相对于第一方向倾斜。也就是说，第三固定孔185a可沿斜向设置在由第一方向和第三方向确定的平面上。此外，第三固定孔185a可相对于沿第二方向延伸的轴线对称地设置。
第三固定构件185对应地插入第三固定孔185a内。每个第三固定构件185的一端露出容置凹槽176的第二基面176b。第三固定构件185与支撑块190的背面相接触，从而沿第二方向和第三方向推压支撑块190。
第四固定孔187a邻近第三固定孔185a地设置。第四固定孔187a形成为沿第一方向贯穿框架170的侧壁171。第四固定孔187a可相对于沿第二方向延伸的轴线对称地设置。
第四固定构件187对应地插入第四固定孔187a内。每个第四固定构件187的一端露出容置凹槽176的第二基面176b和第三基面176c。第四固定构件187与第三支撑件151的两个侧面相接触，从而沿第一方向推压第三支撑件151。在一个示例性实施方式中，附加的固定孔可贯穿框架170地形成。
图9示出图2所示的第一支撑构件的第一支撑件和第二支撑件的立体图。
参照图2和9，第一支撑构件130包括第一支撑件131和第二支撑件141。
第一支撑件131支撑每个第一探针110的第一端111a，以便使第一探针110设置为彼此间隔第一间距G11。第一支撑件131设置在保持块173上。
在本发明的一个示例性实施方式中，第一支撑件131可包括截面为L形的梁。第一支撑件131的宽度W41可与保持块173的第三宽度W33大致相等。或者，第一支撑件131的宽度W41可与保持块173的第三宽度W33略有不同。
第一支撑件131具有倾斜的顶面131a。顶面131a的倾角α5可与第一探针110的第二角α2大致相等。或者，顶面131a的倾角α5可与第一探针110的第二角α2略有不同。
第一探针槽口135沿第二方向形成在第一支撑件131的顶面131a和第一背面131b处。第一探针槽口135沿第一方向设置。在一个示例性实施方式中，第一探针槽口135的数目可与第一探针110的数目大致相等。或者，第一探针槽口135的数目可大于第一探针110的数目。
在本发明的一个示例性实施方式中，第一探针槽口135可设置为彼此间隔间距G41，该间距G41与第一探针110的第一间距G11大致相等。或者，第一探针槽口135可设置为彼此间隔间距G41，而该间距G41与第一探针110的第一间距G11略有不同。第一探针槽口135的宽度W42可大体上等于第一探针110的宽度W11。或者，第一探针槽口135的宽度W42可与第一探针110的宽度W11略有不同。第一探针110的接触部114分别插入第一探针槽口135内。当接触部114插入第一探针槽口135内而将第一探针110设置在第一支撑件131上时，第一探针110可自动地设置为彼此间隔第一间距G11，如图3所示。
第一对准槽口137沿第二方向形成在第一支撑件131的顶面131a和第一背面131b上。第一对准槽口137邻近最外面的第一探针槽口135地设置。第一对准槽口137构造为与对准销(未示出)相对应。对准销对应地插入第一对准槽口137内。第一支撑件131和第三支撑件151，或者第一支撑件131、第二支撑件141、第三支撑件151及第四支撑件161通过插入第一对准槽口137内的对准销对准。
在本发明的一个示例性实施方式中，长凹槽132可沿第一方向形成在第一支撑件131的顶面131a处。此处，两排第一探针槽口135和两排第一对准槽口137可形成在第一支撑件131的顶面131a处。
用于容置每个第一探针110的第一端111a的第一结合凹槽136形成在第一支撑件131的第一背面131b处。第一结合凹槽136构造为与图6所示的第一探针110的第一端111a的形状相对应。第一结合凹槽136沿第一方向形成。在一个示例性实施方式中，第一结合凹槽136的高度H41可与第一探针110的第一端111a的高度H11大致相等。或者，第一结合凹槽136的高度H41可与第一探针110的第一端111a的高度H11略有不同。
第一探针110的第一端111a插入第一结合凹槽136内。特别地，第一端111a可紧密地插入第一结合凹槽136内以防止第一探针110沿第一方向移动。
第二支撑件141支撑每个第一探针110的第二端111b，从而第一探针110可设置为彼此间隔第一间距G11。第二支撑件141放置在容置凹槽176的第一基面176a上。
在本发明的一个示例性实施方式中，第二支撑件141可包括截面为L形的梁。第二支撑件141的宽度W43可与容置凹槽176的第二宽度W32大致相等。或者，第二支撑件141的宽度W43可与容置凹槽176的第二宽度W32略有不同。另外，第二支撑件141的高度H42可与容置凹槽176的第一深度D31大致相等。或者，第二支撑件141的高度H42可与容置凹槽176的第一深度D31略有不同。
第二支撑件141具有平坦的顶面141a。第二探针槽口145沿第二方向形成在第二支撑件141的顶面141a处。第二探针槽口145沿第一方向设置。在一个示例性实施方式中，第二探针槽口145的数目可与第一探针110的数目大致相等。或者，第二探针槽口145的数目可大于第一探针110的数目。
在本发明的一个示例性实施方式中，第二探针槽口145可设置为彼此间隔间距G42，该间距G42与第一探针110的第一间距G11大致相等。或者，第二探针槽口145可设置为彼此间隔间距G42，而该间距G42与第一探针110的第一间距G11略有不同。第二探针槽口145的宽度W44可大体上等于第一探针110的宽度W11。或者，第二探针槽口145的宽度W44可与第一探针110的宽度W11略有不同。第一探针110的连接部117对应地插入第二探针槽口145内。当连接部117插入第二探针槽口145内而将第一探针110设置到第二支撑件141上时，第一探针110可自动地设置为彼此间隔第一间距G11，如图4所示。
第二对准槽口147沿第二方向形成在第二支撑件141的顶面141a上。第二对准槽口147邻近最外面的第二探针槽口145地设置。第二对准槽口147构造为与对准销(未示出)相对应。对准销对应地插入第二对准槽口147内。第二支撑件141和第四支撑件161，或者第一支撑件141、第二支撑件141、第三支撑件151及第四支撑件161通过插入第二对准槽口147内的对准销对准。
用于容置每个第一探针110的第二端111b的第二结合凹槽146形成在第二支撑件141的正面141b处。第二结合凹槽146构造为与图6所示的第一探针110的第二端111b的形状相对应。第二结合凹槽146沿第一方向形成。在一个示例性实施方式中，第二结合凹槽146的高度H43可与第一探针110的第二端111b的高度H12大致相等。或者，第二结合凹槽146的高度H43可与第一探针110的第二端111b的高度H12略有不同。
第一探针110的第二端111b插入第二结合凹槽146内。特别地，第二端111b可紧密地插入第二结合凹槽146内以防止第一探针110沿第一方向移动。
图10示出图2所示的第二支撑构件的第三支撑件和第四支撑件的立体图。
参照图2和10，第二支撑构件150包括第三支撑件151和第四支撑件161。
第三支撑件151支撑每个第二探针120的第一端121a，以便使第二探针120可设置为彼此间隔第二间距G12。第三支撑件151设置在第一支撑件131上。第三支撑件151固定到支撑块190。
在本发明的一个示例性实施方式中，第三支撑件151可为呈线性的梁形状。第三支撑件151的宽度W51可与容置凹槽176的第二宽度W32大致相等。或者，第三支撑件151的宽度W51可与容置凹槽176的第二宽度W32略有不同。
第三支撑件151具有平坦的顶面151a。第三探针槽口155沿第二方向形成在第三支撑件151的顶面151a处。第三探针槽口155烟第一方向设置。在一个示例性实施方式中，第三探针槽口155的数目可与第二探针120的数目大致相等。或者，第三探针槽口155的数目可大于第二探针120的数目。
在本发明的一个示例性实施方式中，第三探针槽口155可设置为彼此间隔间距G51，该间距G51与第二探针120的第二间距G12大致相等。或者，第三探针槽口155可设置为彼此间隔间距G51，而该间距G51与第二探针120的第二间距G12略有不同。第三探针槽口155的宽度W52可大体上等于第二探针120的宽度W21。或者，第三探针槽口155的宽度W52可与第二探针120的宽度W21略有不同。第二探针120的接触部124分别插入第三探针槽口155内。当接触部124插入第三探针槽口155内而将第二探针120设置到第三支撑件151上时，第二探针120可自动地设置为彼此间隔第二间距G12，如图3所示。
第三对准槽口157沿第二方向形成在第三支撑件151的顶面151a处。第三对准槽口157邻近最外面的第三探针槽口155地设置。第三对准槽口157构造为与对准销(未示出)相对应。对准销分别插入第三对准槽口157内。第一支撑件131和第三支撑件151，或者第一支撑件131、第二支撑件141、第三支撑件151及第四支撑件161通过插入第三对准槽口157内的对准销对准。
与第二探针120的第一端121a相结合的第一结合杆154形成在第三支撑件151的背面151b处。如图7所示，第一结合杆154构造为与第二探针120的第一固定凹槽122的形状相对应。因此，第一结合杆154沿第一方向形成。例如，当第一固定凹槽122为矩形截面时，第一结合杆154具有与第一固定凹槽122的截面大致相同的矩形截面。在一个示例性实施方式中，第一结合杆154的高度H51与第一固定凹槽122的高度H13大致相等。或者，第一结合杆154的高度H51与第一固定凹槽122的高度H13略有不同。
第一结合杆154插入第二探针120的第一固定凹槽122内。此处，第一结合杆154紧密地插入第一固定凹槽122内以防止第二探针120沿第一方向移动。
卡爪156形成在第三支撑件151的底面的两个边缘处。在一个示例性实施方式中，卡爪156的宽度W56可与支撑块190的宽度W55大致相等。或者，卡爪156的宽度W56可与支撑块190的宽度W55略有不同。
如上所述，第三支撑件151可通过卡爪156设置在支撑块190上。
支撑块190设置在框架170的保持块173的两侧以支撑第三支撑块151。在一个示例性实施方式中，支撑块190的宽度W55可与图8所示的保持块173和侧壁171之间的间距B31大致相等。或者，支撑块190的宽度W55可与图8所示的保持块173和侧壁171之间的间距B31略有不同。
上阶梯部192沿第一方向形成在支撑块190的顶面190a的后部。上阶梯部192的形状对应于第三支撑件151的卡爪156的形状。第三支撑件151的卡爪156可与上阶梯部192紧密接触。
下阶梯部193沿第一方向形成在支撑块190的底面190b的前部。下阶梯部193的形状对应于框架170的第三基面176c形状。框架170的第二基面176b和第三基面176c的交界面可与下阶梯部193紧密接触。支撑块190的背面190c相对于第二方向倾斜。背面190c相对于第二方向具有一个正的倾斜角。第三固定构件185与支撑块190的背面190c相接触以便朝第二方向和第三方向推压支撑块190。
第四支撑件161支撑每个第二探针120的第二端121b而将第二探针120设置为彼此间隔第二间距G12。第二支撑件141放置在容置凹槽176内。第四支撑件161位于容置凹槽176内的第二支撑件141上。
第四支撑件161包括固定部163和支撑部166。在一个示例性实施方式中，固定部163可为呈线性的梁形状。固定部163具有平坦的顶面163a。第四探针槽口165沿第二方向形成在固定部163的顶面163a处。第四探针槽口165可沿第一方向设置。在一个示例性实施方式中，第四探针槽口165的数目可与第二探针120的数目大致相等。或者，第四探针槽口165的数目可大于第二探针120的数目。
在本发明的一个示例性实施方式中，第四探针槽口165可设置为彼此间隔间距G52，该间距G52与第二探针120的第二间距G12大致相等。或者，第四探针槽口165可设置为彼此间隔间距G52，而该间距G52与第二探针120的第二间距G12略有不同。第四探针槽口165的宽度W54可大体上等于第二探针120的宽度W21。或者，第四探针槽口165的宽度W54可与第二探针120的宽度W21略有不同。第二探针120的连接部127分别插入第四探针槽口165内。当连接部127插入第四探针槽口165内而将第二探针120设置到固定部163上时，第二探针120可自动地设置为彼此间隔第二间距G12。
第四对准槽口167沿第二方向形成在固定部163的顶面163a处。第四对准槽口167邻近最外面的第四探针槽口165地设置。第四对准槽口167构造为与对准销(未示出)相对应。对准销分别插入第四对准槽口167内。第二支撑件141和第四支撑件161，或者第一支撑件131、第二支撑件141、第三支撑件151及第四支撑件161通过插入第四对准槽口167内的对准销对准。
与第二探针120的第二端121b相结合的第二结合杆164形成在固定部163的正面163b处。如图7所示，第二结合杆164构造为与第二探针120的第二固定凹槽123的形状相对应。因此，第二结合杆164沿第一方向形成。当第二固定凹槽123为矩形截面时，第二结合杆164的矩形截面可与第二固定凹槽123的截面大致相同。在一个示例性实施方式中，第二结合凹槽164的高度H52与第二固定凹槽123的高度H14大致相等。或者，第二结合杆164的高度H52与第二固定凹槽123的高度H14略有不同。
第二结合杆164插入第二探针120的第二固定凹槽123内。第二结合杆164可紧密地插入第二固定凹槽123内以防止第二探针120沿第一方向移动。
支撑部166形成在固定部163的底面的两侧。支撑部166呈梁状，其截面为L形。支撑部166可彼此对称地设置在固定部163的底面的两侧。包括固定部163和支撑部166的第四支撑件161的宽度W53可与容置凹槽176的第二宽度W32大致相等。或者，包括固定部163和支撑部166的第四支撑件161的宽度W53可与容置凹槽176的第二宽度W32略有不同。
下文将参照附图详细描述一种制造探测单元100的方法。
图11至17示出一种制造图2所示的探测单元的方法的立体图和剖视图。
参照图11和12，第一支撑构件130与框架170相结合。在一个示例性实施方式中，第一支撑件131可放置在保持块173上。第二支撑件141可设置在容置凹槽176的第一基面176a上。此处，第一支撑件131和第二支撑件141可设置为使第一支撑件131的第一结合凹槽136和第二支撑件141的第二结合凹槽146彼此相面对。
第一支撑件131的两侧131d和保持块173的两侧173d彼此对准以便确定第一支撑件131相对于第一方向的位置。第一支撑件131的第二背面131c与保持块173的阶梯部173b紧密接触以便确定第一支撑件131相对于第二方向的位置。在确定了第一支撑件131相对于第一方向和第二方向的位置后，第一支撑件131固定到保持块173上。
第二支撑件141的宽度可与容置凹槽176的宽度大致相等。因此，当第二支撑件141插入容置凹槽176内时，第二支撑件不会沿第一方向移动。因此，可在第二支撑件141插入容置凹槽176内的同时确定第二支撑件141相对于第一方向的位置。
第一探针110设置在第一支撑件131和第二支撑件141上。此处，第一支撑件131支撑第一探针110的第一端111a，第二支撑件141支撑第一探针110的第二端111b。
参照图13，第一探针110与第一支撑件131相结合。在一个示例性实施方式中，第一探针110的第一端111a可分别插入第一支撑件131的第一结合凹槽136内。此处，第一探针110的接触部114可位于第一支撑件131的第一探针槽口135内。
由于第一探针110的第一端111a的高度与第一结合凹槽136的深度大致相等，所以第一端111a可与第一结合凹槽136相接合。因此，第一探针110不会沿第一方向移动。
所有的第一探针110都通过上述程序与第一支撑件131相结合。因此，第一探针110的第一端111a可设置为彼此间隔第一间距G11，如图3所示。
参照图14和15，支撑块190设置在保持块173两侧。在一个示例性实施方式中，支撑块190可放置在容置凹槽176的第二基面176b和第三基面176c上。支撑块190由第三基面176c支撑，从而支撑块190的底面190b与第二基面176b间隔开。
第三固定构件185插入框架170的第三固定孔185a内以便将支撑块190紧固在框架170上。此处，第三固定构件185的端部露出容置凹槽176。第三固定构件185的露出端部与支撑块190的背面190c相接触。
第三固定构件185使支撑块190沿第二方向移动以便使容置凹槽176的第二基面176b与支撑块190的下阶梯部193相接触。因此，支撑块190相对于第二方向的位置得以确定。此外，第三固定构件185沿第三方向推压支撑块190。当支撑块190的底面190b与第二基面176b间隔开时，可通过第三固定构件185来调整支撑块190的顶面190a的倾斜角。
第三支撑件151设置在支撑块190上。然后，第四支撑件161放置在第二支撑件141上。此处，第三支撑件151和第四支撑件161设置为使第三支撑件151的第一固定杆154和第四支撑件161的第二固定杆164彼此相面对。
第三支撑件151水平移动以便将第三支撑件151紧密地连接到支撑块190的上阶梯部192。因此，第三支撑件151相对于第二方向的位置得以确定。
第三支撑件151的两侧和支撑块190的两侧彼此对准以确定第三支撑件151沿第一方向的位置。
在确定了第三支撑件151沿第一方向和第二方向的位置之后，第三支撑件151紧固到支撑块190上。
第四支撑件161插入容置凹槽176内。此处，容置凹槽176内的第四支撑件161不会沿第一方向移动。因此，可在第四支撑件161插入容置凹槽176内的同时确定第四支撑件161在第一方向上的位置。再者，第四支撑件161的第四对准槽口167可沿第二方向与第二支撑件141的第二对准槽口147大致对准。
第二探针120设置在第三支撑件151和第四支撑件161上。第三支撑件151支撑第二探针120的第一端121a。此外，第四支撑件161支撑第二探针120的第二端121b。
第三支撑件151的第一结合杆154插入第二探针120的第一固定凹槽122内。特别地，第一结合杆154与第一固定凹槽122相啮合，从而使得第二探针120不会沿第一方向移动。第二探针120的接触部124位于第三支撑件151的第三探针槽口155内。
所有的第二探针120都通过上述程序与第三支撑件151组装在一起。因此，第二探针120的第一端121a设置为彼此间隔第二间距G12，如图3所示。此外，第二探针120的第一端121a设置为与第一探针110的第一端111a间隔开第三间距G13，如图3所示。
参照图16，第一固定构件181插入框架170内以便使第一探针110和第二探针120分别与第三支撑件151和第四支撑件161相结合。
第一固定构件181的端部露出容置凹槽176。第一固定构件181的露出端部与第二支撑件141的背面141d相接触。第一固定构件181使第二支撑件141沿第二方向移动以便将第二支撑件141的第二正面141c紧密地连接到容置凹槽176的第一基面176a和第二基面176b的交界面上。
因此，第一探针110与第二支撑件141相结合，第二探针120与第四支撑件161相结合。特别地，第一探针110的第二端111b插入第二支撑件141的第二结合凹槽146内。第四支撑件161的第二结合杆164插入第二探针120的第二固定凹槽123内。此处，第一探针110的连接部117位于第二支撑件141的第二探针槽口145内。再者，第二探针120的连接部127放置在第四支撑件161的第四探针槽口165内。
如图4所示，固定到第二支撑件141的第一探针110的第二端111b设置为彼此间隔第一间距G11。另外，固定到第四支撑件161的第二探针120的第二端121b设置彼此间隔第二间距G12。再者，第一探针110的第二端111b设置为与第二探针120的第二端121b间隔第三间距G13。
参照图17，第二固定构件183插入框架170的第二固定孔183a内。第二固定构件183的端部露出容置凹槽176。第二固定构件183的露出端部与第四支撑件161的侧面相接触。第二固定构件183沿第三方向推压第四支撑件161以便固定第二支撑件141和第四支撑件161。因而，第一探针110和第二探针120沿第二方向的斜率得以确定。此外，第二固定构件183推压第四支撑件161的两侧以便沿第一方向固定第四支撑件161。此处，第四支撑件161可根据第二固定构件183插入框架170内的深度而沿第一方向稍微移动。因此，可通过稍微移动第四支撑件161来使第四支撑件161的第四对准槽口167与第二支撑件141的第二对准槽口147对准。
第四固定构件187插入框架170的第四固定孔187a内。第四固定构件187的端部露出容置凹槽176。第四固定构件187的露出端部与支撑块190的侧面相接触。第四固定构件187推压支撑块190的侧面以便沿第一方向固定第三支撑件151和支撑块190。此处，可根据第四固定构件187插入框架170内的深度来沿第一方向稍微移动第三支撑件151和支撑块190。因此，可通过稍微移动第三支撑件151和支撑块190来使第一支撑件131的第一对准槽口137与第三支撑件151的第三对准槽口157对准。
如上所述，第一支撑件131和第二支撑件141支撑第一探针110。第一探针110的接触部114从第一支撑件131突出。第一探针110的连接部117从第二支撑件141突出。从第一支撑件131露出的接触部114与目标物的终端相接触。从第二支撑件141露出的连接部117电连接到集成电路。第三支撑件151和第四支撑件161支撑第二探针120。第二探针120的接触部124从第三支撑件151突出。第二探针120的连接部127从第四支撑件161突出。从第三支撑件151露出的接触部124与目标物的终端相接触。从第四支撑件161露出的连接部127电连接到集成电路。此处，第一探针110和第二探针120的接触部114和124可大体位于同一平面上。另外，第一探针110和第二探针120的连接部117和127可大体位于同一平面上。
如上所述，第一探针110和第二探针120分别固定到第一支撑构件130和第二支撑构件150上，从而使得第一探针110和第二探针120不会移动。此外，第一探针110紧固到第一支撑构件130上以便设置为彼此间隔第一间距G11。第二探针120固定到第二支撑构件150上以便设置为彼此间隔第二间距G12。第一探针110设置为从第二探针120隔开第三间距G13。此外，通过第一、第二、第三和第四固定构件181、183、185和187，第一探针110和第二探针120分别可容易地与第一支撑构件130和第二支撑构件150分开。因此，可容易地修理和更换第一探针110和第二探针120。由此，第一支撑构件130和第二支撑构件150也可容易地修理和更换。
根据本发明的示例性实施方式，可快速、便捷、精确地设置第一探针110和第二探针120。另外，第一探针110和第二探针120可具有窄的间距。再者，本发明的探测单元100易于修理。
图18示出根据本发明的示例性实施方式的探测单元的立体图，图19是图18中的“C”部分的放大立体图。图20是图18中的“D”部分的放大立体图，图21示出图18所示的探测单元的分解立体图。
参照图18至图21，探测单元200包括图6所示的第一探针110和图7所示的第二探针。因此，为了简要起见，此处省略了指代第一探针110和第二探针120的元件的标号。此外，为了简要起见，此处也省略了关于第一探针110和第二探针120的元件的任何进一步的说明。
探测单元200包括第一探针110，第二探针120，第一支撑构件230，第二支撑构件250，框架270，第一固定构件281，第二固定构件283，第三固定构件285，第四固定构件287，以及支撑块290。第一支撑构件230包括第一支撑件231和第二支撑件241。第二支撑构件250包括第一支撑件251和第二支撑件261。
第一支撑件231和第二支撑件241设置在框架270上。第一探针槽口235和第一对准槽口237沿第一方向形成在第一支撑件231的表面部处。在一个示例性实施方式中，第一探针槽口235彼此间隔第一间距G21。第二探针槽口245和第二对准槽口247可沿第一方向形成在第二支撑件241的表面部处。在一个示例性实施方式中，第二探针槽口245可彼此隔开第一间距G21。
第一探针110插入第一支撑件231和第二支撑件241内。在一个示例性实施方式中，每个第一探针110的一端可插入每个第一探针槽口235内。每个第一探针110的另一端可插入每个第二探针槽口245内。因此，第一探针110可设置为彼此间隔第一间距G11。此处，第一间距G11可根据目标物的终端之间的间距而确定。
支撑块290设置在第一支撑件231的两侧。支撑块290通过第三固定构件285固定到框架270。第三支撑件251设置在支撑块290上。第四支撑件261位于第二支撑件241上。
第三探针槽口255和第三对准槽口257沿第一方向形成在第三支撑件251的表面部处。在一个示例性实施方式中，第三探针槽口255可彼此间隔第二间距G22。第四探针槽口265和第四对准槽口267沿第一方向形成在第四支撑件261的表面部处。在一个示例性实施方式中，第四探针槽口265可彼此间隔第二间距G22。
第三支撑件251与第一支撑件231对准。另外地，第四支撑件261相对于第二支撑件241对准。
第二探针120插入第三支撑件251和第四支撑件261内。在一个示例性实施方式中，每个第二探针120的一端可插入每个第三探针槽口255内。每个第二探针120的另一端可插入每个第四探针槽口265内。因此，第二探针120可彼此间隔第二间距G22。此处，第二间距G22可根据目标物上的终端的间距而确定。第二探针120之间的第二间距G22可与第一探针110之间的第一间距G21大致相等。
第二支撑件241和第四支撑件261通过第一固定构件281和第二固定构件283固定到框架270。同时，第二支撑件241和第四支撑件261可分别固定到第一探针110和第二探针120。
下文将参照附图详细描述探测单元200内的上述元件。
图22示出图18所示的探测单元的框架的立体图。
参照图22，框架270可呈矩形平行六面体形状，其具有第一宽度W61、第一长度L61和第一高度H61。框架270包括第一基面271和第二基面275。第一基面271设置为比第二基面275要低第一深度D61。第一基面271和第二基面275分别具有平坦的顶面271a和275a。
第一容置凹槽276形成在第二基面275的顶面275a处。第一容置凹槽276朝向第一方向和第二方向开口。第一容置凹槽276具有第二宽度W62、第二长度L62和第二深度D62。第一容置凹槽276的第二宽度W62可与第二支撑块241的宽度大致相等。侧壁272可沿竖向设置在第一容置凹槽276的两侧。第二深度D62可远深于第一深度D61。因此，阶梯部275b形成在第一容置凹槽276和第一基面271之间。第二支撑件241和第四支撑件261设置在第一容置凹槽276内。
与第一容置凹槽276相联通的开口278形成在第二基面275的顶面275a处。开口278的第三宽度W63可远窄于第一容置凹槽276的第二宽度W62。开口278沿与第一方向和第二方向大致垂直的第三方向贯穿第二基面275地形成。诸如TCP的集成电路可设置在开口278内。
保持块273形成在框架270的第一基面271上。保持块273的第四宽度W64可窄于第一容置凹槽276的第二宽度W62。保持块273位于框架270的前部。保持块273与第一基面271的侧面间隔开。在一个示例性实施方式中，保持块273的侧面之间与侧壁272之间的间距可以大体上彼此相等。因此，第一基面271的顶面271a可露出于保持块273。
第三固定孔285a贯穿露出于保持块273的第一基面271的顶面271a地形成。第三固定孔285a用于将支撑块290固定到第一基面271上。保持块273可具有位于水平平面内的顶面273a，第二基面275的顶面275a设置在该水平平面上。
第二容置凹槽277形成在保持块273的顶面273a处。第二容置凹槽277的第五宽度W65可与第一支撑件231的宽度大致相等。第二容置凹槽277构造为与第一支撑件231下部的形状相对应。第一支撑件231设置在第二容置凹槽277内。
保持块273具有倾斜的背面273c。在一个示例性实施方式中，背面273c的倾角α6可与第一探针110的第一倾角α1大致相等。第一固定孔281a和第二固定孔283a贯穿框架270地形成。第一固定孔281a和第二固定孔283a与第一容置凹槽276相联通。
第一固定孔281a形成为从框架270的侧面延伸到第一容置凹槽276的第一内壁276d。在一个示例性实施方式中，第一固定孔281a可相对于第一方向倾斜。也就是说，第一固定孔281a可沿斜向设置在由第一方向和第二方向确定的平面内。第一固定孔281a可相对于一个沿第二方向延伸的轴线对称地设置。
第一固定构件281分别插入第一固定孔281a内。每个第一固定构件281的一端露出第一容置凹槽276。第一固定构件281与第二支撑件241的背面相接触以便沿第二方向推压第二支撑件241。
第二固定孔283a邻近第一固定孔281a地设置。第二固定孔283a形成为贯穿框架270的侧壁272。在一个示例性实施方式中，第二固定孔283a可相对于沿第二方向延伸的轴线对称设置。
第二固定构件283分别插入第二固定孔283a内。每个第二固定构件283的一端露出第一容置凹槽276。第二固定构件283与第四支撑件261的两个侧面相接触以便沿第一方向和第三方向推压第四支撑件261。
如图21所示，第四固定孔287a形成为穿过框架270的底面270b。第四固定孔287a与第一固定孔281a相联通。在一个示例性实施方式中，第四固定孔287a可形成为竖直地穿过框架270。
第四固定构件287分别插入第四固定孔287a内。第四固定构件287的端部与第一固定孔281a内的第一固定构件281相接触以防止第一固定构件281从第一固定孔281a松开。第五固定孔289a形成为穿过框架270的底面270b。第五固定构件(未示出)可分别插入第五固定孔289a内。第五固定构件将框架270紧固到支撑臂(未示出)，该支撑臂用于将探测单元200固定到基座(未示出)上。在一个示例性实施方式中，另外的固定孔可形成为穿过框架270。
图23示出图18所示的第一支撑构件的第一支撑件和第二支撑件的立体图。
参照图18和图23，第一支撑构件230包括第一支撑件231和第二支撑件241。
第一支撑件231支撑每个第一探针110的第一端111a以便将第一探针110设置为彼此间隔第一间距G21。第一支撑件231放置在保持块273的第二容置凹槽277上。
在一个示例性实施方式中，第一支撑件231可包括截面为L形的梁。第一支撑件231的宽度W71可与第二容置凹槽277的第五宽度W65大致相等。
第一支撑件231具有倾斜的顶面231a。顶面231a的倾角α7可与第一探针110的第二倾角α2大致相等。
第一探针槽口235沿第二方向形成在第一支撑件231的顶面231a和第一背面231b处。第一探针槽口235沿第一方向设置。在一个示例性实施方式中，第一探针槽口235的数目可与第一探针110的数目大致相等。第一探针槽口235可设置为彼此间隔间距G71，该间距G71与第一探针110的第一间距G21大致相等。第一探针槽口235的宽度W72可与第一探针110的宽度W11大致相等。第一探针110的接触部114分别插入第一探针槽口235内。
当接触部114插入第一探针槽口235内而将第一探针110设置在第一支撑件231上时，第一探针110自动地设置为彼此间隔第一间距G21。
第一对准槽口237沿第二方向形成在第一支撑件231的顶面231a和第一背面231b处。第一对准槽口237邻近最外面的第一探针槽口235地设置。第一对准槽口237构造为与对准销(未示出)对应。
在本发明的一个示例性实施方式中，长凹槽232可沿第一方向形成在第一支撑件231的顶面231a处。此处，两排第一探针槽口235和两排第一对准槽口237可形成在第一支撑件231的顶面231a处。
用于容置每个第一探针110的第一端111a的第一结合凹槽236形成在第一支撑件231的第一背面231b处。第一结合凹槽236构造为对应于图6所示的第一探针110的第一端111a的形状。第一结合凹槽236沿第一方向形成。在一个示例性实施方式中，第一结合凹槽236的高度H71可与第一探针110的第一端111a的高度H11大致相等。
第一探针110的第一端111a插入第一结合凹槽236内。特别地，第一端111a可紧密地插入第一结合凹槽236内以阻止第一探针110沿第一方向移动。
第二支撑件241支撑每个第一探针110的第二端111b以便将第一探针110设置为彼此间隔第一间距G21。第二支撑件241放置在第一容置凹槽276内。
在本发明的一个示例性实施方式中，第二支撑件241可包括截面为L形的梁。第二支撑件241的宽度W73可与第一容置凹槽276的第二宽度W62大致相等。第二支撑件241的高度H72可与第一容置凹槽276的第一深度D62大致相等。
第二支撑件241具有平坦的顶面241a。第二探针槽口245沿第二方向形成在第二支撑件241的顶面241a处。第二探针槽口245沿第一方向设置。在一个示例性实施方式中，第二探针槽口245的数目可与第一探针110的数目大致相等。
在本发明的一个示例性实施方式中，第二探针槽口245可设置为彼此间隔间距G72，该间距G72与第一探针110的第一间距G21大致相等。第二探针槽口245的宽度W74可与第一探针110的宽度W11大致相等。第一探针110的连接部117分别插入第二探针槽口245内。
当连接部117插入第二探针槽口245内而将第一探针110设置到第二支撑件241上时，第一探针110可自动地设置为彼此间隔第一间距G21。
第二对准槽口247沿第二方向形成在第二支撑件241的顶面241a处。第二对准槽口247邻近最外面的第二探针槽口245地设置。第二对准槽口247构造为与对准销(未示出)相对应。
在本发明的一个示例性实施方式中，长凹槽242可沿第一方向形成在第二支撑件241的顶面241a处。此处，两排第二探针槽口245和两排第二对准槽口247可形成在第二支撑件241的顶面241a处。
用于容置每个第一探针110的第二端111b的第二结合凹槽246形成在第二支撑件241的正面241b处。第二结合凹槽246构造为对应于图6所示的第一探针110的第二端111b的形状。第二结合凹槽246沿第一方向形成。在一个示例性实施方式中，第二结合凹槽246的高度H73可与第一探针110的第二端111b的高度H12大致相等。
第一探针110的第二端111b插入第二结合凹槽246内。特别地，第二端111b可紧密地插入第二结合凹槽246内以阻止第一探针110沿第一方向移动。
图24示出图18所示的第二支撑构件的第三支撑件和第四支撑件的立体图。
参照图18和24，第二支撑构件250包括第三支撑件251和第四支撑件261。
第三支撑件251支撑每个第二探针120的第一端121a以便将第二探针120设置为彼此间隔第二间距G22。第三支撑件251放置在支撑块290上。
在本发明的一个示例性实施方式中，第三支撑件251可包括呈线性的梁形状。第三支撑件251的宽度W81可与框架270的第一宽度W61大致相等。
第三支撑件251具有平坦的顶面251a。第三探针槽口255沿第二方向形成在第三支撑件251的顶面251a处。第三探针槽口255沿第一方向设置。
在本发明的一个示例性实施方式中，第三探针槽口255的数目可与第二探针120的数目大致相等。第三探针槽口255可设置为彼此间隔间距G81，该间距G81与第二探针120的第二间距G22大致相等。第三探针槽口255的宽度W82可与第二探针120的宽度W21大致相等。第二探针120的接触部124可分别插入第三探针槽口255内。
当接触部124插入第三探针槽口255内而将第二探针120设置到第三支撑件251上时，第二探针120自动地设置为彼此间隔第二间距G22。
第三对准槽口257沿第二方向形成在第三支撑件251的顶面251a处。第三对准槽口257邻近最外面的第三探针槽口255地设置。第三对准槽口257构造为与对准销(未示出)相对应。
在本发明的一个示例性实施方式中，长凹槽252可沿第一方向形成在第三支撑件251的顶面251a处。此处，两排第三探针槽口255和两排第三对准槽口267可形成在第三支撑件251的顶面251a处。
与第二探针120的第一端121a相结合的第一结合杆254形成在第三支撑件251的背面251b处。如图7所示，第一结合杆254构造为对应于第二探针120的第一固定凹槽122的形状。从而，第一结合杆254沿第一方向地形成。在一个示例性实施方式中，第一结合杆254的高度H81可与第一固定凹槽122的高度H13大致相等。
第一结合杆254插入第二探针120的第一固定凹槽122内。第一结合杆254可紧密地插入第一固定凹槽122内以防止第二探针120沿第一方向移动。
卡爪256形成在第三支撑件251的底面的两边缘处。在一个示例性实施方式中，卡爪256的宽度W86可与支撑块290的宽度W85大致相等。
如上所述，第三支撑件251可通过卡爪256设置在支撑块290上。
支撑块290设置在框架270的保持块273的两侧以支撑第三支撑件251。开口295形成为竖直地穿过支撑块290。开口295包括从支撑块290的顶面290a形成的第一孔以及从第一孔的底面形成的第二孔。在此，第一孔的第一直径可大于第二孔的第二直径。从而，具有阶梯部的开口285可贯穿支撑块290地形成。
第三固定构件285插入开口295内。然后，第三固定构件285插入框架270的第三固定孔285a内。此处，第三固定构件285的头部可与开口295的阶梯部紧密接触以便将支撑块290固定到框架270。
第四支撑件261支撑每个第二探针120的第二端121b而将第二探针设置为彼此间隔第二间距G22。第四支撑件261设置在第一容置凹槽276内的第二支撑件241上。
第四支撑件261包括固定部263和支撑部266。在一个示例性实施方式中，固定部263可呈线性的梁形状。固定部263具有平坦的顶面263a。第四探针槽口265沿第二方向形成在固定部263的顶面263a处。第四探针槽口265沿第一方向设置。
在本发明的一个示例性实施方式中，第四探针槽口265的数目与第二探针120的数目大致相等。第四探针槽口265可设置为彼此间隔间距G82，该间距G82与第二探针120的第二间距G22大致相等。第四探针槽口265的宽度W84可与第二探针120的宽度W21大致相等。第二探针120的连接部127可分别插入第四探针槽口265内。
当连接部127插入第四探针槽口265内从而将第二探针120固定到固定部263上时，第二探针120可自动地设置为彼此间隔第二间距G22。
第四对准槽口267沿第二方向形成在固定部263的顶面263a处。第四对准槽口267邻近最外侧第四探针槽口265地设置。第四对准槽口267可构造为与对准销(未示出)相对应。
与第二探针120的第二端121b相结合的第二结合杆264形成在固定部263的正面263b处。如图24所示，第二结合杆264构造为对应于第二探针120的第二固定凹槽123的形状。因此，第二结合杆264沿第一方向形成。在一个示例性实施方式中，第二结合杆264的高度H82可与第二固定凹槽123的高度H14大致相等。
第二结合杆264插入第二探针120的第二固定凹槽123内。此处，第二结合杆264可紧密地插入第二固定凹槽123内以防止第二探针120沿第一方向移动。
支撑部266形成在固定部263底面的两个边缘处。支撑部266彼此对称地设置在固定部263底面的两个边缘处。支撑部266可具有相对于第一方向倾斜的侧面266a。在一个示例性实施方式中，侧面266a的斜角相对于第一方向可以为正值。第二固定构件283可与侧面266a相接触、从而沿第一方向和第三方向推压第四支撑件261。
包括有固定部263和支撑部266的第四支撑件261的宽度W83可与第一容置凹槽276的第二宽度W62大致相等。
下文将参照附图详细描述一种制造探测单元200的方法。
图25至31示出一种制造图18所示的探测单元的方法的立体图和剖视图。
参照图25和26，第一支撑件231和第二支撑件241设置在框架270上。在一个示例性实施方式中，第二支撑件241可放置在第一容置凹槽276内，而第一支撑件231设置在第二容置槽277内。此处，第一支撑件231和第二支撑件241可设置为使第一支撑件231的第一结合凹槽236和第二支撑件241的第二结合凹槽246彼此相面对。
当第一支撑件231插入第二容置凹槽277内时，第一支撑件231不会沿第一方向移动。也就是说，在第一支撑件231插入第二容置凹槽277的同时，第一支撑件231相对于第一方向的位置得以确定。第一支撑件231可与第二容置凹槽277的阶梯部273b紧密接触，从而确定第一支撑件231相对于第二方向的位置。在确定了第一支撑件231相对于第一方向和第二方向的位置后，第一支撑件231可固定在第二容置凹槽277内。
在第二支撑件241插入第一容置凹槽276的同时，第二支撑件241相对于第一方向的位置得以确定。
第一探针110设置在第一支撑件231和第二支撑件241上。此处，第一支撑件231支撑第一探针110的第一端111a，第二支撑件241支撑第一探针110的第二端111b。
参照图27，第一探针110与第一支撑件231相结合。
在本发明的一个示例性实施方式中，第一探针110的第一端111a可分别插入第一支撑件231的第一结合凹槽236内。此处，第一探针110的接触部114可位于第一支撑件231的第一探针槽口235内。第一探针110的第一端111a与第一结合凹槽236相接合。因此，第一探针110不会沿第一方向移动。
所有的第一探针110可通过上述程序与第一支撑件231相结合。因此，第一探针110的第一端111a设置为彼此间隔第一间距G21，如图19所示。
参照图28，支撑块290设置在保持块273的两侧。第三固定构件285插入框架270的第三固定孔285a内，以便将支撑块290紧固到框架270。
第三支撑件251放置在支撑块290上。然后，第四支撑件261设置在第二支撑件241上。此处，第三支撑件251和第四支撑件261设置为使第三支撑件251的第一结合杆254和第四支撑件261的第二结合杆264彼此相面对。
第三支撑件251水平移动从而使第三支撑件251紧密接触支撑块290的上阶梯部290b。因此，第三支撑件251相对于第二方向的位置得以确定。
第三支撑件251相对于第一支撑件231对准。在这种情况下，第三支撑件251的第三对准槽口257和第一支撑件231的第一对准槽口237沿第二方向对准。因而，第三支撑件251相对于第一方向的位置得以确定。
在确定了第三支撑件251相对于第一方向和第二方向的位置后，第三支撑件251固定到了支撑块290的顶面。
第四支撑件261插入第一容置凹槽276内。此处，第一容置凹槽276内的第四支撑件261不会沿第一方向移动。因此，在第四支撑件261插入第一容置凹槽276的同时，第四支撑件261沿第一方向的位置得以确定。此外，第四支撑件261的第四对准槽口267可沿第二方向与第二支撑件241的第二对准槽口247大致对准。
参照图29，第二探针120设置在第三支撑件251和第四支撑件261上。第三支撑件251支撑第二探针120的第一端121a。第四支撑件261支撑第二探针120的第二端121b。
参照图30，第二探针120固定到第三支撑件251。
在本发明的一个示例性实施方式中，第三支撑件251的第一结合杆254可插入第二探针120的第一固定凹槽122内。第二探针120不会沿第一方向移动。第二探针120的接触部124可设置在第三支撑件251的第三探针槽口255内。
所有的第二探针120都通过上述程序与第三支撑件251组装到一起。因此，第二探针120的第一端121a设置为彼此间隔第二间距G22，如图19所示。第二探针120的第一端121a设置为与第一探针110的第一端111a间隔第三间距G23，如图19所示。
参照图31，第一固定构件281、第二固定构件283及第四固定构件287插入框架270内，以便将第一探针110和第二探针120牢固地固定到框架270。
在本发明的一个示例性实施方式中，第一固定构件281可插入框架270的第一固定孔281a内。第一固定构件281的端部露出第一容置凹槽276。第一固定构件281的露出端部与第二支撑件241的背面241c相接触。第一固定构件281可使第二支撑件241沿第二方向移动，从而使第二支撑件241与第一容置凹槽276的阶梯部275b紧密地接触。第二支撑件241上的第四支撑件261可与第二支撑件241一起移动，从而，第四支撑件261也可与第一容置凹槽276的阶梯部275b相接触。因而，第一探针110可与第二支撑件241相结合，第二探针120可与第四支撑件261相结合。特别地，第一探针110的第二端111b可插入第二支撑件241的第二结合凹槽246内。此外，第四支撑件261的第二结合杆264可插入第二探针120的第二固定凹槽123内。此处，第一探针110的连接部117可位于第二支撑件241的第二探针槽口245内。第二探针120的连接部127可放置在第四支撑件261的第四探针槽口265内。
为了防止第一固定构件281从第一固定孔281a松开，可额外地将第四固定构件287插入第四固定孔287a内。第四固定构件287与第一固定构件281相接触，从而限制第一固定构件281的移动。
第二固定构件283插入框架270的第二固定孔283a内。第二固定构件283的端部露出第二容置凹槽277。第二固定构件283的露出端部与第四支撑件261的侧面相接触。第二固定构件283沿第三方向推压第四支撑件261，以便固定第二支撑件241和第四支撑件261。因此，第一探针110和第二探针120在第二方向上的斜率得以确定。
在沿第二方向上具有对齐斜度的第一探针110和第二探针120中，连接部117和127的端部大体上位于同一平面内。此外，接触部114和124的端部也大体上位于同一平面内。因此，诸如TCP的集成电路可便捷地连接到连接部117和127。接触部114和124可容易地与目标物的终端相接触。
第二固定构件283推压第四支撑件261的两个侧面，从而沿第一方向固定第四支撑件261。此处，第四支撑件261可根据第二固定构件283插入框架270的深度沿第一方向略微移动。因此，可通过略微移动第四支撑件261来使第四支撑件261的第四对准槽口267与第二支撑件241的第二对准槽口247对准。
如上所述，第一探针110和第二探针120分别固定到第一支撑构件230和第二支撑构件250，从而使得第一探针110和第二探针120不会沿第一、第二及第三方向移动。此外，第一探针110紧固到第一支撑构件230，以便设置为彼此间隔第一间距G21。第二探针120固定到第二支撑构件250，以便设置为彼此间隔第二间距G22。第一探针110设置为与第二探针120间隔第三间距G23。再者，通过第一固定构件281、第二固定构件283、第三固定构件285及第四固定构件287，第一探针110和第二探针120可分别与第一支撑构件230和第二支撑构件250便捷地分开。因此，第一探针110和第二探针120可容易地维修和更换。因而，第一支撑构件230和第二支撑构件250也可容易地维修和更换。
根据本发明的示例性实施方式，可快速、便捷、精确地设置第一探针110和第二探针120。另外，第一探针110和第二探针120可具有窄的间距，且本发明的探测单元200可容易地维修。
图32示出根据本发明的示例性实施方式的探测装置的侧视图，图33示出图32所示的探测装置的探测单元的立体图。
参照图32和33，探测装置300包括图2所示的探测单元100。因此，相同的标号指代探测单元100中的相同元件。此外，为了简要起见，此处省略了关于相同元件的进一步的说明。探测装置300包括壳体310、台架330、探测单元100及测试单元(未示出)。
壳体310对应于探测装置300的外表。壳体310具有容置台架330、探测单元100及测试单元的空间。
透明挡板315设置在壳体310的前部。透明挡板315开启和关闭壳体310。由于挡板315包括透明材料，所以可从外部穿过透明挡板315观察壳体310的内部。
台架330支撑诸如显示板的目标物301。台架330设置在壳体310内。台架330的尺寸可对应于目标物301的尺寸。例如，目标物301可具有几英寸至几百英寸范围内的尺寸。因此，台架330可具有对应于目标物301的几英寸至几百英寸范围内的尺寸。
在本发明的一个示例性实施方式中，为了减少设置台架330的空间，台架330可倾斜设置。或者，台架330可水平或竖直设置。
用于移动330的驱动单元(未示出)连接到台架330。驱动单元沿竖直方向和水平方向移动台架330。驱动单元还使台架330倾斜。驱动单元将目标物301装载到壳体310内。在测试完目标物301之后，驱动单元又将目标物301从壳体310内卸出。此处，驱动单元可包括已知的机械臂、马达、汽缸等。因此，为了简要起见，此处省略了任何关于驱动单元的进一步的说明。
探测单元100设置在围绕位于被移动到测试位置的台架330上的目标物301的周边区域中。探测单元100安装到板325，该板352固定到壳体310的内壁。在一个示例性实施方式中，探测单元100可通过保持器320安装到板325上。
保持器320将探测单元100紧固到板325。保持器320支撑探测单元100，以便使第一探针110和第二探针120指向目标物301。
多个保持器320可安装到板325上。因此，多个探测单元100可分别通过保持器320保持住。保持器320和探测单元100的数目可根据目标物301的终端�？�305的数目确定。
目标物301具有终端�？�305。终端模块305具有多个终端306。终端306设置为彼此间隔均匀的间距。例如，终端306之间的间距可小于大约25微米。
第一探针110和第二探针120与终端306相接触。为了使第一探针110和第二探针120与终端306精确地接触，第一探针110和第二探针120之间的间距可大体上等于终端306之间的间距。
如上所述，第一探针110和第二探针120之间的间距可变地调节。因此，不管终端306之间的间距是多少，示例性实施方式的探测装置300都能够对目标物301进行测试。
探测单元100电连接到测试单元。测试单元通过诸如TCP的电路板电连接到探测单元100。测试单元为第一探针110和第二探针120提供电信号，以便检查目标物301是否正常运行。此处，由于测试单元对于本领域的技术人员来说是已知的，所以此处不再赘述关于测试单元的进一步的说明。
在本发明的一个示例性实施方式中，探测单元100具有第一探针110和第二探针120。或者，虽然图中没有绘出，但是探测单元100可具有单一探针。例如，单一型探测单元100可包括第一探针110或第二探针120。此外，探测单元100可包括三种探针。例如，探测单元100可包括除第一探针110和第二探针120之外的第三探针。
虽然图中没有示出上述各种示例性实施方式，但是本领域的技术人员很容易便能理解上述各种示例性实施方式。
根据本发明，探针可小间距地设置。此外，很容易便能调节探针之间的间距。因此，不论终端之间的间距是多少，均可用探测单元精确地测试目标物。再者，探测单元可快速和容易地制造及修理。因而，可通过所述探测单元有效地测试具有高负载和高集成度的目标物。
上述是对本发明的解说，其不构成对本发明的限制。虽然已经描述了本发明的几个示例性实施方式，但是本领域的技术人员容易理解的是在实质上没有偏离本发明的新颖性教导和优点的情况下，可以做出该示例性实施方式的许多改型。相应地，所有诸如此类的改型将包括在本发明如权利要求所确定的保护范围之内。在权利要求中，装置加功能的语句意在覆盖执行此处所述功能的所有结构，不只是结构等价还包括等价的结构。因此，应当理解的是，上述只是对本发明的解说，不能理解为本发明仅限于所披露的具体实施方式
，所附的权利要求的保护范围意在包括所披露的特定实施方式及其变型和其他的实施方式。本发明由下面的权利要求确定，同时包括了等同的权利要求。
权利要求
1.一种探测单元，包括第一探针，其沿第一方向设置；第二探针，其沿所述第一方向设置在所述第一探针上方并介于所述第一探针之间；第一支撑构件，其用于支撑每个所述第一探针的两端；第二支撑构件，其设置在所述第一支撑构件上以支撑每个所述第二探针的两端；框架，其用于支撑所述第一支撑构件和所述第二支撑构件；第一固定构件，其用于将所述第一支撑构件和所述第二支撑构件固定到所述框架、从而使所述第一支撑构件和所述第二支撑构件沿着与所述第一方向相对的第二方向设置；以及第二固定构件，其用于将所述第一支撑构件和所述第二支撑构件固定到所述框架、从而使所述第一支撑构件和所述第二支撑构件沿着与所述第一方向和所述第二方向相对的第三方向设置。
2.如权利要求1所述的探测单元，其中，所述第一支撑构件包括第一支撑件，所述第一支撑件用于支撑每个所述第一探针的第一端；以及第二支撑件，所述第二支撑件用于支撑每个所述第一探针的与所述第一端相对的第二端，并且所述第二支撑构件包括第三支撑件，所述第三支撑件设置在所述第一支撑件上以支撑每个所述第二探针的第一端；以及第四支撑件，其设置在所述第二支撑件上以支撑每个所述第二探针的与该第一端相对的第二端。
3.如权利要求2所述的探测单元，其中，用于容置每个所述第一探针的所述第一端的第一探针槽口形成在所述第一支撑件的表面处，用于容置每个所述第一探针的所述第二端的第二探针槽口形成在所述第二支撑件的表面处，用于容置每个所述第二探针的所述第一端的第三探针槽口形成在所述第三支撑件的表面处，并且用于容置每个所述第二探针的所述第二端的第四探针槽口形成在所述第四支撑件的表面处。
4.如权利要求2所述的探测单元，其中，容置凹槽形成在所述框架的表面处，所述容置凹槽的宽度窄于所述框架的宽度并且所述容置凹槽朝所述第一方向和所述第二方向开口，并且沿所述第二方向的朝上阶梯部形成在所述容置凹槽的底面处。
5.如权利要求4所述的探测单元，其中，所述容置凹槽的所述底面包括第一基面、位于所述第一基面上的第二基面、以及位于所述第二基面上的第三基面，并且所述框架进一步包括设置在所述第二基面和所述第三基面之间以保持住所述第一支撑件的保持块，所述保持块的宽度窄于所述容置凹槽的宽度。
6.如权利要求5所述的探测单元，其中，所述框架进一步包括设置在所述保持块的两侧以支撑所述第三支撑件的两端的支撑块。
7.如权利要求6所述的探测单元，其中进一步包括固定到所述框架并与所述支撑块的背面相接触的第三固定构件，所述第三固定构件使所述支撑块与所述第二基面和所述第三基面的交界面紧密地接触。
8.如权利要求7所述的探测单元，其中，相对于所述第一方向倾斜的固定孔形成在所述框架的两个侧面处，并且所述第三固定构件分别插入所述固定孔内。
9.如权利要求8所述的探测单元，其中，与所述第三固定构件相接触的所述支撑块的背面是倾斜的。
10.如权利要求6所述的探测单元，其中进一步包括固定到所述框架并与所述第三支撑件的两个侧面相接触的第三固定构件，所述第三固定构件使位于所述支撑块上的所述第三支撑件沿所述第一方向略微移动。
11.如权利要求5所述的探测单元，其中，所述第二支撑件设置在所述第一基面上，并且所述第四支撑件设置在所述第二支撑件上。
12.如权利要求2所述的探测单元，其中，用于容置所述第一探针的所述第一端的第一结合凹槽沿所述第一方向形成在所述第一支撑件的背面处，并且用于容置所述第一探针的所述第二端的第二结合凹槽沿所述第一方向形成在所述第二支撑件的与所述第一支撑件的背面相面对的正面处。
13.如权利要求2所述的探测单元，其中，所述第三支撑件包括结合杆，所述结合杆沿所述第一方向形成在所述第三支撑件的背面处以容置所述第二探针的所述第一端。
14.如权利要求13所述的探测单元，其中，用于容置所述结合杆的固定凹槽形成在每个所述第二探针的一端处。
15.如权利要求2所述的探测单元，其中，所述第四支撑件包括结合杆，所述结合杆沿第一方向形成在所述第四支撑件的正面处以容置所述第二探针的所述第二端。
16.如权利要求15所述的探测单元，其中，用于容置所述结合杆的固定凹槽形成在每个所述第二探针的另一端处。
17.如权利要求2所述的探测单元，其中，所述框架的顶面包括第一基面及高于所述第一基面的第二基面，并且所述框架进一步包括设置在所述第一基面上以保持住所述第一支撑件的保持块，所述保持块的宽度窄于所述框架的宽度。
18.如权利要求17所述的探测单元，其中，所述框架进一步包括设置在所述保持块的两侧以支撑所述第三支撑件的两端的支撑块。
19.如权利要求18所述的探测单元，其中进一步包括用于将所述支撑块固定到所述框架的第三固定构件。
20.如权利要求18所述的探测单元，其中，对应于所述第三支撑件下部的阶梯部形成在每个所述支撑块的表面处。
21.如权利要求17所述的探测单元，其中，容置凹槽形成在所述第二基面的表面处，所述容置凹槽的宽度窄于所述框架的宽度，并且所述容置凹槽朝所述第一方向和所述第二方向开口以容置所述第二支撑件和所述第四支撑件。
22.如权利要求2所述的探测单元，其中，相对于所述第一方向倾斜的固定孔形成在所述框架的两个侧面处，并且所述第一固定构件分别插入所述固定孔内并与所述第二支撑件的背面相接触。
23.如权利要求2所述的探测单元，其中，固定孔沿所述第一方向形成在所述框架的两个侧面处，并且第二固定构件分别插入所述固定孔内并与所述第四支撑件的两个侧面相接触。
24.如权利要求23所述的探测单元，其中，所述第四支撑件的所述背面是倾斜的。
25.如权利要求2所述的探测单元，其中，相对于所述第三方向倾斜的固定孔形成在所述框架的两个侧面处，并且所述第二固定构件分别插入所述固定孔内并与所述第四支撑件的两个侧面相接触。
26.如权利要求2所述的探测单元，其中，用于使所述第一支撑件、所述第二支撑件、所述第三支撑件以及所述第四支撑件相对于所述第二方向对准的对准槽口形成在所述第一支撑件、所述第二支撑件、所述第三支撑件以及所述第四支撑件的表面上。
27.如权利要求2所述的探测单元，其中，所述第一支撑件或所述第二支撑件以可移动方式设置在所述框架上，从而将所述第一探针紧固在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间。
28.如权利要求2所述的探测单元，其中，所述第三支撑件或所述第四支撑件以可移动方式设置在所述框架上，从而将所述第二探针紧固在所述第三支撑件和所述第四支撑件之间。
29.如权利要求1所述的探测单元，其中，每个所述第一探针包括本体部，其具有沿所述第一方向的宽度和大于所述宽度的、沿所述第二方向的长度；朝上倾斜的接触部，其从所述本体部的一个顶端延伸；以及连接部，其从所述本体部的另一顶端竖向延伸并且沿直角方向弯曲，所述连接部具有朝上弯曲的顶端。
30.如权利要求1所述的探测单元，其中，每个所述第二探针包括本体部，其具有沿所述第一方向的宽度和大于所述宽度的、沿所述第二方向的长度；接触部，其沿与所述本体部的长度方向大致相同的方向从所述本体部的一端延伸，所述接触部具有朝上弯曲的顶端；以及连接部，其沿与所述本体部的长度方向大致相同的方向从所述本体部的另一端延伸，所述连接部具有朝上弯曲的顶端。
31.如权利要求1所述的探测单元，其中进一步包括第三固定构件，该第三固定构件沿所述第三方向插入所述框架内并与插入所述框架内的所述第一固定构件相接触。
32.用于测试平面显示板的探测单元，包括沿第一方向设置的探针，所述探针与所述平面显示板的电路终端相接触以便将测试设备的电信号传输给所述平面显示板；至少两个支撑件，其用于支撑每个所述探针的两端；以及框架，其用于支撑所述支撑件，其中，任一所述支撑件都朝其他支撑件地以可移动方式设置在所述框架的底面处，从而将所述探针固定在所述支撑件之间。
33.如权利要求32所述的探测单元，进一步包括第一固定构件，其用于将所述支撑件固定到所述框架上、从而使所述支撑件沿与所述第一方向相对的第二方向设置；以及第二固定构件，其用于将所述支撑件固定到所述框架上、从而使所述支撑件沿与所述第一方向和所述第二方向相对的第三方向设置。
34.一种探测装置，包括壳体，其用于容置目标物；台架，其设置在所述壳体内以保持住所述目标物；探测单元，其邻近位于所述台架上的所述目标物地设置，所述探测单元包括i)第一探针，其沿第一方向设置，ii)第二探针，其沿所述第一方向设置在所述第一探针上方并介于所述第一探针之间，iii)第一支撑构件，其用于支撑每个所述第一探针的两端，iv)第二支撑构件，其设置在所述第一支撑构件上以支撑每个所述第二探针的两端，v)框架，其用于支撑所述第一支撑构件和所述第二支撑构件，vi)第一固定构件，其用于将所述第一支撑构件和所述第二支撑构件固定到所述框架上、从而使所述第一支撑构件和所述第二支撑构件沿着与所述第一方向相对的第二方向设置，以及vii)第二固定构件，其用于将所述第一支撑构件和所述第二支撑构件固定到所述框架上、从而使所述第一支撑构件和所述第二支撑构件沿着与所述第一方向和所述第二方向相对的第三方向设置；以及测试单元，其用于给所述第一探针和所述第二探针提供电信号以检查所述目标物是否正常。
全文摘要
一种探测单元，其包括沿第一方向设置的第一探针；沿第一方向设置在该第一探针上方并介于该第一探针之间的第二探针；用于支撑该第一探针的两端的第一支撑构件；设置在该第一支撑构件上以支撑该第二探针的两端的第二支撑构件；用于支撑该第一探针和该第二探针的框架；用于将该第一支撑构件和该第二支撑构件固定到该框架上、从而使该第一支撑构件和该第二支撑构件沿与第一方向大致垂直的第二方向设置的第一固定构件；以及用于将该第一支撑构件和该第二支撑构件固定到该框架上、从而使该第一支撑构件和该第二支撑构件沿与第一方向和第二方向大致垂直的第三方向设置的第二固定构件。
文档编号G01R31/00GK101071141SQ20071009760
公开日2007年11月14日申请日期2007年4月20日优先权日2006年5月9日
发明者申东沅, 金昔中申请人:飞而康公司

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探测单元及具有该探测单元的探测装置的制作方法