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具有跳线结构的探针卡的制作方法【专利摘要】本实用新型提供一种具有跳线结构的探针卡，包括：基板，设置于所述基板上的探针，设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应连接的金手指，以及设置于所述金手指上的测试连接点，还包括第一跳线和第二跳线，所述第一跳线和第二跳线分别与不同的两根所述金手指连接，本实用新型使得传统的探针卡无需更改现有两端结构的设计，也无需重新做光罩，就能实现四端测量法对电阻量测具有较高准确性和重复性的优点，从而大大节约了制作探针卡的成本。【专利说明】具有跳线结构的?米针卡【
技术领域：
】[0001]本实用新型涉及半导体测试装置，尤其涉及一种具有跳变结构的探针卡。【
背景技术：
】[0002]探针卡是一种测试工具，主要对裸芯进行测试，连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。半导体业界通过探针卡对常用的电阻进行测量的方法主要有两端测量法和Kelvin(开尔文)四端测量法:[0003]如图1所示，两端测量法对测试结构R的量测简单快捷，只需要两个量测单元(分别为SMUl和GND)，其缺点是连接量测单元的电缆的电压差计入了系统内部压降而造成测量误差，使测量结果不真实，在需要高精确性小阻值量测时有一点局限性。[0004]如图2所示，Kelvin四端测量法需要四个量测单元(分别为SMU1、SMU2、SMU3和GND),Kelvin四端测量法能够准确量测到测试结构R两端的电压差，具有较高量测准确性，但是测试结构R在版图布局时需设计四端，每一端分别连出到测试结构R的一个焊盘上，再通过测试结构R上的四个焊盘分别连出到四个量测单元上。[0005]目前很多现有产品随着先进工艺的发展而引入一些具有阻值很小的特殊金属互连层(UTM，RDL,TSV等)，然而传统后端工艺与金属层电阻的相关性都比较大。由于探针卡对具有特殊金属互连层的芯片进行晶片验收测试(WaferAcceptableTest,WAT)的测试结构以及进行可靠性测试的测试结构仍然使用两端结构设计方法，所以只能使用两端测量法。如果使用两端测量法测试其电阻，由于系统寄生的阻值，其结果的准确性和重复性都比较差。[0006]此外，很多现有的相关结构也都是沿用传统的两端连出设计，全部更改为四端连出设计需要重新生产光罩，产生的费用很高。
实用新型内容[0007]本实用新型的目的在于提供一种具有跳线结构的探针卡，使得传统的探针卡无需更改现有两端结构的设计，也无需重新做出光罩，就能实现四端测量法对电阻量测具有较高准确性和重复性的优点。[0008]为了解决上述问题，本实用新型提供一种具有跳线结构的探针卡，包括:基板，设置于所述基板上的探针，设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应连接的金手指，以及设置于所述金手指上的测试连接点，还包括第一跳线和第二跳线，所述第一跳线和第二跳线分别与不同的两根所述金手指连接。[0009]进一步的，每个所述金手指上设置有两个测试连接点，其中一个测试连接点用于接入信号，其中另一个测试连接点用于输出信号。[0010]进一步的，所述第一跳线和第二跳线分别均为插入拔出式跳线，所述第一跳线和第二跳线均通过插入于所述金手指上的一测试连接点与所述金手指连接。[0011]进一步的，将所述第一跳线连接的一根金手指对应连接的探针，与一测试结构的一端上设置的焊盘连接，将所述第二跳线连接的一根金手指对应连接的探针，与所述测试结构的另一端上设置的焊盘连接。[0012]进一步的，所述第一跳线和第二跳线均为具有导电性的金属材料所制成的跳线。[0013]进一步的，所述基板的形状为圆形。[0014]进一步的，所述探针位于所述基板的中央，所述探针连接点围绕所述探针呈圆形排列，所述金手指与所述探针连接点对应呈圆形排列。[0015]进一步的，所述基板上还设置有接地连接点。[0016]进一步的，所述基板上还设置有卡持机构。[0017]进一步的，所述探针的个数为20?40个。[0018]与现有技术相比，本实用新型公开的具有跳线结构的探针卡，包括:基板，设置于所述基板上的探针，设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应连接的金手指，以及设置于所述金手指上的测试连接点，还包括第一跳线和第二跳线，所述第一跳线和第二跳线分别与不同的两根所述金手指连接，由于通过对传统探针卡的跳线设计，使得传统的探针卡无需更改现有两端结构的设计，也无需重新做出光罩，就能解决传统的探针卡采用两端测量法量测电阻而无法消除系统寄生阻值的缺点，并能实现四端测量法对电阻量测具有较高准确性和重复性的优点。并且，本实用新型公开的具有跳线结构的探针卡也没要求增加测试的硬件配置和成本，在IC制造中对制造成本控制具有相当大的重要贡献。【专利附图】【附图说明】[0019]图1为传统探针卡对电阻进行两端测量法的结构示意图；[0020]图2为传统探针卡对电阻进行四端测量法的结构示意图；[0021]图3为本实用新型一实施例中具有跳线结构的探针卡的结构示意图；[0022]图4为本实用新型一实施例中具有跳线结构的探针卡对电阻进行四端量测法的结构示意图；[0023]图5为本实用新型一实施例中具有跳线结构的探针卡降低两端量测法误差的结果比较示意图。【具体实施方式】[0024]为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】做详细的说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。[0025]其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实施时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。[0026]为了解决上述问题，本实用新型一实施例中提供一种具有跳线结构的探针卡的结构示意图，请参考图3，包括基板101，设置于所述基板101上的探针103、设置于所述基板101上与所述探针103通过所述基板101内电路相连的探针连接点105，设置于所述基板101上与所述探针连接点105对应连接的金手指107，以及设置于金手指107上的测试连接点109，所述具体跳线结构的探针卡还包括第一跳线Illa和第二跳线111b，所述第一跳线Illa和所述第二跳线Illb分别与不同的两根所述金手指107连接。[0027]在本实用新型中，通过在传统探针卡上增加跳线设计，使得传统的探针卡无需更改现有两端结构的设计，也无需重新做出光罩，就能对常用电阻实现四端量测法，从而解决了传统的探针卡采用两端测量法量测电阻而无法消除系统寄生阻值的缺点，并能实现四端测量法对电阻量测具有较高准确性和重复性的优点。并且，本实用新型公开的具有跳线结构的探针卡也没要求增加测试的硬件配置和成本，在IC制造中对制造成本控制具有相当大的重要贡献。[0028]本实施例中的所述第一跳线Illa和第二跳线Illb并不局限于一种探针卡，还可增加到使用于任何两端结构设计的探针卡，例如还可以为其他形式的探针卡。[0029]进一步的，所述第一跳线Illa和第二跳线Illb均为具有导电性的金属材料所制成的跳线，其目的在于所述第一跳线Illa和第二跳线Illb均将其连接的金手指进行电学连接，从而使分别与所述第一跳线Illa和第二跳线Illb连接的金手指对应连接的探针也进行电学连接。[0030]进一步的，所述金手指107的一端通过导线与对应的探针连接点105相连，所述金手指107的另一端设有两个测试连接点109，在测试过程中，两个测试连接点109均与一测试机台信号相连，例如，其中一个测试连接点109a用于接入信号，其中另一个测试连接点10%用于输出信号，从而将晶片Module上待测的测试结构微小的测试点转移到的面积较大的探针卡上，从而便于测量。[0031]具体的，所述第一跳线Illa和第二跳线11Ib均为插入拔出式跳线，即所述第一跳线Illa和第二跳线Illb均通过其两端设有的一插拔端，分别插入两根不同的所述金手指107上的一测试连接点中并与所述金手指107连接，例如，所述第一跳线Illa的一插拨端插入编号为10的所述金手指107上的一个测试连接点109a中，所述第一跳线Illa的另一插拨端插入编号为11的所述金手指107上的另一个测试连接点10%中；所述第二跳线Illb的一插拨端插入编号为38的所述金手指107上的一个测试连接点109a中，所述第二跳线Illb的另一插拨端插入编号为39的所述金手指107上的另一个测试连接点109b中，从而在传统的探针卡上通过增加插入拔出式跳线对常用电阻实现四端量测法，而从所述金手指107上的测试连接点所拔出的所述第一跳线Illa和第二跳线11Ib还可循环运用，不会造成浪费，节约成本。[0032]在本实施例中，所述第一跳线Illa并不局限于插入编号为10和11的金手指107上，所述第二跳线Illb也并不局限于插入编号为38和39的金手指107上，可以根据测试结构的不同类型和要求，所述第一跳线Illa和第二跳线Illb可插入到使用于任何两端结构设计的探针卡上设置的两个不同的金手指上，例如所述第一跳线Illa可以插入编号为20和30的金手指上，所述第二跳线Illb可以插入编号为22和28的金手指上。[0033]在本实施例中，所述第一跳线Illa分别连接编号为10和11的金手指107，选择将所述第一跳线Illa所连接的一根金手指107对应连接的探针，与晶片(晶片上设置有焊盘Pad，焊盘的个数为1-η，η为自然数)上待测的所述测试结构的一端上设置的焊盘Pad(焊盘用于将探针与测试结构进行连接)连接；所述第二跳线Illb分别连接编号为38和39的金手指107，选择将所述第二跳线Illb所连接的一根金手指107对应连接的探针，与晶片上待测的所述测试结构的另一端上设置的焊盘Pad连接，如图4所示。[0034]进一步的，在本实施例中，所述基板101的形状为圆形，与所述晶片大小相同，与晶片大小相同便于对晶片进行测试；所述探针103位于所述基板101的中央，所述探针连接点105围绕所述探针103呈圆形排列，所述探针连接点105通过基板101内的电路域探针103相连，所述金手指107与所述探针连接点105对应，所述金手指107呈圆形排列；所述基板101上还设置有接地连接点113，所述接地连接点113与测试机台上的接地连接点相连，防止探针卡发生漏电；所述基板101上还设置有卡持机构115，在测试过程中所述探针卡通过卡持机构115被固定在所述测试机台上。[0035]在本实施例中，所述探针103的个数为20?40个，分别为Pinl、Pin2、......、Pin(N-1)、PinN,N为自然数，具体地，与切割道上面的测试键的个数相等，所述探针连接点105的个数多于探针103的个数，例如为30、48等，便于当基板101内部某个电路出现故障导致对应探针连接点无法使用时，更换至另一探针连接点即可继续使用，从而延长探针卡的使用寿命，所述金手指107与所述探针连接点105相对应，个数相同。[0036]本实用新型所述具有跳线结构的探针卡的使用过程的一实施例为:在进行测试前，首先选择将所述第一跳线Illa插入到编号为10和11的金手指107上的测试连接点109a中，将所第二述跳线Illb插入到编号为38和39的金手指107上的测试连接点109a中，将所述编号为10和11的金手指107上的测试连接点109与测试机台连接；将所述编号为11的金手指和编号为38的金手指对应连接的探针，同时接触测试样品上待测的测试结构的测试点；通过所述测试机台向所述测试结构施加预设定信号，例如电压和/或电流信号等。在本实施例中，与编号为11和38的金手指分别对应连接的探针两端施加恒定电流，与编号为10和39的金手指分别对应连接的探针两端进行电压差量测，从而测得本实用新型所述具有跳线结构的探针卡在各个预设信号下的量测结果，如图5所示，与传统探针卡的两端量测法相比，消除了传统探针卡的两端量测法由于系统内寄生的电阻对测试结果的影响，测量结果准确而且稳定，重复性结果更胜一筹。[0037]虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属【
技术领域：
】中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。【权利要求】1.一种具有跳线结构的探针卡，包括:基板，设置于所述基板上的探针，设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应连接的金手指，以及设置于所述金手指上的测试连接点，其特征在于，还包括第一跳线和第二跳线，所述第一跳线和第二跳线分别与不同的两根所述金手指连接。2.如权利要求1所述的具有跳线结构的探针卡，其特征在于，每个所述金手指上设置有两个测试连接点，其中一个测试连接点用于接入信号，其中另一个测试连接点用于输出信号。3.如权利要求2所述的具有跳线结构的探针卡，其特征在于，所述第一跳线和第二跳线分别均为插入拔出式跳线，所述第一跳线和第二跳线均通过插入于所述金手指上的一测试连接点与所述金手指连接。4.如权利要求3所述的具有跳线结构的探针卡，其特征在于，将所述第一跳线连接的一根金手指对应连接的探针，与一测试结构的一端上设置的焊盘连接，将所述第二跳线连接的一根金手指对应连接的探针，与所述测试结构的另一端上设置的焊盘连接。5.如权利要求1所述的具有跳线结构的探针卡，其特征在于，所述第一跳线和第二跳线均为具有导电性的金属材料所制成的跳线。6.如权利要求1所述的具有跳线结构的探针卡，其特征在于，所述基板的形状为圆形。7.如权利要求6所述的具有跳线结构的探针卡，其特征在于，所述探针位于所述基板的中央，所述探针连接点围绕所述探针呈圆形排列，所述金手指与所述探针连接点对应呈圆形排列。8.如权利要求1所述的具有跳线结构的探针卡，其特征在于，所述基板上还设置有接地连接点。9.如权利要求1所述的具有跳线结构的探针卡，其特征在于，所述基板上还设置有卡持机构。10.如权利要求1所述的具有跳线结构的探针卡，其特征在于，所述探针的个数为20?40个。【文档编号】G01R1/073GK203720217SQ201420019580【公开日】2014年7月16日申请日期:2014年1月13日优先权日:2014年1月13日【发明者】王笃林申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司