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专利名称：一种石英挠性加速度计的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种新结构石英挠性加速度计，尤其是适用于高精度石英挠性加速度计。
背景技术：
石英挠性加速度计是一种差动电容式闭环高精度的传感器，石英摆片是该型加速度计的关键部件，力矩器与石英摆片的对接面平面度和平行度的好坏直接影响传感器的性能。目前，石英挠性加速度计形成平板电容的凸台均采用设计在石英摆片的设计结构，石英摆片加工采用特种工艺(切割和腐蚀)，凸台高度(一般为O. 012毫米左右)、平面度及平行度很难保证，合格率很低，制约了该型加速度计的综合性能的提高
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种新结构石英挠性加速度计，克服石英摆片切割腐蚀安装面平面度及平行度难以保证的缺陷。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种新结构石英挠性加速度计，包括形成平板电容的两个凸台，其特征在于，所述两个凸台分别加工在上、下轭铁上，用来代替石英摆片上的凸台。本实用新型的有益效果是凸台设计在上、下轭铁上可以通过机械加工和研磨实现，更容易保证平面度和平行度，避免了凸台设计在石英摆片上凸台高度、平面度及平行度难以保证的问题。
以下结合附图
和具体实施方式
对本实用新型的技术方案作进一步具体说明。图I是现有结构的装配示意图。图2是本实用新型具体实施方式
的装配示意图。图中I-上轭铁，2-石英摆片，3-下轭铁，4-凸台。
具体实施方式
如图I所示，上轭铁I、下轭铁3之间是石英摆片2，在石英摆片2上蚀刻出形成平板电容的两个凸台4。如图2所示，石英摆片2的宽度相比图I的石英摆片减少。两个凸台4分别通过机械加工和研磨加工在上、下轭铁1、3上，用来代替石英摆片上的凸台，更容易保证平面度和平行度，避免了凸台设计在石英摆片上凸台高度、平面度及平行度难以保证的问题。最后所应说明的是，以上具体实施方式
仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范 围当中。
权利要求1.一种石英挠性加速度计，包括形成平板电容的两个凸台，其特征在于，所述两个凸台分别加工在上、下轭铁上。
专利摘要本实用新型提供一种新结构石英挠性加速度计，包括形成平板电容的两个凸台，其特征在于，所述两个凸台分别加工在上、下轭铁上，用来代替石英摆片上的凸台。本实用新型的凸台设计在上、下轭铁上，可以通过机械加工和研磨实现，更容易保证平面度和平行度，避免了凸台设计在石英摆片上凸台高度、平面度及平行度难以保证的问题。
文档编号G01P15/125GK202720240SQ20122034112
公开日2013年2月6日 申请日期2012年7月13日 优先权日2012年7月13日
发明者林凤有, 段友明 申请人:湖北三江航天红峰控制有限公司