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高可靠性的高电压开关的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种高可靠性的高电压可电子控制的开关，所述开关由具有不同特性的不同类型的继电器的组合形成，例如机电式继电器和光电继电器。所述继电器根据一定的序列闭合和/或打开，所述序列避免在降低所述机电式继电器使用寿命的条件下致动此类复合开关的机电式继电器使之闭合或打开，即使所述复合开关在高电压条件下热切换也是如此。所述切换序列以处于提供低导通电阻、低串扰、低电容和/或低泄漏的状态的所述继电器结束。所述开关可为相对紧凑的，从而允许构造用作自动测试系统的开关矩阵的仪器。
【专利说明】
高可靠性的高电压开关

【背景技术】
[0001]电子部件(例如半导体器件)在其制造过程中经常使用自动测试设备进行测试，有时进行多次测试。为了进行这些测试，自动测试设备可包括产生或测量测试信号的仪器，使得可在特定器件上测试一系列操作条件。仪器可产生或测量数字信号的模式以允许在半导体器件内测试数字逻辑。其他仪器可产生高频模拟信号，而另一些可产生任意形状的波形。一些仪器还可产生或测量相对较高的电压，以用于测试器件的高电压部分或用于向待测器件供电。
[0002]为了支持多种类型器件的测试，或者为了支持在相同类型的器件上运行多个测试，可配置自动测试系统，以便不同的仪器可在不同的时间耦合至不同的测试点。测试系统可包括开关矩阵，其允许将多个仪器中的任一个切换到多个测试点中的任一个。
[0003]对于低电压信号，不论是模拟信号还是数字信号，开关矩阵可用簧片继电器来实施。簧片继电器是机电式继电器，当断开时其提供低导通电阻和低泄漏电流。对于较高的电压，也可使用机电式继电器。然而，在机电式继电器中较高电压信号的切换可产生可靠性问题，而用较低电压信号则不会产生该问题。作为一个例子，切换高电压的机电式继电器可能会“粘住”，使得其在操作一段时间之后存在开启可靠性问题。
[0004]用于切换高电压的机电式继电器的接触电阻还可能不可预见地变化。对于测试系统而言，接触电阻的变化可能尤其是成问题的，因为甚至I欧姆的接触电阻的变化就可改变测试结果。例如，继电器可被设计用于大约50毫欧的标称接触电阻。作为预期的导通电阻的百分比，I欧姆的变化将是显著的。在自动测试系统中，继电器可在单个器件的测试过程中多次切换到不同的配置中，并且一天可测试数千个器件。因此，如果继电器在甚至数万次的切换之后发生故障，则继电器将在使用非常短的时间之后发生故障。
[0005]过去，水银可润湿开关有时用于降低较高电压信号的可靠性问题。这些开关包含水银，其可用于快速且可靠地闭合继电器而没有电弧放电。水银润湿的开关比干切换继电器具有显著更长的寿命。然而，最近水银开关已经变成不受喜爱的，因为它们不适用于现在的测试系统，现在的测试系统被设计成允许在多个取向上设置测试头。因为水银开关是位置敏感的，所以如果测试头被移动至开关不工作的位置，则测试系统可能不按预期运行。此夕卜，由于环境问题水银开关在某些位置可能是被禁止的。
[0006]因此，一些测试系统使用“干燥的”机电式继电器，即使对于高电压信号也是如此。可建议此类测试系统的所有者不重新配置该测试系统，以便使继电器在高电压通过其时切换。有时称为“热切换”的此类切换可导致继电器在相对较少循环次数后发生故障。
[0007]热切换可用于自动测试系统和其他应用。对于测试半导体器件，测试系统的通过量是制造设施中效率的重要贡献者。热切换允许测试系统在测试工作中从一个阶段迅速移动至另一阶段，从而提高通过量。为了解决热切换的可靠性问题，自动测试仪器的一些用户已经建立了测试系统接口板，其包括在热切换时不易损坏的相对较大的继电器。此外，这些继电器可安装在插座中，使得如果发生故障，则继电器可易于更换。
[0008]使用机电式开关的替代形式包括使用固态继电器，例如光电继电器。然而，固态继电器具有比簧片继电器更高的导通电阻。对于包括自动测试系统的一些应用，高的导通电阻是不可取的。此外，固态开关可产生串扰，其可妨碍测试操作。
[0009]用于避免对热切换的需要的另外的替代形式是配置测试系统以避免对切换高电压仪器的需要。可提供足够数量的高电压仪器使得接收高电压信号的每个测试点均可具有至仪器的专属连接。然而，该方法可能是昂贵的。


【发明内容】

[0010]通过复合开关提供高电压的可靠切换，所述复合开关包括机电式开关器件和固态开关器件。在跨越机电式开关器件的端子存在潜在的损坏性电压时，要打开或闭合复合开关，根据避免致动机电式开关器件的序列来控制单独的开关器件。致动复合开关的组成开关器件的顺序可取决于复合开关是打开的还是闭合的，从而允许机电式开关器件在打开序列和闭合序列中与潜在的损坏性电压隔离。
[0011]在一些实施例中，固态开关器件和机电式开关器件可被配置并控制为复合开关，使得在闭路循环中，机电式开关器件闭合而固态开关处于高电阻状态。可连接这些部件使得其在复合开关的端子之间形成分压器。因此，跨越复合开关端子的任何电压跨越固态开关的较高电阻分布，从而使机电式开关器件与高电压隔离。在打开序列中，切换序列可以反向使得机电式开关器件也被致动，同时通过固态开关器件与高于阈值的电压隔离。
[0012]在一些实施例中，固态开关器件和机电式开关器件可被配置并控制为复合开关，使得在闭路循环中，机电式开关器件闭合，同时闭合固态开关器件，从而完成提供低电压降的跨越机电式开关器件端子的连接。
[0013]在一些实施例中，一个或多个机电式开关器件可与两个或多个固态开关器件联合使用。这些固态开关器件可具有不同的电性能参数。一个固态开关器件可具有低导通电阻以用于完成跨越机电式开关器件端子的连接。另一个隔离机电式开关器件的固态开关器件可具有低的断开电容。具有低的断开电容的固态开关器件可使机电式开关器件与高于阈值的电压隔离，所述阈值与可靠性的降低相关，即使跨越复合开关的热切换电压是交流电压或包括瞬态分量也是如此。
[0014]开关器件的各种配置可用于形成复合开关。对于打开状态中的低泄漏，机电式开关器件可与固态开关器件串联。对于复合开关的低导通电阻，机电式开关器件可与固态开关器件并联。对于低导通电阻和低泄漏，复合开关可包括多个机电式开关器件，从而提供与固态切换元件串联的通路并分流固态切换元件。
[0015]在一些实施例中，多个固态开关器件可用于复合开关中。固态开关器件可具有不同的特性，并且可以使得在不同时间致动不同的固态开关器件的序列来控制。在一些具体实施例中，在复合开关中可采用至少两个固态开关器件。一个器件可具有较低的电容，但较高的电阻。其他可具有较低的电阻，但较高的电容。这些部件可被配置并被操作，使得不管是电阻分压器还是电容分压器均由固态开关器件在致动复合开关的过程中的任何时间形成，跨越任何机电式开关器件的电压在机电式开关器件打开或闭合时是相对低的。
[0016]在一些实施例中，机电式开关器件可为簧片继电器。此类部件可提供低导通电阻和高隔离度，并且可不含水银。此类部件还可提供低串扰。复合开关可被配置成使得在闭合状态和/或打开状态下，一个或多个机电式开关器件(例如簧片继电器)的性能控制复合开关的性能。然而，在致动复合开关的过程中通过接合固态切换元件以使机电式开关器件与跨越复合开关端子的全电压隔离，从而保护敏感的机电式开关器件(例如簧片继电器)免受损坏。这样，即使对于热切换情况也可获得所需的切换性能。
[0017]根据一些实施例，复合开关提供良好的隔离度、低泄漏、低串扰和低电容。此类开关器件非常适用于自动测试系统。包括多个此类复合开关的交叉点开关可被配置为用于插入自动测试系统的仪器。
[0018]因此，在一些方面，本发明可体现为复合开关。
[0019]在另外的方面，本发明可体现为用于使用多个复合开关的自动测试系统的仪器。
[0020]在另外的方面，本发明可体现为操作复合开关的方法。
[0021]上述为由所附权利要求限定的本发明的非限制性内容。

【专利附图】

【附图说明】
[0022]附图并非意图按比例绘制。在附图中，在多张图中所示的每个相同或近乎相同的部件由相同的标号代表。为了清晰起见，并非对每张附图中的每个部件都进行了标记。在图中:
[0023]图1A为测试系统的示例性实施例的示意图；
[0024]图1B为实施开关矩阵的仪器的示例性实施例的示意图；
[0025]图2A为复合开关的第一示例性实施例的示意图；
[0026]图2B为示出了致动图2A的复合开关的操作序列的表；
[0027]图3A为复合开关的第二示例性实施例的示意图；
[0028]图3B为示出了致动图3A的复合开关的操作序列的表；
[0029]图4A为复合开关的第三示例性实施例的示意图；
[0030]图4B为示出了致动图4A的复合开关的操作序列的表；
[0031]图5A为复合开关的第四示例性实施例的示意图；
[0032]图5B为示出了致动图5A的复合开关的操作序列的表；
[0033]图6A为复合开关的第五示例性实施例的示意图；
[0034]图6B为示出了致动图6A的复合开关的操作序列的表；
[0035]图7A为复合开关的第六示例性实施例的示意图；
[0036]图7B为示出了致动图7A的复合开关的操作序列的表；
[0037]图8A为复合开关的第七示例性实施例的示意图；
[0038]图8B为示出了致动图8A的复合开关的操作序列的表；
[0039]图9A为复合开关的第八示例性实施例的示意图；
[0040]图9B为示出了致动图9A的复合开关的操作序列的表；
[0041]图1OA为复合开关的第九示例性实施例的示意图；
[0042]图1OB为示出了致动图1OA的复合开关的操作序列的表；
[0043]图1lA为复合开关的第十示例性实施例的示意图；
[0044]图1lB为示出了致动图1lA的复合开关的操作序列的表；
[0045]图12A为复合开关的第十一示例性实施例的示意图；以及
[0046]图12B为示出了致动图12A的复合开关的操作序列的表。

【具体实施方式】
[0047]本发明人已经认识到并理解，通过使用复合开关可提高自动测试系统的可靠性，所述复合开关通过操作根据序列控制的不同特性的多个开关器件而形成。开关器件中的一者或多者可为机电式继电器，例如簧片继电器或微机电机械加工(MEM)器件。虽然这些开关器件可为当热切换高电压时易于损坏的类型，但开关器件的配置和操作序列可使得机电式开关器件在切换时与闻电压隔尚。
[0048]此类复合开关可用于期望进行高于阈值的电压的热切换的其他设置，所述阈值与可靠性的降低相关。例如，在电源控制器件，例如与“智能电网”相关的那些中，此类复合开关也可为有用的。因此，虽然本文结合复合开关在自动测试系统中的用途描述了复合开关，但是应当理解，该环境是示例性的而不是对所公开的发明构思的限制。
[0049]图1A为如本文所述的复合开关可用于其中的用于测试半导体器件的自动测试系统的示意图。可使用本领域中已知的技术来构造测试系统100。然而，在图示实施例中，使用复合开关替代簧片继电器来构造测试系统100。
[0050]图1A示出了测试系统100包括测试头120。如在常规的测试系统中，测试头120包括多个仪器板110A，110B...1101。每个仪器板均包含电子电路以产生和/或测量施加到待测器件140上的测试信号。
[0051]在操作中，电信号通过信号传送接口耦合在仪器板110A，110B- 1101和待测器件140之间。
[0052]在图1A示出的实施例中，信号传送接口包括测试头120内的信号通路122。信号通路122可以任何合适的方式(包括如背板上的轨迹)使用电缆或使用任何其他合适的互连技术而形成。
[0053]在示出的实施例中，信号传送接口包括器件接口板132。器件接口板132可使用本领域中已知的技术来构造，以在设计用于与测试头120内的信号通路122对齐的耦接头130和设计用于与待测器件140对齐的耦接头134之间路由发送信号。耦接头130可以任何合适的方式实施。例如，耦接头130可作为一个或多个电连接器或插入器实施。
[0054]相似地，耦接头134可以任何合适的方式实施。然而，耦接头134的具体实施可取决于待测器件140的性质和其被测试的制造状态二者。例如，为了测试封装的半导体器件，耦接头134可为适于容纳封装的半导体器件的插座。作为另外一种选择，待测器件140可在仍然在半导体晶片上时被测试。在这种情况下，耦接头134可使用被设计用于与半导体晶片表面上的焊盘接触的导电探针来实施。因此，应当理解，耦接头130和耦接头134的具体实施不是本发明的关键。
[0055]如在常规测试系统中，器件接口板132可被配置成用于具体的待测器件。除了在待测器件的测试头和测试点之间路由发送信号外，器件接口板132可包含进行信号路由的电子部件或未受测试头120内的仪器110A，I1B…1101支持的处理功能。
[0056]能够在不同类型的待测器件上的不同位置处产生和测量不同类型的测试信号可在操作测试系统100的过程中的不同时间引起重新排列仪器板110A，IlOB…1101和待测器件140之间的连接。实际上，图1A提供了测试系统配置的简化示意图。图1A示出了测试单个待测器件140的测试系统100。在许多实施例中，测试系统可同时测试多个待测器件。此外，每个待测器件均可包括多个功能区域，所述功能区域由于测试信号的数量和类型的限制不能被同时测试，所述测试信号可由仪器板110A，IlOB-1lOI上的电路产生或测量。相反，在执行所有的功能区域均被测试的测试工作的过程中，可执行多个单独的测试。测试的执行可引起重新配置仪器板110A，110B- 1101和待测器件140之间的连接。
[0057]为了便于重新配置这些连接，测试系统100可包括多个开关器件。为了便于重新排列仪器板110A，110B- 1101上的电路和待测器件140上的测试点之间的连接，器件接口板132上可包括一个或多个开关器件，如本领域中所已知的。这些开关器件可由在测试系统计算机(未示出)上执行的程序或以任何其他合适的方式控制。开关器件可打开或闭合以将仪器板中具体的仪器板连接至待测器件140上的具体位置。
[0058]在一些情况下，在器件接口板上添加功能可提供有用的灵活性。然而，在其他情况下，期望配置测试系统100以用于在不使用器件接口板132上另外的部件的情况下使用以其他方式安装在测试系统中的仪器板110A，IlOB…1101上所包含的功能来测试许多不同类型的器件。因此，在一些实施例中，期望在测试头120内的广义配置中包括开关器件。这样，测试系统100可易于被配置为用于测试具体的待测器件而不需要复杂的或成本增加的在器件接口板132上包括开关器件。用于将开关器件组装在测试头120内的技术的一个例子由图1B提供。
[0059]图1B示出了仪器板110，其可安装在测试头120内使得其可连接至信号通路122。在图1B的例子中，仪器板110包括输入170和输出180。当用于测试系统中时，例如测试系统100(图1A)，输入170可连接至运行至仪器110A，110B-1101中的一者或多者的信号通路122中的一些。输出180可连接至通过耦接头130将信号路由发送至待测器件140的其他信号通路122。在仪器110内，开关矩阵150可被配置成将输入170中的任一者连接至输出180中的任一者。
[0060]在图1B示出的具体例子中，存在三条输入线路170，指定为输入线路17(^17(^和1703。存在四条输出线路180，指定为输出线路WO1、输出线路1802、输出线路1803和输出线路1804。可控制开关矩阵150内的开关器件以将输入线路170中的任一者连接至输出线路180中的任一者。在本例中，为了提供该功能，开关矩阵150包括12个开关器件。每个开关器件将输入线路170中的一者连接至输出线路180中的一者。例如，如图所示，开关器件1501；1具有连接至输入线路HO1的端子152。开关器件1501;1还具有连接至输出线路WO1的端子154，使得开关器件150Μ可将输入线路HO1连接至输出线路ISOp相似地，开关器件150“显示为将输入线路HO1连接至输出线路1804。开关器件1503;1显示为将输入线路1703连接至输出线路180i。开关器件1503，4显示为将输入线路1703连接至输出线路1804。显示了矩阵150内的其他开关器件，但为简单起见未编号。
[0061]在操作中，可通过启动与这两条线路相关的开关器件将输入线路连接至输出线路。例如，为了将输入线路HO1连接至输出线路ISO1，开关器件1501:1可置于低电阻状态。反之，为了使输入线路HO1与输出线路ISO1断开，开关器件150Μ可置于高电阻。低电阻状态有时可称为“导通”或“闭合”状态，而高电阻状态有时可称为“断开”或“打开”状态。
[0062]在测试系统的操作中，通常有利的是，形成信号通路(例如通过开关器件150Μ形成)的连接为低电阻的。此外，在一些实施例中，提供可“热切换的”开关器件也可为有利的。热切换引起开关器件的打开或闭合，同时跨越其端子(例如端子152或154)存在工作电压。例如，当在执行测试工作的过程中重新配置测试系统时，可出现此种情况。根据待测器件的性质以及产生或测量在测试过程中使用的信号的仪器的性质，跨越任何开关器件端子(例如端子152和154)的电压可为大约几伏特至数十伏特。这些水平的电压可引起常规开关器件的可靠性问题。此类问题可包括使用寿命降低或可靠性降低。
[0063]在图1B所示的配置中使用不易受与热切换有关的可靠性问题影响的较大部件也许是不可能的，因为较大的开关器件可能无法物理地装配在仪器板110上可用的空间中。就这一点而言，应当理解，图1B为开关矩阵仪器的简化图解。在测试系统中，与图1B所示相比，可以存在更多的输入线路和输出线路。例如，在一些实施例中，开关矩阵仪器可具有24条输入线路和8条输出线路，从而需要96个单独的开关器件以实施开关矩阵。在这种情况下，较大的开关器件可妨碍测试系统内部的仪器的使用。然而，使用较小但可靠性较差的部件可妨碍测试头120内部的仪器的使用。可靠性较差的部件例如可使用安装技术安装在器件接口板132上，所述安装技术向开关器件提供准备好的通路，使得如果发生故障，则开关器件可易于更换。
[0064]根据本发明的一些实施例，足够小且足够可靠以并入开关矩阵仪器板上的开关器件作为复合开关实施。复合开关可由任何合适类型的机电式开关器件和固态开关器件组装而成。在一些实施例中，三种不同类型的开关器件的组合可用于构造复合开关(也称为组合开关)。
[0065]在图2Α、3Α...12Α的图示实施例中，用于形成复合开关的开关器件包括机电式开关和两种类型的固态开关器件。机电式开关器件可为本领域中已知的簧片继电器。固态开关器件可作为光电MOSFET (optoMOSFET)(受LED产生的光控制的MOSFET开关)实施。两个光电MOSFET可具有不同的参数。因此，复合开关的部件可为:
[0066]1.机电式开关；
[0067]2.光电M0SFET，低断开电容；
[0068]3.光电M0SFET，低导通电阻。
[0069]复合开关可由各个类型的零个或多个元件的组合来构造。然而，应当理解，在其他实施例中，可使用不同的或另外的元件来构造复合开关。用于形成复合开关的开关器件可为本领域中已知的开关器件。这些开关器件和复合开关总体上可通过一个或多个参数来表征。表I列出了可表征开关器件的代表性参数。
[0070]表I
[0071]

【权利要求】
1.一种具有第一端子和第二端子以及内部端子的复合开关，所述复合开关包括: 机电式开关器件，其具有第一端子和第二端子； 第一固态开关器件，其具有第一端子和第二端子；以及 第二固态开关器件，其具有第一端子和第二端子， 其中: 所述机电式开关器件和所述第一固态开关器件在所述复合开关的所述第一端子和所述复合开关的所述内部端子之间并联，并且所述第二固态开关器件连接在所述复合开关的所述内部端子和所述复合开关的所述第二端子之间。
2.根据权利要求1所述的复合开关，其中: 所述第一固态开关器件包括第一控制输入； 所述机电式开关器件包括第二控制输入； 所述第二固态开关器件包括第三控制输入； 所述复合开关还包括用于控制闭合序列的控制电路，所述闭合序列包括: 在所述第一控制输入处产生将所述第一固态开关器件置于低电阻状态的控制信号； 随后在所述第二输入处产生将所述机电式开关器件置于低电阻状态的控制信号；以及 随后在所述第三控制输入处产生将所述第二固态开关器件置于低电阻状态的控制信号。
3.根据权利要求1所述的复合开关，其中: 所述控制电路还适用于控制打开序列，所述打开序列包括: 在所述第三控制输入处产生将所述第二固态开关器件置于高电阻状态的控制信号； 随后在所述第二输入处产生将所述机电式开关器件置于高电阻状态的控制信号；以及 随后在所述第一控制输入处产生将所述第一固态开关器件置于高电阻状态的控制信号。
4.根据权利要求1所述的复合开关，其中: 所述机电式开关器件为簧片继电器。
5.根据权利要求1所述的复合开关，其中: 所述第一固态开关器件和所述第二固态开关器件具有不同的导通电阻和不同的断开电容。
6.根据权利要求1所述的复合开关，其中: 所述第一固态开关器件具有比所述第二固态开关器件低的导通电容。
7.根据权利要求6所述的复合开关器件，其中: 所述第二固态开关器件具有比所述第一固态开关器件低的导通电阻。
8.根据权利要求7所述的复合开关器件，其中: 所述第二固态开关器件的所述导通电阻不超过所述机电式开关器件的所述导通电阻的四倍。
9.根据权利要求1所述的复合开关器件，其中: 根据权利要求1所述的复合开关器件包括第一开关器件；以及所述复合开关器件还包括被耦合以使根据权利要求1所述的复合开关器件分流的第二机电式开关器件。
10.根据权利要求1所述的复合开关器件，其中: 根据权利要求1所述的复合开关器件包括第一开关器件；以及所述复合开关器件还包括被耦合以使根据权利要求1所述的复合开关的所述第二固态开关器件分流的第二机电式开关器件。
11.一种具有第一端子和第二端子的复合开关，所述复合开关包括: 机电式开关器件，其具有第一端子和第二端子；以及 固态开关器件，其具有第一端子和第二端子， 其中: 通过所述机电式器件的所述第二端子耦合至所述固态开关器件的所述第一端子，所述机电式开关器件和所述固态开关器件在所述复合开关的所述第一端子和所述复合开关的所述第二端子之间串联。
12.根据权利要求11所述的复合开关，其中: 所述机电式开关器件为簧片继电器。
13.根据权利要求11所述的复合开关，其中: 所述固态开关器件包括光电继电器。
14.根据权利要求11所述的复合开关，其中: 所述机电式开关器件包括第一控制输入； 所述固态开关器件包括第二控制输入；以及 所述第一控制输入和所述第二控制输入被配置成用于分别控制所述机电式开关器件和所述固态开关器件。
15.根据权利要求14所述的复合开关，还包括: 用于控制闭合序列的控制电路，所述闭合序列包括: 在所述第一控制输入处产生将所述机电式开关器件置于低电阻状态的控制信号；以及 随后在所述第二控制输入处产生将所述固态开关器件置于低电阻状态的控制信号。
16.根据权利要求15所述的复合开关，其中: 所述控制电路还适用于控制打开序列，所述打开序列包括: 在所述第二控制输入处产生将所述固态开关器件置于高电阻状态的控制信号；以及 随后在所述第一控制输入处产生将所述机电式开关器件置于高电阻状态的控制信号。
17.根据权利要求11所述的复合开关器件，其中: 所述第一固态开关器件包括下列的串联组合: 连接在所述复合开关第一端子和复合开关第一内部端子之间的第一机电式开关器件，以及 连接在所述复合开关第一内部端子和复合开关第二内部端子之间的第一固态开关器件； 所述机电式开关器件包括连接在所述复合开关第一端子和所述复合开关第二内部端子之间的第一机电式开关器件；以及 所述第二固态开关器件连接在所述复合开关第二内部端子和复合开关第二端子之间。
18.根据权利要求11所述的复合开关，其中: 权利要求11的机电式开关器件包括第一机电式开关器件； 权利要求11的固态开关器件为第一固态开关器件；以及 根据权利要求11所述的复合开关还包括: 与所述第一固态开关器件并联的第二机电式开关器件； 与所述第二机电式开关器件和所述第一固态开关器件的所述并联组合串联的第二固态开关器件。
19.根据权利要求11所述的复合开关，其中: 权利要求11的机电式开关器件包括第一机电式开关器件； 权利要求11的固态开关器件包括第一固态开关器件；以及 根据权利要求11所述的复合开关还包括: 与所述第一固态开关器件并联的第二机电式开关器件； 与所述第二机电式开关器件和所述第一固态开关器件的所述并联组合串联的第二固态开关器件；以及 第三机电式开关器件，其被耦合以当所述第三机电式开关器件处于低电阻状态时使所述第一机电式开关器件和所述第二机电式开关器件与所述第二固态开关器件分流。
20.根据权利要求11所述的复合开关，其中: 权利要求11的机电式开关器件包括第一机电式开关器件； 权利要求11的固态开关器件包括第一固态开关器件；以及 根据权利要求11所述的复合开关还包括: 与所述第一固态开关器件并联的第二机电式开关器件； 与所述第二机电式开关器件和所述第一固态开关器件的所述并联组合串联的第二固态开关器件；以及 第三机电式开关器件，其被耦合以当所述第三机电式开关器件处于低电阻状态时使所述第二机电式开关器件与所述第二固态开关器件分流。
21.根据权利要求11所述的复合开关，其中: 权利要求11的机电式开关器件包括第一机电式开关器件； 权利要求11的固态开关器件包括第一固态开关器件；以及 根据权利要求11所述的复合开关还包括: 与所述第一固态开关器件并联的第二机电式开关器件； 与所述第二机电式开关器件和所述第一固态开关器件的所述并联组合串联的第二固态开关器件；以及 与所述第二固态开关器件并联的第三机电式开关器件。
22.根据权利要求11所述的复合开关，其中: 所述复合开关器件还包括第二机电式开关器件，所述第二机电式开关器件被耦合以在所述第二机电式开关器件处于低电阻状态时使所述固态开关器件与第一机电式开关器件分流。
23.根据权利要求11所述的复合开关，其中: 根据权利要求11所述的复合开关包括第一开关器件；以及 所述复合开关还包括第二机电式开关器件，所述第二机电式开关器件并联至所述固态开关器件。
【文档编号】G01R31/26GK104170046SQ201380012644
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2013年2月14日 优先权日:2012年3月5日
【发明者】詹姆斯·J·桑德斯三世, 埃里克·P·贝尔格隆 申请人:泰拉丁公司