专利名称：一种异物检测装置的制作方法
技术领域：
本发明属于液晶平板显示的制造技术的领域，尤其涉及一种异物检测装置，其可用于检测玻璃基板上的异物。
背景技术：
液晶电视、液晶电脑等平板显示器越来越受到大众的欢迎。在平板显示器的制造产业中，异物(例如尘埃等微粒)是影响生产之重要问题。例如，在薄膜晶体管的制程(TFTprocess)中，接近式曝光机因光罩(Mask)面积大，距离玻璃基板的表面距离非常近(例如200微米左右)，因此如果粘附在玻璃基板的表面上的异物碰到光罩，则可能致使光罩产生损伤甚至报废。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种异物检测装置，其能够检测出玻璃基板上异物，可靠地防止光罩被刮伤。本发明通过如下技术方案实现:一种异物检测装置，其中，所述异物检测装置包括台架、保护柱、光发射器及光接收器，所述保护柱设置在所述台架上，且所述保护柱与所述玻璃基板之间形成有具有预先设定的高度的缝隙，所述光发射器和所述光接收器分别位于所述玻璃基板的相对两侧，且所述光发射器用于朝所述缝隙内照射光，所述光接收器用于接收经过所述缝隙的光。作为上述技术方案的进一步改进，所述预先设定的高度为100微米至800微米。作为上述技术方案的进一步改进，所述光发射器为激光发射器。作为上述技术方案的进一步改进，所述光接收器为CXD图像传感器。作为上述技术方案的进一步改进，所述异物检测装置还包括驱动部及控制器，所述驱动部用于驱动所述保护柱、所述光发射器及所述光接收器同步运动，所述控制器用于控制所述驱动部、所述光发射器及所述光接收器。作为上述技术方案的进一步改进，所述异物检测装置还包括警报器，所述警报器与所述控制器连接以在所述光接收器检测出异常时通过所述控制器控制所述警报器发出警报。作为上述技术方案的进一步改进，所述保护柱通过多个螺栓连接在所述台架上，所述保护柱上设有多个沉头通孔，所述多个螺栓的头部位于所述多个沉头通孔内，且所述多个螺栓的螺纹部穿出所述多个沉头通孔连接在所述台架上。作为上述技术方案的进一步改进，所述多个螺栓上均套设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两侧分别抵压在所述台架的底面和所述保护柱的顶面上。作为上述技术方案的进一步改进，所述异物检测装置还包括多个振动检测元件，所述多个振动检测 元件用于检测保护柱的振动。作为上述技术方案的进一步改进，所述多个振动检测元件均为电子数显千分计，所述电子数显千分计用于测量所述保护柱的顶面在高度方向上的移动，并将该移动数据输出给所述控制器。本发明的有益效果是:根据本发明的异物检测装置，所述异物检测装置包括台架、保护柱、光发射器及光接收器，所述保护柱与所述玻璃基板之间形成有具有预先设定的高度的缝隙，所述光发射器和所述光接收器分别位于所述玻璃基板的相对两侧，所述光接收器检测由所述光发射器发出且经过所述缝隙的光，当玻璃基板上有异物时，则会引起光强度的变化，从而检测出异物的存在。本发明的异物检测装置尤其可用于在薄膜晶体管的制程中检测玻璃基板上的异物，有效防止光罩因微粒等异物产生损伤甚至报废。
图1是根据本发明的异物检测装置的正面示意图。图2是图1的异物检测装置的侧面示意图。图3是图1的异物检测装置的示意性电气控制框图。
具体实施例方式以下结合附图对本发明的具体实施方式
进行进一步的说明。本发明的异物检测装置可用于在薄膜晶体管的制程(TFT process)中检测玻璃基板100上的异物，防止光罩等被玻璃基板上的异物(例如微粒、粉尘、颗粒等)刮伤。如图1和图2所示,所述异物检测装置包括台架(gantry) 202、保护柱(protectbar) 204、光发射器300及光接收器400。所述保护柱204设置在所述台架202上。且所述保护柱204与所述玻璃基板100之间形成有具有预先设定的高度H的缝隙220。所述预先设定的高度H为100微米至800微米。预先设定的高度H与微粒的高度相当。在本发明的一个具体应用例中，预先设定·的高度H为约200微米。 如图1所示，所述光发射器300和所述光接收器400分别位于所述玻璃基板100的相对两侧。所述光发射器300和所述光接收器400相对配置。且所述光发射器300用于朝所述缝隙220内照射光。相应地，所述光接收器400用于接收经过所述缝隙220的光。由此，根据照射的光是否被遮蔽以及遮蔽的程度，判断出异物的存在及大小。本例中，所述光发射器300为激光发射器300。而且，所述光接收器400为CCD图像传感器。本例中，如图3所示，所述异物检测装置还包括驱动部212及控制器10。所述驱动部212用于驱动所述保护柱204、所述光发射器300及所述光接收器400同步运动。在进行异物检测时，所述保护柱204、所述光发射器300及所述光接收器400进行扫描方式的检测运动，玻璃基板100可保持静止。扫描方向可以为玻璃基板100的长度方向X或宽度方向Y。所述控制器10用于控制所述驱动部212、所述光发射器300及所述光接收器400。此外，所述异物检测装置还包括警报器500。所述警报器500与所述控制器10连接，以便在所述光接收器400检测出异常时通过所述控制器10控制所述警报器500发出声音警报、颜色警报等警报信号，通知操作人员进行相应处理。当扫描的光束经过异物时，异物会对缝隙220内的光进行遮蔽，光接收器400的接收的光的强度信号降低。而且，可利用光接收器400 (CCD图像传感器)的光的强度信号降低的程度来计算出异物的具体高度。而且，并可通过设定光接收器400的有效检出宽度，检出不同宽度的异物。具体而言，光接收器400 (CCD图像传感器)可在高度方向Z上将接收的光分为若干个区域。每个高度方向Z上的区域的光强均记录为扫描信号。当没有异物存在时，扫描过程中光接收器400基本上完整地接收到光发射器300发出的经过缝隙220的光，且扫描信号基本上始终保持稳定。而当扫描过程中缝隙220内出现异物时，光接收器400会接收到瞬时的区域性的亮度降低。此时，可通过控制器10控制所述警报器500发出警报，通知操作人员进行相应处理。如图1和图2所示，所述保护柱204通过多个螺栓206悬置在所述台架202上。其中，所述保护柱204上设有多个沉头通孔212。所述多个螺栓206的头部位于所述多个沉头通孔212内。而且，所述多个螺栓206的螺纹部穿出所述多个沉头通孔212连接在所述台架202上。图中，螺栓206的数量和沉头通孔212的数量均为4个。然而，本发明不限于此，螺栓206的数量和沉头通孔212的数量可以为更多或更少。此外，所述多个螺栓206上均套设有压缩弹簧210。所述压缩弹簧210的两侧分别抵压在所述台架202的底面和所述保护柱204的顶面上。本发明的异物检测装置中，所述异物检测装置还包括多个振动检测元件208，所述多个振动检测元件208用于检测保护柱204的振动。所述多个振动检测元件208固定在所述台架102上。本例中，所述多个振动检测元件208均为电子数显千分计。所述电子数显千分计用于测量所述保护柱204的顶面在高度方向Z上的移动。并将该移动数据经电缆输出给所述控制器10。控制器10可以通过振动检测软件，计算出保护柱204在规定时间内的高度变化量或变化率，进而判断保护柱204是否被异物阻挡，进而判断出高于或等于预先设定的高度H的异物的存在。本发明 的异物检测装置，利用保护柱204与玻璃基板100之间形成与目标异物高度相当的缝隙220 (预先设定的高度H可根据需要设定调整)。由此，可利用穿过缝隙220的激光束，形成高度与预先设定的高度H相等的数百微米的光束。当玻璃基板100上有异物时，则会引起光接收器400的光接收强度的变化，从而检测出异物的存在。另外，光接收器400可具有宽度与异物相当的有效接收宽度，由此在该宽度范围内检测光强的变化。根据本发明的异物检测装置，当透明度较高且坚硬异物未被检出(漏检)时，该较高的异物不会进入缝隙220。且该较高的异物与保护柱204碰撞产生振动。此时，通过多个振动检测元件208检测保护柱204的振动，检测出该类异物的存在，达到双重保险的作用，进一步可靠地防止异物的漏检。根据本发明的异物检测装置，利用缝隙220可以达到更精确的控制设定异物高度检出。此外，振动的监控能通过物理侦测对具有规定高度的异物进行直接侦测，补偿光学检出的盲点或漏检，且可有效防止光罩被大颗粒坚硬异物刮伤石英层而彻底无法修复的风险。以上具体实施方式
对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。
权利要求
1.一种异物检测装置，其特征在于，所述异物检测装置包括台架、保护柱、光发射器及光接收器，所述保护柱设置在所述台架上，且所述保护柱与所述玻璃基板之间形成有具有预先设定的高度的缝隙，所述光发射器和所述光接收器分别位于所述玻璃基板的相对两侦牝且所述光发射器用于朝所述缝隙内照射光，所述光接收器用于接收经过所述缝隙的光。
2.根据权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于，所述预先设定的高度为100微米至800微米。
3.根据权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于，所述光发射器为激光发射器。
4.根据权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于，所述光接收器为CCD图像传感器。
5.根据权利要求1至4任一项所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物检测装置还包括驱动部及控制器，所述驱动部用于驱动所述保护柱、所述光发射器及所述光接收器同步运动，所述控制器用于控制所述驱动部、所述光发射器及所述光接收器。
6.根据权利要求5所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物检测装置还包括警报器，所述警报器与所述控制器连接以在所述光接收器检测出异常时通过所述控制器控制所述警报器发出警报。
7.根据权利要求6所述的异物检测装置，其特征在于，所述保护柱通过多个螺栓连接在所述台架上，所述保护柱上设有多个沉头通孔，所述多个螺栓的头部位于所述多个沉头通孔内，且所述多个螺栓的螺纹部穿出所述多个沉头通孔连接在所述台架上。
8.根据权利要求7所述的异物检测装置，其特征在于，所述多个螺栓上均套设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两侧分别抵压在所述台架的底面和所述保护柱的顶面上。
9.根据权利要求8所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物检测装置还包括多个振动检测元件，所述多个振动检测元件用于检测保护柱的振动。
10.根据权利要求9所述的异物检测装置，其特征在于，所述多个振动检测元件均为电子数显千分计，所述电子数显千分计用于测量所述保护柱的顶面在高度方向上的移动，并将该移动的数据输出给所述控制器。
全文摘要
本发明公开了一种异物检测装置，所述异物检测装置包括台架、保护柱、光发射器及光接收器，所述保护柱设置在所述台架上，且所述保护柱与所述玻璃基板之间形成有具有预先设定的高度的缝隙，所述光发射器和所述光接收器分别位于所述玻璃基板的相对两侧，且所述光发射器用于朝所述缝隙内照射光，所述光接收器用于接收经过所述缝隙的光，当玻璃基板上有异物时，则会引起光的强度的变化，从而检测出异物的存在。本发明的异物检测装置尤其可用于在薄膜晶体管的制程中检测玻璃基板上的异物，有效防止光罩因微粒等异物产生损伤甚至报废。
文档编号G01N21/958GK103245678SQ20131015068
公开日2013年8月14日 申请日期2013年4月26日 优先权日2013年4月26日
发明者陈晖 申请人:深圳市华星光电技术有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
